- Sections
- G - Physique
- G03F - Production par voie photomécanique de surfaces texturées, p. ex. pour l'impression, pour le traitement de dispositifs semi-conducteursmatériaux à cet effetoriginaux à cet effetappareillages spécialement adaptés à cet effet
- G03F 1/84 - Inspection
Détention brevets de la classe G03F 1/84
Brevets de cette classe: 710
Historique des publications depuis 10 ans
|
48
|
49
|
67
|
53
|
60
|
46
|
45
|
54
|
79
|
34
|
| 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 | 2022 | 2023 | 2024 | 2025 | 2026 |
Propriétaires principaux
| Proprétaire |
Total
|
Cette classe
|
|---|---|---|
| Carl Zeiss SMT GmbH | 3258 |
150 |
| ASML Netherlands B.V. | 7785 |
77 |
| Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 47734 |
53 |
| KLA-Tencor Corporation | 2522 |
50 |
| KLA Corporation | 1812 |
44 |
| Hoya Corporation | 2734 |
31 |
| Samsung Electronics Co., Ltd. | 155224 |
28 |
| NuFlare Technology, Inc. | 908 |
19 |
| ASML Holding N.V. | 487 |
16 |
| Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 5997 |
16 |
| Carl Zeiss SMS Ltd. | 54 |
13 |
| LaserTec Corporation | 113 |
12 |
| Bruker Nano, Inc. | 379 |
9 |
| Kioxia Corporation | 10727 |
8 |
| Applied Materials Israel, Ltd. | 654 |
7 |
| Nikon Corporation | 7284 |
7 |
| Corning Incorporated | 10463 |
7 |
| IUCF-HYU (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University) | 1575 |
7 |
| Carl Zeiss AG | 914 |
6 |
| V Technology Co., Ltd. | 380 |
6 |
| Autres propriétaires | 144 |