Abrégé

The present invention provides a cleaning method and equipment thereof for object FOUP, comprising the following steps: firstly separating the object FOUP into a container lid and a container body, then conducting individual processes of wet washing, liquid removing and vacuum drying for the container lid and container body, and in the end combining the container lid and container body to complete the cleaning procedure of the object FOUP; specifically, during the liquid removing process, multiple wind knives are used to carry out liquid removing for the container body, and during the vacuum drying process after liquid removing, multiple thermal components are used to carry out vacuum drying for the container body under a vacuum environment; moreover, the present invention also includes the cleaning equipment to execute the above method, for the purpose of overcoming the problem that the wet cleaning process in the conventional automatic chip FOUP cleaning technique cannot effectively clean object FOUPs with relatively complicated internal structures.

Classes IPC  ?

• B08B 9/093 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs par la force de jets ou de pulvérisations
• B08B 5/02 - Nettoyage par la force de jets, p. ex. le soufflage de cavités
• B08B 13/00 - Accessoires ou parties constitutives, d'utilisation générale, des machines ou appareils de nettoyage
• B08B 3/02 - Nettoyage par la force de jets ou de pulvérisations
• B08B 9/08 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs
• F26B 5/04 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets n'impliquant pas l'utilisation de chaleur par évaporation ou sublimation de l'humidité sous une pression réduite, p. ex. sous vide
• F26B 5/08 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets n'impliquant pas l'utilisation de chaleur par traitement centrifuge
• F26B 25/06 - Chambres, récipients ou réceptacles
• F26B 21/08 - Commande, p. ex. régulation des paramètres de l'alimentation en gaz de l'humidité
• B25J 11/00 - Manipulateurs non prévus ailleurs

Abrégé

The present invention provides a cleaning method and equipment thereof for object FOUP, comprising the following steps: firstly separating the object FOUP into a container lid and a container body, then conducting individual processes of wet washing, liquid removing and vacuum drying for the container lid and container body, and in the end combining the container lid and container body to complete the cleaning procedure of the object FOUP; specifically, during the liquid removing process, multiple wind knives are used to carry out liquid removing for the container body, and during the vacuum drying process after liquid removing, multiple thermal components are used to carry out vacuum drying for the container body under a vacuum environment; moreover, the present invention also includes the cleaning equipment to execute the above method, for the purpose of overcoming the problem that the wet cleaning process in the conventional automatic chip FOUP cleaning technique cannot effectively clean object FOUPs with relatively complicated internal structures.

Classes IPC  ?

• B08B 9/093 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs par la force de jets ou de pulvérisations
• B08B 5/02 - Nettoyage par la force de jets, p. ex. le soufflage de cavités
• B08B 13/00 - Accessoires ou parties constitutives, d'utilisation générale, des machines ou appareils de nettoyage
• B08B 3/02 - Nettoyage par la force de jets ou de pulvérisations
• B08B 9/08 - Nettoyage de récipients, p. ex. de réservoirs
• F26B 5/04 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets n'impliquant pas l'utilisation de chaleur par évaporation ou sublimation de l'humidité sous une pression réduite, p. ex. sous vide
• F26B 5/08 - Procédés de séchage d'un matériau solide ou d'objets n'impliquant pas l'utilisation de chaleur par traitement centrifuge
• F26B 25/06 - Chambres, récipients ou réceptacles
• F26B 21/08 - Commande, p. ex. régulation des paramètres de l'alimentation en gaz de l'humidité
• B25J 11/00 - Manipulateurs non prévus ailleurs
• H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p. ex. entre différents postes de travail