FEI Efa, Inc.

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Juridiction
        États-Unis 18
        International 1
Date
2023 1
2020 2
Avant 2020 16
Classe IPC
G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés 10
G01R 31/26 - Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs 5
G01R 31/308 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques 5
G01N 21/95 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser 3
G01N 21/956 - Inspection de motifs sur la surface d'objets 3
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Résultats pour  brevets

1.

SWAB COLLECTION SYSTEMS AND METHODS

      
Numéro d'application US2023017355
Numéro de publication 2023/196265
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2023-04-04
Date de publication 2023-10-12
Propriétaire
  • LIFE TECHNOLOGIES CORPORATION (USA)
  • FEI EFA, INC. (USA)
Inventeur(s)
  • Chapman, Laura
  • Vlassov, Alexandre
  • Jackson, Tommie
  • Ricica, Aaron
  • Thompson, Roy
  • Vangbo, Mattias
  • Frank, Jonathan

Abrégé

Systems and methods under the present disclosure include swabs and storage tubes for use in medical environments. The various embodiments can help prevent cross contamination in laboratories or make swabs and storage tubes more compatible with automated laboratory processes. Accurate positioning of swabs can help make any pipetting procedures more accurate, easier and quicker.

Classes IPC  ?

  • A61B 10/00 - Instruments pour le prélèvement d'échantillons corporels à des fins de diagnostic Autres procédés ou instruments pour le diagnostic, p. ex. pour le diagnostic de vaccination ou la détermination du sexe ou de la période d'ovulationInstruments pour gratter la gorge
  • B01L 3/00 - Récipients ou ustensiles pour laboratoires, p. ex. verrerie de laboratoireCompte-gouttes
  • A61B 10/02 - Instruments pour prélever des échantillons cellulaires ou pour la biopsie

2.

Method and system for resolving hot spots in LIT

      
Numéro d'application 16716370
Numéro de brevet 11022646
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2019-12-16
Date de la première publication 2020-04-16
Date d'octroi 2021-06-01
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s) Schmidt, Christian

Abrégé

Localizing hot spots in multi layered device under test (DUT) by using lock-in thermography (LIT) where plural hot spots of electrical circuits are buried in the DUT at different depth layers from a bottom layer to a top layer, comprises applying test signals of multiple frequencies to the electrical circuits of the DUT for exciting the hot spots; imaging a top surface of the top layer of the DUT at timed intervals to obtain IR images of the DUT while the test signal is applied to the electrical circuits wherein the images are in correlation to a propagation of heat from the hot spots in the DUT; detecting the thermal response signals at the timed intervals from the images taken from the DUT; and determining changes in the appearance of hot spot images on the top surface of the DUT in relation to the frequencies of the thermal response signals.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/308 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques
  • H02S 50/10 - Tests de dispositifs PV, p. ex. de modules PV ou de cellules PV individuelles
  • G01R 31/26 - Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01R 31/385 - Dispositions pour mesurer des variables des batteries ou des accumulateurs
  • G01R 31/62 - Test de transformateurs

3.

Laser-assisted device alteration using synchronized laser pulses

      
Numéro d'application 16248423
Numéro de brevet 11353479
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2019-01-15
Date de la première publication 2020-01-23
Date d'octroi 2022-06-07
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Vedagarbha, Praveen
  • Reid, Derryck
  • Serrels, Keith
  • Vickers, James S.

Abrégé

A pulsed-laser LADA system is provided, which utilizes temporal resolution to enhance spatial resolution. The system is capable of resolving CMOS pairs within the illumination spot using synchronization of laser pulses with the DUT clock. The system can be implemented using laser wavelength having photon energy above the silicon bandgap so as to perform single-photon LADA or wavelength having photon energy below the silicon bandgap so as to generate two-photon LADA. The timing of the laser pulses can be adjusted using two feedback loops tied to the clock signal of an ATE, or by adjusting the ATE's clock signal with reference to a fixed-pulse laser source.

Classes IPC  ?

  • G01R 1/07 - Sondes n'établissant pas de contact
  • G01R 31/26 - Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01R 31/319 - Matériel de test, c.-à-d. circuits de traitement de signaux de sortie
  • G01R 31/30 - Tests marginaux, p. ex. en faisant varier la tension d'alimentation

4.

Self correcting floating SIL tip

      
Numéro d'application 16195268
Numéro de brevet 10718933
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-11-19
Date de la première publication 2019-05-23
Date d'octroi 2020-07-21
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Frank, Jonathan
  • Sabbineni, Prasad

Abrégé

An optics arrangement for a solid immersion lens (SIL) is disclosed. The arrangement enables the SIL to freely tilt. The arrangement includes a SIL having an optical axis extending from an engaging surface and a rear surface of the SIL; a SIL housing having a cavity configured to accept the SIL therein while allowing the SIL to freely tilt within the cavity, wherein the cavity includes a hole positioned such that the optical axis passes there-through, to thereby allow light collected by the SIL to propagate to an objective lens; and, a SIL retainer attached to the SIL housing and configured to prevent the SIL from exiting the cavity.

Classes IPC  ?

  • G02B 21/02 - Objectifs
  • G02B 21/33 - Huiles d'immersion
  • G02B 7/02 - Montures, moyens de réglage ou raccords étanches à la lumière pour éléments optiques pour lentilles

5.

System and method for fault isolation by emission spectra analysis

      
Numéro d'application 16027159
Numéro de brevet 10620263
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2018-07-03
Date de la première publication 2018-11-15
Date d'octroi 2020-04-14
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Deslandes, Herve
  • Sabbineni, Prasad
  • Freed, Regina

Abrégé

An apparatus and method for optical probing of a DUT is disclosed. The system enables identifying, localizing and classifying faulty devices within the DUT. A selected area of the DUT is imaged while the DUT is receiving test signals, which may be static or dynamic, i.e., causing certain of the active devices to modulate. Light from the DUT is collected and is passed through a rotatable diffracting element prior to imaging it by a sensor and converting it into an electrical signal. The resulting image changes depending on the rotational positioning of the grating. The diffracted image is inspected to identify, localize and classify faulty devices within the DUT.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/308 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01N 21/956 - Inspection de motifs sur la surface d'objets
  • G01N 21/95 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser

6.

Probe-based data collection system with adaptive mode of probing controlled by local sample properties

      
Numéro d'application 15368516
Numéro de brevet 09891280
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2016-12-02
Date de la première publication 2017-03-23
Date d'octroi 2018-02-13
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Ukraintsev, Vladimir A.
  • Stallcup, Richard
  • Pryadkin, Sergiy
  • Berkmyre, Mike
  • Sanders, John

Abrégé

A method for testing an integrated circuit (IC) using a nanoprobe, by using a scanning electron microscope (SEM) to register the nanoprobe to an identified feature on the IC; navigating the nanoprobe to a region of interest; scanning the nanoprobe over the surface of the IC while reading data from the nanoprobe; when the data from the nanoprobe indicates that the nanoprobe traverse a feature of interest, decelerating the scanning speed of the nanoprobe and performing testing of the IC. The scanning can be done at a prescribed nanoprobe tip force, and during the step of decelerating the scanning speed, the method further includes increasing the nanoprobe tip force.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/317 - Tests de circuits numériques
  • G01Q 60/18 - Microscopie optique à champ proche à balayage SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] ou appareils à cet effet, p. ex. sondes SNOM
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01Q 10/06 - Circuits ou algorithmes à cet effet
  • G01Q 30/04 - Dispositifs d'affichage ou de traitement de données
  • G01Q 60/10 - Microscopie à effet tunnel à balayage STM [Scanning Tunnelling Microscopy] ou appareils à cet effet, p. ex. sondes STM
  • G01Q 60/30 - Microscopie à mesure de potentiel à balayage
  • G01Q 60/46 - Microscopie capacitive à balayage SCM [Scanning Capacitance Microscopy] ou appareils à cet effet, p. ex. sondes SCM

7.

Method and system for resolving hot spots in LIT

      
Numéro d'application 14913961
Numéro de brevet 10545186
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2014-08-22
Date de la première publication 2016-08-25
Date d'octroi 2020-01-28
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s) Schmidt, Christian

Abrégé

Localizing hot spots in multi layered device under test (DUT) by using lock-in thermography (LIT) where plural hot spots of electrical circuits are buried in the DUT at different depth layers from a bottom layer to a top layer, comprises applying test signals of multiple frequencies to the electrical circuits of the DUT for exciting the hot spots; imaging a top surface of the top layer of the DUT at timed intervals to obtain IR images of the DUT while the test signal is applied to the electrical circuits wherein the images are in correlation to a propagation of heat from the hot spots in the DUT; detecting the thermal response signals at the timed intervals from the images taken from the DUT; and determining changes in the appearance of hot spot images on the top surface of the DUT in relation to the frequencies of the thermal response signals.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/308 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques

8.

Method for imaging a feature using a scanning probe microscope

      
Numéro d'application 15015067
Numéro de brevet 09869696
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2016-02-03
Date de la première publication 2016-08-11
Date d'octroi 2018-01-16
Propriétaire FEI EFA, INC. (USA)
Inventeur(s)
  • Erickson, Andrew Norman
  • Ippolito, Stephen Bradley
  • Zumwalt, Sean

Abrégé

Using a local-potential-driving probe drives a conductor to a known potential while adjacent lines are grounded through the sample body reduces electrostatic scanning microscope signal from adjacent lines, allows imaging of metal lines deeper in the sample. Providing different potentials locally on different conductive lines using multiple local-potential-driving probes allows different conductors to be highlighted in the same image, for example, by changing the phase of the signal being applied to the different local-potential-driving probes.

Classes IPC  ?

  • G01Q 60/30 - Microscopie à mesure de potentiel à balayage

9.

Laser-assisted device alteration using synchronized laser pulses

      
Numéro d'application 14922046
Numéro de brevet 10209274
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-10-23
Date de la première publication 2016-07-14
Date d'octroi 2019-02-19
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Vedagarbha, Praveen
  • Reid, Derryck
  • Serrels, Keith
  • Vickers, James S.

Abrégé

A pulsed-laser LADA system is provided, which utilizes temporal resolution to enhance spatial resolution. The system is capable of resolving CMOS pairs within the illumination spot using synchronization of laser pulses with the DUT clock. The system can be implemented using laser wavelength having photon energy above the silicon bandgap so as to perform single-photon LADA or wavelength having photon energy below the silicon bandgap so as to generate two-photon LADA. The timing of the laser pulses can be adjusted using two feedback loops tied to the clock signal of an ATE, or by adjusting the ATE's clock signal with reference to a fixed-pulse laser source.

Classes IPC  ?

  • G01R 1/07 - Sondes n'établissant pas de contact
  • G01R 31/26 - Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01R 31/319 - Matériel de test, c.-à-d. circuits de traitement de signaux de sortie
  • G01R 31/30 - Tests marginaux, p. ex. en faisant varier la tension d'alimentation

10.

System and method for modulation mapping

      
Numéro d'application 14997460
Numéro de brevet 09915700
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2016-01-15
Date de la première publication 2016-05-12
Date d'octroi 2018-03-13
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s) Kasapi, Steven

Abrégé

Probing an integrated circuit (IC), by: electrically applying stimulation signal to said IC; scanning a selected area of said IC with a monochromatic beam; collecting beam reflection from the selected area of said IC, wherein the beam reflection correspond to modulation of the monochromatic beam by active devices of said IC; converting said beam reflection to an electrical probing signal; selecting a frequency or a band of frequencies of said probing signal; utilizing the probing signal to generate a spatial modulation map for various locations over the selected area of said IC; and displaying the spatial map on a monitor, wherein grey scale values correspond to modulation signal values.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/308 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques
  • G01R 31/302 - Test sans contact
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux

11.

Systems and method for laser voltage imaging

      
Numéro d'application 14885873
Numéro de brevet 10126360
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-10-16
Date de la première publication 2016-04-21
Date d'octroi 2018-11-13
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s) Vickers, James S.

Abrégé

An apparatus and method for laser voltage testing of a DUT is disclosed. The system enables laser voltage probing and laser voltage imaging of devices within the DUT. A selected area of the DUT is illuminating a while the DUT is receiving test signals causing certain of the active devices to modulate. Light reflected from the DUT is collected and is converted into an electrical signal. The electrical signal is sampled by an ADC and the output of the ADC is sent to an FPGA. The FPGA operates on the signal so as to provide an output that emulates a spectrum analyzer or a vector analyzer.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux

12.

Through process flow intra-chip and inter-chip electrical analysis and process control using in-line nanoprobing

      
Numéro d'application 14751017
Numéro de brevet 10539589
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-06-25
Date de la première publication 2015-12-31
Date d'octroi 2020-01-21
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Ukraintsev, Vladimir
  • Niv, Israel
  • Benzion, Ronen

Abrégé

System for performing in-line nanoprobing on semiconductor wafer. A wafer support or vertical wafer positioner is attached to a wafer stage. An SEM column, an optical microscope and a plurality of nanoprobe positioners are all attached to the ceiling. The nanoprobe positioners have one nanoprobe configured for physically contacting selected points on the wafer. A force (or touch) sensor measures contact force applied by the probe to the wafer (or the moment) when the probe physically contacts the wafer. A plurality of drift sensors are provided for calculating probe vs. wafer alignment drift in real-time during measurements.

Classes IPC  ?

  • G01Q 30/02 - Dispositifs d'analyse d’un type autre que la microscopie à sonde à balayage SPM, p. ex. microscope électronique à balayage SEM [Scanning Electron Microscope], spectromètre ou microscope optique
  • G01R 31/26 - Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
  • H01J 37/28 - Microscopes électroniques ou ioniquesTubes à diffraction d'électrons ou d'ions avec faisceaux de balayage
  • H01L 21/66 - Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
  • G01R 31/28 - Test de circuits électroniques, p. ex. à l'aide d'un traceur de signaux
  • G01R 1/067 - Sondes de mesure

13.

Method and system for the examination of a sample by means of thermography

      
Numéro d'application 14653226
Numéro de brevet 09905014
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2013-11-13
Date de la première publication 2015-11-26
Date d'octroi 2018-02-27
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Heissenstein, Hans
  • Stolz, Peter
  • Meinhardt-Wildegger, Raiko

Abrégé

n are characteristic for gradients in heat flow velocity in further depths lying deeper as the second depth; and extracting from the thermal images an indication of the presence of any gradients of heat flow velocity at the respective depth distances from a surface of the sample. The system is configured to carry out the above method.

Classes IPC  ?

  • G01J 5/02 - Détails structurels
  • G01N 25/72 - Recherche de la présence de criques
  • G06K 9/52 - Extraction d'éléments ou de caractéristiques de l'image en déduisant des propriétés mathématiques ou géométriques de l'image complète
  • G06T 7/20 - Analyse du mouvement
  • H04N 5/33 - Transformation des rayonnements infrarouges
  • H04N 5/243 - Circuits pour la compensation des variations de la luminance de l'objet en agissant sur le signal d'image
  • G06T 7/00 - Analyse d'image
  • G01J 5/00 - Pyrométrie des radiations, p. ex. thermométrie infrarouge ou optique

14.

Spectral mapping of photo emission

      
Numéro d'application 14682057
Numéro de brevet 09903824
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-04-08
Date de la première publication 2015-10-15
Date d'octroi 2018-02-27
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Deslandes, Herve
  • Reverdy, Antoine
  • Parrassin, Thierry

Abrégé

An apparatus and method for optical probing of a DUT is disclosed. The system enables identifying, localizing and classifying faulty devices within the DUT. A selected area of the DUT is imaged while the DUT is receiving test signals, which may be static or dynamic, i.e., causing certain of the active devices to modulate. Light from the DUT is collected and is passed through a transparent diffracting grating prior to imaging it by a sensor and converting it into an electrical signal. The resulting image includes the zero order and first order diffraction of the grating. The grating is configured such that the zero order is in registration with emission sites imaged when the grating is outside the optical path.

Classes IPC  ?

  • G06F 17/18 - Opérations mathématiques complexes pour l'évaluation de données statistiques
  • G01N 21/956 - Inspection de motifs sur la surface d'objets
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01N 21/95 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
  • G01N 21/66 - Systèmes dans lesquels le matériau analysé est excité de façon à ce qu'il émette de la lumière ou qu'il produise un changement de la longueur d'onde de la lumière incidente excité électriquement, p. ex. par électroluminescence

15.

Self correcting floating SIL tip

      
Numéro d'application 14645273
Numéro de brevet 10133051
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-03-11
Date de la première publication 2015-09-17
Date d'octroi 2018-11-20
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Frank, Jonathan
  • Sabbineni, Prasad

Abrégé

An optics arrangement for a solid immersion lens (SIL) is disclosed. The arrangement enables the SIL to freely tilt. The arrangement includes a SIL having an optical axis extending from an engaging surface and a rear surface of the SIL; a SIL housing having a cavity configured to accept the SIL therein while allowing the SIL to freely tilt within the cavity, wherein the cavity includes a hole positioned such that the optical axis passes there-through, to thereby allow light collected by the SIL to propagate to an objective lens; and, a SIL retainer attached to the SIL housing and configured to prevent the SIL from exiting the cavity.

Classes IPC  ?

  • G02B 21/02 - Objectifs
  • G02B 21/33 - Huiles d'immersion
  • G02B 7/02 - Montures, moyens de réglage ou raccords étanches à la lumière pour éléments optiques pour lentilles

16.

System and method for fault isolation by emission spectra analysis

      
Numéro d'application 14657605
Numéro de brevet 10041997
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-03-13
Date de la première publication 2015-09-17
Date d'octroi 2018-08-07
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Deslandes, Herve
  • Sabbineni, Prasad
  • Freed, Regina

Abrégé

An apparatus and method for optical probing of a DUT is disclosed. The system enables identifying, localizing and classifying faulty devices within the DUT. A selected area of the DUT is imaged while the DUT is receiving test signals, which may be static or dynamic, i.e., causing certain of the active devices to modulate. Light from the DUT is collected and is passed through a rotatable diffracting element prior to imaging it by a sensor and converting it into an electrical signal. The resulting image changes depending on the rotational positioning of the grating. The diffracted image is inspected to identify, localize and classify faulty devices within the DUT.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/308 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01N 21/956 - Inspection de motifs sur la surface d'objets
  • G01N 21/95 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser

17.

Optimized wavelength photon emission microscope for VLSI devices

      
Numéro d'application 14250361
Numéro de brevet 09817060
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2014-04-10
Date de la première publication 2015-04-02
Date d'octroi 2017-11-14
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s) Deslandes, Herve

Abrégé

A method for emission testing of a semiconductor device (DUT), by mounting the DUT onto an test bench of an emission tester, the emission tester having an optical detector; electrically connecting the DUT to an electrical tester; applying electrical test signals to the DUT while keeping test parameters constant; serially inserting one of a plurality of shortpass filters into an optical path of the emission tester and collecting emission test signal from the optical detector until all available shortpass filters have been inserted into the optical path; determining appropriate shortpass filter providing highest signal to noise ratio of the emission signal; inserting the appropriate shortpass filter into the optical path; and, performing emission testing on the DUT.

Classes IPC  ?

  • G01R 31/26 - Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
  • G01R 31/311 - Test sans contact utilisant des rayonnements électromagnétiques non ionisants, p. ex. des rayonnements optiques de circuits intégrés
  • G01R 15/24 - Adaptations fournissant une isolation en tension ou en courant, p. ex. adaptations pour les réseaux à haute tension ou à courant fort utilisant des dispositifs modulateurs de lumière

18.

Method for examination of a sample by means of the heat flow thermography

      
Numéro d'application 14362122
Numéro de brevet 09816866
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2012-12-10
Date de la première publication 2014-11-06
Date d'octroi 2017-11-14
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s)
  • Lang, Haymo
  • Mielke, Jochen

Abrégé

The invention provides a method for a non-destructive, non-contacting and image forming examination of a sample by means of the heat flow thermography method where the examination consists of evaluating an existence and/or depth distance values of any heat flow velocity transitions below a surface of the sample, wherein the sample is excited by heat pulses of at least one excitation source, and a thermal flow originating therefrom is captured by at least one infrared sensor in an image sequence of thermal images, and wherein the thermal images obtained from the image sequence are evaluated by means of a signal and image processing and depicting a thermal flow with a resolution in time and in space. The method comprises: exciting the sample at least twice independently from each other by means of the heat pulses from the excitation source where a second excitation and any succeeding excitation is delayed with respect to a preceding excitation by a time delay whereby the start of the captured sequence happens at another defined point of time within the time between two images within an image sequence; detecting the respective total thermal flow processes generated by the at least two excitation processes of the sample by the infrared sensor in the independent image sequences containing the excitation as well as the thermal answer signal from the sample, combining all captured image sequences to a total image sequence in which all images are arranged in a sequence which is correct in time with respect to the point of time of the pulse like excitation, and extracting from the total image sequence, in a manner known per se, an indication of the depth distance of a heat flow velocity transition from a surface of the sample. Therein, the heat flow velocity transitions can be a boarder layer of a layered material or defects in a substrate or below a surface of a work piece.

Classes IPC  ?

  • G01J 5/00 - Pyrométrie des radiations, p. ex. thermométrie infrarouge ou optique
  • G01J 5/32 - Adaptation particulière en vue de l'indication ou de l'enregistrement
  • G01N 25/72 - Recherche de la présence de criques

19.

Apparatus and method for annular optical power management

      
Numéro d'application 14250373
Numéro de brevet 09885878
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2014-04-10
Date de la première publication 2014-10-16
Date d'octroi 2018-02-06
Propriétaire FEI EFA, Inc. (USA)
Inventeur(s) Serrels, Keith

Abrégé

A system and method for obtaining super-resolution image of an object. An illumination beam is directed through an optical axis onto the object to be imaged. Paraxial rays of the illumination beam are deflected away from the optical axis and into a beam dump. The non-paraxial rays are collected after being reflected by the object so as to generate an image only from the non-paraxial rays.

Classes IPC  ?

  • G02B 27/58 - Optique pour l'apodisation ou la super-résolvanceSystèmes optiques à ouverture synthétisée
  • G02B 21/32 - Micromanipulateurs combinés par construction avec des microscopes
  • G02B 21/00 - Microscopes