- Sections
- G - Physique
- G03F - Production par voie photomécanique de surfaces texturées, p. ex. pour l'impression, pour le traitement de dispositifs semi-conducteursmatériaux à cet effetoriginaux à cet effetappareillages spécialement adaptés à cet effet
- G03F 1/86 - Inspection au moyen d'un faisceau de particules chargées [CPB charged particle beam]
Détention brevets de la classe G03F 1/86
Brevets de cette classe: 82
Historique des publications depuis 10 ans
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Propriétaires principaux
| Proprétaire |
Total
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Cette classe
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|---|---|---|
| Carl Zeiss SMT GmbH | 2940 |
16 |
| ASML Netherlands B.V. | 7312 |
12 |
| KLA-Tencor Corporation | 2546 |
8 |
| Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 42118 |
7 |
| Samsung Electronics Co., Ltd. | 144143 |
6 |
| Lam Research Corporation | 5187 |
3 |
| NuFlare Technology, Inc. | 836 |
3 |
| KLA Corporation | 1512 |
3 |
| Hitachi High-Technologies Corporation | 2004 |
2 |
| FUJIFILM Corporation | 29228 |
2 |
| Applied Materials Israel, Ltd. | 601 |
2 |
| SK Hynix Inc. | 11222 |
2 |
| Hoya Corporation | 2734 |
2 |
| Hitachi High-Tech Corporation | 5241 |
2 |
| Nikon Corporation | 7159 |
1 |
| Advantest Corporation | 1831 |
1 |
| Carl Zeiss SMS GmbH | 53 |
1 |
| Carl Zeiss SMS Ltd. | 47 |
1 |
| Dongfang Jingyuan Electron Limited | 44 |
1 |
| Exogenesis Corporation | 70 |
1 |
| Autres propriétaires | 6 |