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  • C - Chimiemétallurgie
  • C23C - Revêtement de matériaux métalliquesrevêtement de matériaux avec des matériaux métalliquestraitement de surface de matériaux métalliques par diffusion dans la surface, par conversion chimique ou substitutionrevêtement par évaporation sous vide, par pulvérisation cathodique, par implantation d'ions ou par dépôt chimique en phase vapeur, en général
  • C23C 16/52 - Commande ou régulation du processus de dépôt

Détention brevets de la classe C23C 16/52

Brevets de cette classe: 3376

Historique des publications depuis 10 ans

244
239
229
266
223
277
364
305
371
396
2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025

Propriétaires principaux

Proprétaire
Total
Cette classe
Tokyo Electron Limited
13043
458
Kokusai Electric Corporation
2090
444
Applied Materials, Inc.
19087
407
Lam Research Corporation
5340
302
ASM IP Holding B.V.
2138
238
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
44638
80
Aixtron SE
323
52
Samsung Electronics Co., Ltd.
148584
37
Novellus Systems, Inc.
474
24
Entegris, Inc.
1910
22
Jusung Engineering Co., Ltd.
457
21
NuFlare Technology, Inc.
877
19
Samsung Display Co., Ltd.
35702
18
Fujikin Incorporated
694
14
MKS Instruments, Inc.
642
14
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.
615
14
Jiangsu Favored Nanotechnology Co., LTD
162
14
Beneq Oy
249
13
Picosun Oy
148
12
Kioxia Corporation
10453
12
Autres propriétaires 1161

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