A heat treatment apparatus for high-quality graphene synthesis comprises an upper roll chamber, a deposition chamber connected to the upper roll chamber to deposit graphene on a catalytic metal film, and a lower roll chamber mounted on a lower portion of the deposition chamber. The upper roll chamber includes a supply roller and the lower roll chamber includes a lower direction shifting roller shifting a direction of the catalytic metal film supplied from the supply roller. In the deposition chamber, a catalytic metal film at a supply side transferred from the supply roller to the lower direction shifting roller and a catalytic metal film at a discharge side transferred from the lower direction shifting roller to a winding roller are passed, and a heater portion is mounted around the catalytic metal film at the supply side and the catalytic metal film at the discharge side.
C23C 16/46 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement caractérisé par le procédé utilisé pour le chauffage du substrat
B65H 23/26 - Positionnement, tension, suppression des à-coups ou guidage des bandes longitudinal par barres ou rouleaux transversaux fixes ou réglables
C23C 16/54 - Appareillage spécialement adapté pour le revêtement en continu
C01B 32/186 - Préparation par dépôt chimique en phase vapeur [CVD]
B01J 35/02 - Catalyseurs caractérisés par leur forme ou leurs propriétés physiques, en général solides
B65H 18/14 - Mécanismes d'enroulage des bandes dans lesquels l'énergie est appliquée à la bobine, p. ex. pour faire avancer la bande d'un mouvement continu
B65H 18/16 - Mécanismes d'enroulage des bandes dans lesquels l'énergie est appliquée à la bobine, p. ex. pour faire avancer la bande d'un mouvement continu par un rouleau de friction
2.
HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HIGH-QUALITY GRAPHENE SYNTHESIS
The present invention relates to a heat treatment apparatus for high-quality graphene synthesis and, more specifically, a heat treatment apparatus, for high-quality graphene synthesis, enabling more effective deposition of graphene on a catalytic metal film. The heat treatment apparatus for high-quality graphene synthesis has: an upper roll chamber; a deposition chamber which is connected to the upper roll chamber and in which graphene is deposited on a catalytic metal film; and a lower roll chamber mounted below the deposition chamber. The upper roll chamber has a supply roller, to which the catalytic metal film is supplied, and a winding roller which is for winding the catalytic metal film having graphene deposited thereon. The lower roll chamber has a lower direction conversion roller for converting the direction of the catalytic metal film such that the catalytic metal film is supplied from the supply roller, has graphene deposited thereon in the deposition chamber, and is wound by means of the winding roller. The supplied catalytic metal film, which is transferred from the supply roller to the lower direction conversion roller, and the discharged catalytic metal film, which is transferred from the lower direction conversion roller to the winding roller, pass through the deposition chamber, and a heater unit is mounted around the supplied catalytic metal film and the discharged catalytic metal film.
C23C 16/46 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement caractérisé par le procédé utilisé pour le chauffage du substrat
B65H 23/26 - Positionnement, tension, suppression des à-coups ou guidage des bandes longitudinal par barres ou rouleaux transversaux fixes ou réglables
B65H 37/00 - Appareils délivrant des articles ou des bandes, comportant des dispositifs pour exécuter des opérations auxiliaires particulières
According to one embodiment of the present invention, a method for transferring graphene comprises the steps of: transferring graphene of a metal sheet to a thermal release film in each vacuum chamber; and transferring graphene of the thermal release film to a parent substrate. The method for transferring graphene can increase adhesion by removing bubbles or foreign material during graphene transferring, thereby enabling the separation of graphene to be prevented during etching of a metal substrate and enabling an adhesive quality state of graphene for a target substrate to increase.
B65H 37/04 - Appareils délivrant des articles ou des bandes, comportant des dispositifs pour exécuter des opérations auxiliaires particulières pour fixer ensemble des articles ou des bandes, p. ex. par adhésifs, piqûre ou brochage
B65H 41/00 - Machines pour séparer des bandes superposées
H01L 29/16 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les matériaux dont ils sont constitués comprenant, mis à part les matériaux de dopage ou autres impuretés, seulement des éléments du groupe IV de la classification périodique, sous forme non combinée
The present invention relates to an apparatus for manufacturing a graphene film and, more particularly, to an apparatus for manufacturing a graphene film which deposits graphene while transferring a catalytic metal film in a roll-to-roll manner, comprising: an upper roll chamber for supplying a catalytic metal film rolled onto an unloading bobbin to a deposition chamber; a deposition chamber connected to the upper roll chamber to deposit graphene on the catalytic metal film; a lower roll chamber connected to the deposition chamber to roll the graphene-deposited catalytic metal film onto a loading bobbin; and a frame to which each of the chambers are fixed.
B65H 18/10 - Mécanismes d'enroulage des bandes dans lesquels l'énergie est appliquée à la broche de la bobine
B65H 20/02 - Progression des bandes par un rouleau de friction
B65H 23/06 - Positionnement, tension, suppression des à-coups ou guidage des bandes longitudinal par dispositifs de retardement, p. ex. agissant sur la broche de la bobine
B65H 23/188 - Positionnement, tension, suppression des à-coups ou guidage des bandes longitudinal en commandant ou régulant le mécanisme d'avance de la bande, p. ex. le mécanisme agissant sur la bande courante en liaison avec la bande courante
B65H 23/26 - Positionnement, tension, suppression des à-coups ou guidage des bandes longitudinal par barres ou rouleaux transversaux fixes ou réglables
C23C 16/455 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement caractérisé par le procédé utilisé pour introduire des gaz dans la chambre de réaction ou pour modifier les écoulements de gaz dans la chambre de réaction
H01B 1/04 - Conducteurs ou corps conducteurs caractérisés par les matériaux conducteurs utilisésEmploi de matériaux spécifiés comme conducteurs composés principalement soit de compositions à base de carbone-silicium, soit de carbone soit de silicium
brevets
