Sunsonix, Inc.

États‑Unis d’Amérique

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Classe IPC
B23Q 11/10 - Dispositions pour le refroidissement ou la lubrification des outils ou des pièces travaillées 1
B24B 53/095 - Refroidissement ou lubrification pendant l'opération de dressage 1
C09K 5/00 - Substances pour le transfert de chaleur, pour l'échange de chaleur ou pour le stockage de la chaleur, p. ex. réfrigérantsSubstances pour la production de chaleur ou de froid par des réactions chimiques autres que la combustion 1
H01L 21/301 - Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes pour subdiviser un corps semi-conducteur en parties distinctes, p. ex. cloisonnement en zones séparées 1
Résultats pour  brevets

1.

SILICON WAFER SAWING FLUID AND PROCESS FOR THE USE THEREOF

      
Numéro d'application US2010043509
Numéro de publication 2011/017154
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2010-07-28
Date de publication 2011-02-10
Propriétaire SUNSONIX, INC. (USA)
Inventeur(s)
  • Treichel, Helmuth
  • Bohling, Dave
  • George, Mark

Abrégé

A process is provided in which a metal chelating agent is dissolved in an aqueous or glycol-based cooling fluid to form a chelating solution with a chelating agent concentration. A silicon boule is cut with a saw to detach a silicon wafer from the boule while the interface between the silicon boule and the saw is bathed with the chelating solution during the cutting.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/301 - Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes pour subdiviser un corps semi-conducteur en parties distinctes, p. ex. cloisonnement en zones séparées
  • B24B 53/095 - Refroidissement ou lubrification pendant l'opération de dressage
  • B23Q 11/10 - Dispositions pour le refroidissement ou la lubrification des outils ou des pièces travaillées
  • C09K 5/00 - Substances pour le transfert de chaleur, pour l'échange de chaleur ou pour le stockage de la chaleur, p. ex. réfrigérantsSubstances pour la production de chaleur ou de froid par des réactions chimiques autres que la combustion