Futrfab, Inc

États‑Unis d’Amérique

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Type PI
        Brevet 15
        Marque 5
Juridiction
        États-Unis 15
        International 5
Date
2023 1
2021 2
Avant 2020 17
Classe IPC
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants 7
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail 6
B01L 1/04 - Chambres ou enceintes sans poussière 4
B23P 19/04 - Machines effectuant simplement l'assemblage ou la séparation de pièces ou d'objets métalliques entre eux ou des pièces métalliques avec des pièces non métalliques, que cela entraîne ou non une certaine déformationOutils ou dispositifs à cet effet dans la mesure où ils ne sont pas prévus dans d'autres classes pour assembler ou séparer des pièces 2
G06F 19/00 - Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des applications spécifiques (spécialement adaptés à des fonctions spécifiques G06F 17/00;systèmes ou méthodes de traitement de données spécialement adaptés à des fins administratives, commerciales, financières, de gestion, de surveillance ou de prévision G06Q;informatique médicale G16H) 2
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Statut
En Instance 1
Enregistré / En vigueur 19

1.

METHODS, APPARATUS AND PRODUCTS OF CELL, TISSUE ENGINEERING AND VACCINE/ANTIBODY PRODUCTION SYSTEMS

      
Numéro d'application 18211264
Statut En instance
Date de dépôt 2023-06-18
Date de la première publication 2023-10-19
Propriétaire Futrfab Inc. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

The present invention provides apparatus and methods for production of tissue structures, organs, vaccines, and antibody products. In some examples, a cleanspace facility may be equipped with fluid interconnections and controls. The fluid interconnections may be located in a primary cleanspace or peripheral to a primary cleanspace. Sterilization may be performed within the primary cleanspace and within the fluid interconnections. In some examples, the facility may include modelling hardware and software, nanotechnology and microelectronic apparatus, and additive manufacturing equipment to print cells and support matrix to allow cells to grow into tissue structures and organs. Novel structures combining various cell types and electronics may be formed with the fabricator. In some examples, advanced vaccine products may be produced entirely within the scalable, sterile, and automated fabricator.

Classes IPC  ?

  • C12M 1/12 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie avec des moyens de stérilisation, filtration ou dialyse
  • A61K 39/00 - Préparations médicinales contenant des antigènes ou des anticorps
  • C07K 14/005 - Peptides ayant plus de 20 amino-acidesGastrinesSomatostatinesMélanotropinesLeurs dérivés provenant de virus
  • C12M 3/00 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus
  • C12M 3/06 - Appareillage pour la culture de tissus, de cellules humaines, animales ou végétales, ou de virus avec des moyens de filtration, d'ultrafiltration, d'osmose inverse ou de dialyse
  • C12M 1/00 - Appareillage pour l'enzymologie ou la microbiologie
  • C12N 5/071 - Cellules ou tissus de vertébrés, p. ex. cellules humaines ou tissus humains

2.

O ORGANOFAB

      
Numéro de série 90764135
Statut Enregistrée
Date de dépôt 2021-06-09
Date d'enregistrement 2023-01-10
Propriétaire Futrfab Inc. ()
Classes de Nice  ? 09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques

Produits et services

Clean environment cell and tissue engineering fabricators in the nature of fabrication systems relevant to the research, development and production of tissue engineered medical products, namely, bioreactors for cell culturing

3.

METHODS, APPARATUS AND PRODUCTS OF CELL, TISSUE ENGINEERING AND VACCINE/ANTIBODY PRODUCTION SYSTEMS

      
Numéro d'application US2020040377
Numéro de publication 2021/003196
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2020-06-30
Date de publication 2021-01-07
Propriétaire FUTRFAB, INC (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick

Abrégé

The present invention provides apparatus and methods for production of tissue structures, organs, vaccines and antibody products. In some examples, a cleanspace facility may be equipped with fluid interconnections and controls. The fluid interconnections may be located in a primary cleanspace or peripheral to a primary cleanspace. Sterilization may be performed within the primary cleanspace and within the fluid interconnections. In some examples, the facility may include modelling hardware and software, nanotechnology and microelectronic apparatus, and additive manufacturing equipment to print cells and support matrix to allow cells to grow into tissue structures and organs. Novel structures combining various cell types and electronics may be formed with the fabricator. In some examples, advanced vaccine products may be produced entirely within the scalable, sterile and automated fabricator.

Classes IPC  ?

  • B65G 65/00 - Chargement ou déchargement
  • H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
  • H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail

4.

ORGANOFAB

      
Numéro de série 88455168
Statut Enregistrée
Date de dépôt 2019-05-31
Date d'enregistrement 2020-07-21
Propriétaire Futrfab, Inc ()
Classes de Nice  ? 09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques

Produits et services

Clean environment cell and tissue engineering fabricators, namely, fabrication systems relevant to the research, development and production of tissue engineered medical products, namely, bioreactors for cell culture

5.

Method and apparatus for a high resolution imaging system

      
Numéro d'application 14861737
Numéro de brevet 09558915
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-09-22
Date de la première publication 2016-01-14
Date d'octroi 2017-01-31
Propriétaire FUTRFAB,INC. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

The present invention provides apparatus for an imaging system comprising a multitude of imaging elements upon a substrate. In some embodiments the substrate may be approximately round with a radius of approximately one inch. Various methods relating to using and producing an imaging system are discussed.

Classes IPC  ?

  • H01J 37/317 - Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets pour modifier les propriétés des objets ou pour leur appliquer des revêtements en couche mince, p. ex. implantation d'ions
  • H01J 37/248 - Composants associés à l'alimentation haute tension
  • H01J 37/20 - Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériauMoyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
  • B82B 3/00 - Fabrication ou traitement des nanostructures par manipulation d’atomes ou de molécules, ou d’ensembles limités d’atomes ou de molécules un à un comme des unités individuelles
  • H01J 37/06 - Sources d'électronsCanons à électrons
  • H01J 37/08 - Sources d'ionsCanons à ions
  • H01J 9/02 - Fabrication des électrodes ou des systèmes d'électrodes

6.

METHODS AND APPARATUS FOR A CLEANSPACE FABRICATOR TO PROCESS PRODUCTS IN VESSELS

      
Numéro d'application US2015021821
Numéro de publication 2015/148316
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-03-20
Date de publication 2015-10-01
Propriétaire FUTRFAB INC. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick

Abrégé

The present disclosure provides various apparatus and methods for utilizing aspects of Cleanspace Fabricators. In some examples, methods relate to the material transport and processing involving Vessels or wells. The Vessels or wells may contain liquid or powder forms of materials.

Classes IPC  ?

  • B01L 1/04 - Chambres ou enceintes sans poussière
  • F24F 3/16 - Systèmes de conditionnement d'air dans lesquels l'air conditionné primaire est fourni par une ou plusieurs stations centrales aux blocs de distribution situés dans les pièces ou enceintes, blocs dans lesquels il peut subir un traitement secondaireAppareillage spécialement conçu pour de tels systèmes caractérisés par le traitement de l'air autrement que par chauffage et refroidissement par purification, p. ex. par filtrageSystèmes de conditionnement d'air dans lesquels l'air conditionné primaire est fourni par une ou plusieurs stations centrales aux blocs de distribution situés dans les pièces ou enceintes, blocs dans lesquels il peut subir un traitement secondaireAppareillage spécialement conçu pour de tels systèmes caractérisés par le traitement de l'air autrement que par chauffage et refroidissement par stérilisationSystèmes de conditionnement d'air dans lesquels l'air conditionné primaire est fourni par une ou plusieurs stations centrales aux blocs de distribution situés dans les pièces ou enceintes, blocs dans lesquels il peut subir un traitement secondaireAppareillage spécialement conçu pour de tels systèmes caractérisés par le traitement de l'air autrement que par chauffage et refroidissement par ozonisation
  • H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

7.

Method and apparatus for an imaging system

      
Numéro d'application 14594335
Numéro de brevet 09171697
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2015-01-12
Date de la première publication 2015-07-16
Date d'octroi 2015-10-27
Propriétaire Futrfab, Inc (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

The present invention provides apparatus for an imaging system comprising a multitude of imaging elements upon a substrate. In some embodiments the substrate may be approximately round with a radius of approximately one inch. Various methods relating to using and producing an imaging system are discussed.

Classes IPC  ?

  • H04N 5/28 - Studios mobiles
  • G01J 9/00 - Mesure du déphasage des rayons lumineuxRecherche du degré de cohérenceMesure de la longueur d'onde des rayons lumineux
  • G01J 3/02 - SpectrométrieSpectrophotométrieMonochromateursMesure de la couleur Parties constitutives
  • H01J 37/317 - Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets pour modifier les propriétés des objets ou pour leur appliquer des revêtements en couche mince, p. ex. implantation d'ions
  • H01J 37/20 - Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériauMoyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
  • H05K 3/32 - Connexions électriques des composants électriques ou des fils à des circuits imprimés

8.

Method of forming a cleanspace fabricator

      
Numéro d'application 14024335
Numéro de brevet 09793146
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2013-09-11
Date de la première publication 2014-01-16
Date d'octroi 2017-10-17
Propriétaire Futrfab, Inc. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

A fab can be constructed as a round or rectangular annular tube with a primary cleanspace located in-between its inner and outer tubes. The fab can be encircled with levels upon which tools can be densely packed while preserving unidirectional air flow. If only tool ports are inside, and robotics are used, primary cleanspace size can be minimized. Highly simplified robotics can be used. Tools can be removed and repaired centrally. A secondary cleanspace can be added for tool bodies. Multilevel construction enhances use of prefabricated units for fab build or maintenance. Curves or folds, applied to a conventional planar cleanroom, can construct a wide range of fab geometries, including a tubular non-annular fab. A fab can also be constructed according to a curved or non-curved sectional cut of an annular tube. A novel fab, of a non-curved section, can include a non-segmented cleanspace or have its tools vertically stacked.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
  • B01L 1/04 - Chambres ou enceintes sans poussière
  • H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

9.

PROCESSES RELATING TO CLEANSPACE FABRICATORS

      
Numéro d'application US2013047636
Numéro de publication 2014/008043
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2013-06-25
Date de publication 2014-01-09
Propriétaire FUTRFAB INC. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick

Abrégé

The present invention provides various methods for utilizing aspects of cleanspace fabricators. In some embodiments methods related to the development of tooling in applications or "apps" type models are discussed. In other embodiments methods related to product development based on crowd sourcing are discussed. In other embodiments licensing models for design blocks, process flows, assembly processing and assembly related intellectual processing are discussed.

Classes IPC  ?

10.

Method and apparatus to support a cleanspace fabricator

      
Numéro d'application 13836182
Numéro de brevet 08984744
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2013-03-15
Date de la première publication 2013-09-12
Date d'octroi 2015-03-24
Propriétaire Futrfab, Inc. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick

Abrégé

The present invention provides various aspects of support for a fabrication facility capable of routine placement and replacement of processing tools. Support aspects include support structure for processing tools, a clean environment carrier for a single substrate and a quick disconnect flange which facilities connecting and disconnect of electrical, liquid and gas utilities to a processing tool placed in the fabricator. Methods of installing processing tools and for producing substrates in this environment are provided.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/306 - Traitement chimique ou électrique, p. ex. gravure électrolytique
  • B23P 19/04 - Machines effectuant simplement l'assemblage ou la séparation de pièces ou d'objets métalliques entre eux ou des pièces métalliques avec des pièces non métalliques, que cela entraîne ou non une certaine déformationOutils ou dispositifs à cet effet dans la mesure où ils ne sont pas prévus dans d'autres classes pour assembler ou séparer des pièces
  • H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
  • H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
  • H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail

11.

RETROFITTING CLEANROOM FABRICATORS INTO CLEANSPACE FABRICATORS

      
Numéro d'application US2013020906
Numéro de publication 2013/106487
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2013-01-09
Date de publication 2013-07-18
Propriétaire FUTRFAB, INC. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

The present invention provides various methods for forming cleanspace fabricators by retrofitting a structure of an existing cleanroom based fabricator. In some embodiments, a cleanspace fabricator is formed within a region of a cleanroom fabricator which is not transformed.

Classes IPC  ?

  • B01L 1/04 - Chambres ou enceintes sans poussière

12.

CLEANSPACE FABRICATORS FOR HIGH TECHNOLOGY MANUFACTURING AND ASSEMBLY PROCESSING

      
Numéro d'application US2013020904
Numéro de publication 2013/106486
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2013-01-09
Date de publication 2013-07-18
Propriétaire FUTRFAB, INC. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick, A.

Abrégé

The present invention provides various aspects for processing multiple types of substrates within cleanspace fabricators or for processing multiple or single types of substrates in multiple types of cleanspace environments. In some embodiments, a collocated composite cleanspace fabricator may be capable of processing semiconductor devices into integrated circuits and then performing assembly operations to result in product in packaged form.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives

13.

Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space

      
Numéro d'application 13398371
Numéro de brevet 09059227
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2012-02-16
Date de la première publication 2012-08-23
Date d'octroi 2015-06-16
Propriétaire Futrfab, Inc. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

The present invention provides various aspects of support for a fabrication facility capable of routine placement and replacement of processing tools in at least a vertical dimension relative to each other.

Classes IPC  ?

  • G06F 19/00 - Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des applications spécifiques (spécialement adaptés à des fonctions spécifiques G06F 17/00;systèmes ou méthodes de traitement de données spécialement adaptés à des fins administratives, commerciales, financières, de gestion, de surveillance ou de prévision G06Q;informatique médicale G16H)
  • H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail
  • H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

14.

Miscellaneous Design

      
Numéro de série 85658913
Statut Enregistrée
Date de dépôt 2012-06-22
Date d'enregistrement 2014-08-05
Propriétaire Futrfab Inc. ()
Classes de Nice  ? 09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques

Produits et services

Semiconductors

15.

FUTRFAB

      
Numéro de série 85502750
Statut Enregistrée
Date de dépôt 2011-12-22
Date d'enregistrement 2013-06-04
Propriétaire FutrFab, Inc. ()
Classes de Nice  ? 09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques

Produits et services

Semiconductors

16.

TOOLPOD

      
Numéro de série 85502761
Statut Enregistrée
Date de dépôt 2011-12-22
Date d'enregistrement 2013-06-04
Propriétaire FutrFab, Inc. ()
Classes de Nice  ? 09 - Appareils et instruments scientifiques et électriques

Produits et services

Semiconductors

17.

Method and apparatus to support process tool modules in a cleanspace fabricator

      
Numéro d'application 12691623
Numéro de brevet 09457442
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2010-01-21
Date de la première publication 2010-08-19
Date d'octroi 2016-10-04
Propriétaire Futrfab, Inc. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

The present invention provides various aspects of support for a processing tool in a fabrication facility capable of routine placement and replacement of processing tools and component assemblies of the tools. Support aspects include a support structure for component assemblies and a quick disconnect flange which facilitates connecting and disconnect of electrical, liquid and gas utilities to a tool component placed in the processing tool.

Classes IPC  ?

  • H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
  • F16J 15/00 - Joints d'étanchéité
  • B23Q 3/155 - Agencements pour insérer ou retirer automatiquement les outils
  • H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
  • H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail

18.

Method and apparatus for a cleanspace fabricator

      
Numéro d'application 11933280
Numéro de brevet 08641824
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2007-10-31
Date de la première publication 2008-06-12
Date d'octroi 2014-02-04
Propriétaire FUTRFAB, INC (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

A fab can be constructed as a round or rectangular annular tube with a primary cleanspace located in-between its inner and outer tubes. The fab can be encircled with levels upon which tools can be densely packed while preserving unidirectional air flow. If only tool ports are inside, and robotics are used, primary cleanspace size can be minimized. Highly simplified robotics can be used. Tools can be removed and repaired centrally. A secondary cleanspace can be added for tool bodies. Multilevel construction enhances use of prefabricated units for fab build or maintenance. Curves or folds, applied to a conventional planar cleanroom, can construct a wide range of fab geometries, including a tubular non-annular fab. A fab can also be constructed according to a curved or non-curved sectional cut of an annular tube. A novel fab, of a non-curved section, can include a nonsegmented cleanspace or have its tools vertically stacked.

Classes IPC  ?

  • C23C 16/00 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD]
  • C23F 1/00 - Décapage de matériaux métalliques par des moyens chimiques
  • B01L 1/04 - Chambres ou enceintes sans poussière

19.

Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space

      
Numéro d'application 11520975
Numéro de brevet 08229585
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2006-09-14
Date de la première publication 2007-11-22
Date d'octroi 2012-07-24
Propriétaire FUTRFAB, INC (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

A computerized system for a fabrication facility capable of routine placement and replacement of processing tools in at least a vertical dimension relative to each other.

Classes IPC  ?

  • G06F 19/00 - Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des applications spécifiques (spécialement adaptés à des fonctions spécifiques G06F 17/00;systèmes ou méthodes de traitement de données spécialement adaptés à des fins administratives, commerciales, financières, de gestion, de surveillance ou de prévision G06Q;informatique médicale G16H)

20.

Apparatus to support a cleanspace fabricator

      
Numéro d'application 11502689
Numéro de brevet 09339900
Statut Délivré - en vigueur
Date de dépôt 2006-08-12
Date de la première publication 2007-03-15
Date d'octroi 2016-05-17
Propriétaire Futrfab, Inc. (USA)
Inventeur(s) Flitsch, Frederick A.

Abrégé

The present invention provides various aspects of support for a fabrication facility capable of routine placement and replacement of processing tools. Support aspects include support structure for processing tools, a clean environment carrier for a single substrate, and a quick disconnect flange which facilitates connecting and disconnect of electrical, liquid and gas utilities to a processing tool placed in the fabricator.

Classes IPC  ?

  • B23P 19/04 - Machines effectuant simplement l'assemblage ou la séparation de pièces ou d'objets métalliques entre eux ou des pièces métalliques avec des pièces non métalliques, que cela entraîne ou non une certaine déformationOutils ou dispositifs à cet effet dans la mesure où ils ne sont pas prévus dans d'autres classes pour assembler ou séparer des pièces
  • H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
  • H01L 21/673 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants utilisant des supports spécialement adaptés
  • H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail