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  • C - Chimiemétallurgie
  • C23C - Revêtement de matériaux métalliquesrevêtement de matériaux avec des matériaux métalliquestraitement de surface de matériaux métalliques par diffusion dans la surface, par conversion chimique ou substitutionrevêtement par évaporation sous vide, par pulvérisation cathodique, par implantation d'ions ou par dépôt chimique en phase vapeur, en général
  • C23C 16/52 - Commande ou régulation du processus de dépôt

Détention brevets de la classe C23C 16/52

Brevets de cette classe: 3283

Historique des publications depuis 10 ans

244
240
229
267
221
277
363
306
371
303
2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025

Propriétaires principaux

Proprétaire
Total
Cette classe
Tokyo Electron Limited
12751
441
Kokusai Electric Corporation
2023
430
Applied Materials, Inc.
18706
396
Lam Research Corporation
5259
293
ASM IP Holding B.V.
2080
227
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
42863
77
Aixtron SE
319
51
Samsung Electronics Co., Ltd.
146534
37
Novellus Systems, Inc.
481
24
Jusung Engineering Co., Ltd.
444
21
NuFlare Technology, Inc.
845
19
Entegris, Inc.
1870
18
Samsung Display Co., Ltd.
34842
17
Fujikin Incorporated
692
14
MKS Instruments, Inc.
652
14
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.
598
14
Jiangsu Favored Nanotechnology Co., LTD
162
14
Beneq Oy
249
13
Picosun Oy
146
12
Kioxia Corporation
10301
12
Autres propriétaires 1139

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