In a coolant system, the interior of a reservoir frame storing the coolant discharged from a machine tool is partitioned by a partition member into an outer peripheral coolant tub and a central coolant tub. The partition member is formed with a silt that extends in the depth direction to make the outer peripheral coolant tub communicate with the central coolant tub. A suction port of a pump that feeds the coolant in the central coolant tub to a filtering device is arranged in the central coolant tub. The coolant discharged from the machine tool is supplied to the central coolant tub without passing through the outer peripheral coolant tub. At least a part of the coolant filtered by the filtering device is supplied to the outer peripheral coolant tub without passing through the central coolant tub.
Plural spline shafts are arranged around columnar plasma, and plural spline shafts are coaxially aligned in a direction that the columnar plasma extends within a vacuum chamber. The plural coaxially aligned spline shafts are positioned so that axial gap is formed between the respective male spline sections. The axial gap of the plural male spline sections is positioned at a center of the columnar plasma in the direction that the columnar plasma extends.
C23C 14/06 - Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement caractérisé par le matériau de revêtement
C23C 16/458 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement caractérisé par le procédé utilisé pour supporter les substrats dans la chambre de réaction
C23C 16/50 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement au moyen de décharges électriques
F16D 3/06 - Accouplements extensibles, c.-à-d. avec moyens permettant le mouvement entre parties accouplées durant leur entraînement adaptés à des fonctions particulières spécialement adaptés pour permettre un déplacement axial
A highly corrosion-resistant member which comprises a stainless steel substrate, an inner layer covering at least part of the surface of the substrate, and an amorphous carbon film covering at least part of the surface of the inner layer and which is produced by forming the inner layer and the amorphous carbon film at least at a surface temperature of the substrate of as low as 450°C or below; and a highly corrosion-resistant member which comprises a stainless steel substrate whose surface is nitrided and an amorphous carbon film covering at least part of the surface of the substrate and which is produced by conducting the nitriding and the formation of the amorphous carbon film at least at a surface temperature of the substrate of as low as 450°C or below. In the step of producing the above corrosion-resistant members, the surface of the stainless steel substrate is not exposed to high temperature (> 450°C), so that the members exhibit corrosion resistance equivalent to that of original stainless steel.
C23C 8/38 - Traitement de la couche superficielle de matériaux ferreux
C23C 8/50 - Nitruration de la couche superficielle de matériaux ferreux
C23C 14/14 - Matériau métallique, bore ou silicium
C23C 28/00 - Revêtement pour obtenir au moins deux couches superposées, soit par des procédés non prévus dans un seul des groupes principaux , soit par des combinaisons de procédés prévus dans les sous-classes et
C23C 28/04 - Revêtements uniquement de matériaux inorganiques non métalliques
F16C 33/24 - CoussinetsBaguesGarnitures antifriction avec différentes aires de surface de glissement constituées de matériaux différents
brevets
