Abrégé

A method includes forming first integrated circuits on a front side of a semiconductor substrate of a first device die, forming a trench capacitor extending from a backside of the semiconductor substrate into the semiconductor substrate, and forming a first through-via and a second through-via penetrating through the semiconductor substrate. The trench capacitor is electrically coupled between the first through-via and the second through-via. A second device die is bonded to the first die. The second device die includes second integrated circuits, and power nodes of the second integrated circuits are electrically coupled to the first through-via and the second through-via.

Classes IPC  ?

• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes

Abrégé

A semiconductor structure includes a conductive layer, an IMD layer and a plurality of protrusions. The IMD layer is formed on the conductive layer and has a first etch rate. Each protrusion includes an etching slowing layer, a lower electrode and a MTJ layer, wherein the etching slowing layer is formed on the IMD layer and has a second etch rate, the lower electrode passes through the IMD layer and the etching slowing layer, and the MTJ layer is formed on the lower electrode. The second etch rate is less than the first etch rate.

Classes IPC  ?

• H10N 50/10 - Dispositifs magnéto-résistifs
• H10B 61/00 - Dispositifs de mémoire magnétique, p. ex. dispositifs RAM magnéto-résistifs [MRAM]
• H10N 50/01 - Fabrication ou traitement
• H10N 50/80 - Détails de structure

Abrégé

A gate oxide layer for a high voltage transistor is formed using methods that avoid thinning in the corners of the gate oxide layer. A recess is formed in a silicon substrate. The exposed surfaces of the recess are thermally oxidized to form a thermal oxide layer of the gate oxide layer. A high temperature oxide layer of the gate oxide layer is then formed within the exposed surfaces of the recess by chemical vapor deposition. The combination of the thermal oxide layer and the high temperature oxide layer results in a gate oxide layer that does not exhibit the double hump phenomenon in the drain current vs. gate voltage curve. The high temperature oxide layer may include a rim that extends out of the recess.

Classes IPC  ?

• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

A semiconductor package includes an interposer that has a first side and a second side opposing the first side. A semiconductor device that is on the first side of the interposer and an optical device that is on the first side of the interposer and next to the semiconductor device. A first encapsulant layer includes a first portion and a second portion. The first portion of the first encapsulant layer is on the first side of the interposer and along sidewalls of the semiconductor device. A gap is between a first sidewall of the optical device and a second sidewall of the first portion of the first encapsulant layer. A substrate is over the second side of the interposer. The semiconductor device and the optical device are electrically coupled to the substrate through the interposer.

Classes IPC  ?

• H01L 25/18 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types prévus dans plusieurs différents groupes principaux de la même sous-classe , , , , ou
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide

Abrégé

Various embodiments of the present disclosure are directed to a vertical gate-all-around (GAA) memory cell. A middle conductor overlies a lower conductor and decreases in width towards the lower conductor to culminate in a point spaced from the lower conductor. An insulator structure is between the lower conductor and the middle conductor. A semiconductor channel overlies the middle conductor, and a gate electrode laterally surrounds the semiconductor channel on a sidewall of the semiconductor channel. A gate dielectric layer separates the gate electrode from the semiconductor channel, and an upper conductor overlies the semiconductor channel. The lower and middle conductors and the insulator structure correspond to a resistor, whereas the middle conductor, the upper conductor, the gate electrode, the gate dielectric layer, and the semiconductor channel correspond to a transistor atop the resistor.

Classes IPC  ?

• H10B 10/00 - Mémoires statiques à accès aléatoire [SRAM]
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

A semiconductor device and the method of forming the same are provided. The semiconductor device may comprise a first plurality of nanostructures, a second plurality of nanostructures over a substrate, a first gate stack extending between the nanostructures of the first plurality of nanostructures, a second gate stack extending between the nanostructures of the second plurality of nanostructures, a first source/drain region in contact with a first nanostructure of the first plurality of nanostructures, a second source/drain region in contact with a first nanostructure of the second plurality of nanostructures, wherein the second source/drain region may be separated from the first source/drain region, a silicide layer between the first source/drain region and the second source/drain region, and an isolation layer between the silicide layer and the substrate.

Classes IPC  ?

• H01L 29/45 - Electrodes à contact ohmique
• H01L 21/285 - Dépôt de matériaux conducteurs ou isolants pour les électrodes à partir d'un gaz ou d'une vapeur, p. ex. condensation
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique

Abrégé

A zone heater assembly of a reflow solder tool includes a gas deflector having a single-layer structure. The single-layer structure may include one or more gas-permeating patterns through which a process gas is to flow from one or more gas outlets to a gas exhaust of the zone heater assembly. The one or more gas-permeating patterns in the single-layer structure promote uniformity of gas flow through the gas exhaust and into a heating zone of the reflow solder tool. The uniformity of the gas flow of the process gas enables convection heat provided by the process gas to be uniformly distributed across the heating zone. In this way, the gas deflector described herein may decrease hot spots and/or cold spots in the heating zone, which enables greater flexibility in placement of semiconductor package substrates on a conveyor device of the reflow solder tool.

Classes IPC  ?

• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• B23K 1/00 - Brasage ou débrasage
• B23K 1/012 - Brasage par utilisation de gaz chaud
• B23K 3/04 - Appareils de chauffage
• B23K 3/08 - Dispositifs auxiliaires à cet effet

Abrégé

A memory circuit includes a memory array, and a peripheral circuit. The peripheral circuit includes an internal clock generating circuit, and a first access signal generating circuit. The internal clock generating circuit is configured to, in response to a control signal pulse, generate a series of internal clock pulses at an internal clock period corresponding to a pulse width of the control signal pulse. The first access signal generating circuit is configured to, in response to a first edge of the control signal pulse, generate a first access signal. The peripheral circuit is configured to control an access operation in the memory array, based on at least one internal clock pulse in the series of internal clock pulses, and the first access signal.

Classes IPC  ?

• G11C 8/18 - Circuits de synchronisation ou d'horlogeGénération ou gestion de signaux de commande d'adresse, p. ex. pour des signaux d'échantillonnage d'adresse de ligne [RAS] ou d'échantillonnage d'adresse de colonne [CAS]

Abrégé

A semiconductor device and method of manufacturing the same are provided. The semiconductor device includes a substrate and a capacitor structure. The capacitor structure is disposed on the substrate. The capacitor structure includes a first electrode and a plurality of second electrodes. At least one of the plurality of second electrodes is embedded within the first electrode.

Classes IPC  ?

• H01L 29/94 - Dispositifs à métal-isolant-semi-conducteur, p.ex. MOS
• H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

A semiconductor device structure, along with methods of forming such, are described. The semiconductor device structure includes a substrate, a source/drain feature disposed over the substrate, a gate spacer disposed over the source/drain feature, and a first isolation trench structure disposed over the substrate. The first isolation trench includes an upper portion adjacent to the gate spacer, a middle portion disposed below the upper portion and adjacent to a first side of the source/drain feature, and a lower portion disposed below the middle portion and extending into the substrate, wherein the lower portion has a bowing profile extending outwardly from one side of the first isolation trench structure.

Classes IPC  ?

• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique

Abrégé

A semiconductor device may be manufactured using a multiple-layer photoresist that is formed of one or more materials that reduce the likelihood and/or amount of residual material retained in the multiple-layer photoresist. A photoresist underlayer of the multiple-layer photoresist includes a polymer having a highly uniform distribution of polar group monomers. Additionally and/or alternatively, the photoresist underlayer includes a polymer that includes a main chain and a plurality of side chains coupled with the main chain. The side chains include an acid generator component. Since the acid generator component is coupled with the main chain of the polymer by the side chains as opposed to uncontrollably diffusing into the photoresist layer, the acid generated by the acid generator component upon exposure to radiation collects under the bottom of the photoresist layer in a uniform manner and enables the bottommost portions of the photoresist layer to be developed and removed.

Classes IPC  ?

• G03F 7/039 - Composés macromoléculaires photodégradables, p. ex. réserves positives sensibles aux électrons
• G03F 7/09 - Matériaux photosensibles caractérisés par des détails de structure, p. ex. supports, couches auxiliaires
• G03F 7/11 - Matériaux photosensibles caractérisés par des détails de structure, p. ex. supports, couches auxiliaires avec des couches de recouvrement ou des couches intermédiaires, p. ex. couches d'ancrage
• G03F 7/20 - ExpositionAppareillages à cet effet
• G03F 7/38 - Traitement avant le dépouillement selon l'image, p. ex. préchauffage
• H01L 21/027 - Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe ou

Abrégé

A semiconductor device and a method of manufacturing thereof are provided. The method comprises: forming a gate electrode over a substrate; forming source/drain regions beside the gate electrode; forming contact plugs on the source/drain regions; forming a dielectric layer over the contact plugs and the gate electrode; forming first openings and a second opening in the dielectric layer to expose portions of the contact plugs and a portion of the gate electrode respectively; performing a pre-clean process such as applying an ozone-containing source to the exposed portions of the contact plugs and the gate electrode; performing a surface treatment to the first and second openings to passivate sidewalls of the first and second openings; forming a conductive layer to fill the first openings and the second opening in a same deposition process by using a same metal precursor; and performing a planarization process.

Classes IPC  ?

• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter

Abrégé

A method includes forming first conductive elements on and extending through a first composite layer; forming a first polymer layer on the first composite layer; forming a first metallization pattern extending through the first polymer layer; forming a second polymer layer over the first polymer layer, wherein the second polymer layer is thinner than the first polymer layer; forming a second metallization pattern on and extending through the second polymer layer, wherein the second metallization pattern is thinner than the first metallization pattern; forming a second composite layer on the first composite layer; and forming second conductive elements extending through the second composite layer.

Classes IPC  ?

• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
• H01L 23/28 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H10B 80/00 - Ensembles de plusieurs dispositifs comprenant au moins un dispositif de mémoire couvert par la présente sous-classe

Abrégé

A memory device is disclosed. The memory device includes a plurality of memory cells, each of the memory cells including an access transistor and a resistor coupled to each other in series. The resistors of the memory cells are each formed as one of a plurality of interconnect structures disposed over a substrate. The access transistors of the memory cells are disposed opposite a first metallization layer containing the plurality of interconnect structures from the substrate.

Classes IPC  ?

• G11C 17/16 - Mémoires mortes programmables une seule foisMémoires semi-permanentes, p. ex. cartes d'information pouvant être replacées à la main dans lesquelles le contenu est déterminé en établissant, en rompant ou en modifiant sélectivement les liaisons de connexion par une modification définitive de l'état des éléments de couplage, p. ex. mémoires PROM utilisant des liaisons électriquement fusibles
• H10B 20/25 - Dispositifs ROM programmable une seule fois, p. ex. utilisant des jonctions électriquement fusibles

Abrégé

A metal fuse structure may be provided. The metal fuse structure may comprise a first fuse element and a second fuse element. The second fuse element may be adjacent to the first fuse element for a length L. The second fuse element may be spaced apart from first fuse element by a width W.

Classes IPC  ?

• H01L 23/525 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées avec des interconnexions modifiables
• H10B 20/25 - Dispositifs ROM programmable une seule fois, p. ex. utilisant des jonctions électriquement fusibles

Abrégé

A deposition system provides a feature that may reduce costs of the sputtering process by increasing a target change interval. The deposition system provides an array of magnet members which generate a magnetic field and redirect the magnetic field based on target thickness measurement data. To adjust or redirect the magnetic field, at least one of the magnet members in the array tilts to focus on an area of the target where more target material remains than other areas. As a result, more ion, e.g., argon ion bombardment occurs on the area, creating more uniform erosion on the target surface.

Classes IPC  ?

• H01L 21/66 - Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
• C23C 14/35 - Pulvérisation cathodique par application d'un champ magnétique, p. ex. pulvérisation au moyen d'un magnétron
• C23C 14/54 - Commande ou régulation du processus de revêtement
• H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
• H01J 37/34 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse fonctionnant par pulvérisation cathodique

Abrégé

A semiconductor device includes a substrate having a semiconductor fin. A gate structure is over the semiconductor fin, in which the gate structure has a tapered profile and comprises a gate dielectric. A work function metal layer is over the gate dielectric, and a filling metal is over the work function metal layer. A gate spacer is along a sidewall of the gate structure, in which the work function metal layer is in contact with the gate dielectric and a top portion of the gate spacer. An epitaxy structure is over the semiconductor fin.

Classes IPC  ?

• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 21/311 - Gravure des couches isolantes
• H01L 21/3213 - Gravure physique ou chimique des couches, p. ex. pour produire une couche avec une configuration donnée à partir d'une couche étendue déposée au préalable
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/49 - Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A method includes forming a protruding fin, and forming a first dielectric layer including a first dielectric layer and a second dielectric layer over the first dielectric layer. The first dielectric layer includes a first top portion on a top surface of the protruding fin, and a sidewall portion on a sidewall of the protruding fin. The second dielectric layer is over the first top portion and the top surface of the protruding fin, and is formed using an anisotropic deposition process. The method further includes forming a dummy gate electrode on the second dielectric layer, forming a gate spacer on a sidewall of the dummy gate electrode, removing the dummy gate electrode, and forming a replacement gate electrode in a space left by the dummy gate electrode.

Classes IPC  ?

• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 21/8234 - Technologie MIS
• H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

Systems, devices, and methods are provided for enabling turbo mode for static random access memory (SRAM) devices. A cell circuit is coupled between a bit line pair and configured to perform read or write operations of a memory device. A sense amplifier circuit is coupled between the bit line pair and configured to sense a voltage differential between the bit line pair. A tracking circuit includes a tracking bit line (DBL) and is configured to monitor operation of the cell circuit and send a sense amplifier enable signal to the sense amplifier at a predetermined frequency rate based on a voltage level of the DBL. A turbo circuit is coupled to a turbo signal and configured to modify the voltage of the tracking bit line enabling sending of the sense amplifier enable signal at a rate faster than the predetermined frequency rate.

Classes IPC  ?

• G11C 7/22 - Circuits de synchronisation ou d'horloge pour la lecture-écriture [R-W]Générateurs ou gestion de signaux de commande pour la lecture-écriture [R-W]
• G11C 5/14 - Dispositions pour l'alimentation
• G11C 7/08 - Leur commande
• G11C 7/12 - Circuits de commande de lignes de bits, p. ex. circuits d'attaque, de puissance, de tirage vers le haut, d'abaissement, circuits de précharge, circuits d'égalisation, pour lignes de bits
• G11C 8/08 - Circuits de commande de lignes de mots, p. ex. circuits d'attaque, de puissance, de tirage vers le haut, d'abaissement, circuits de précharge, pour lignes de mots
• G11C 11/419 - Circuits de lecture-écriture [R-W]
• H10B 10/00 - Mémoires statiques à accès aléatoire [SRAM]

Abrégé

A semiconductor device includes a transistor and a ferroelectric tunnel junction. The ferroelectric tunnel junction is connected to a drain contact of the transistor. The ferroelectric tunnel junction includes a first electrode, a second electrode, a crystalline oxide layer, and a ferroelectric layer. The second electrode is disposed over the first electrode. The crystalline oxide layer and the ferroelectric layer are disposed in direct contact with each other in between the first electrode and the second electrode. The crystalline oxide layer comprises a crystalline oxide material. The ferroelectric layer comprises a ferroelectric material.

Classes IPC  ?

• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

Embodiments of the present disclosure relates to method of forming trench and via features using dielectric and metal mask layers. Particularly, embodiments of present disclosure provide a hard mask stack including a first dielectric mask layer, and second dielectric mask layer and a metal mask layer, wherein the first dielectric mask layer and second dielectric mask layer have a high etch selectivity.

Classes IPC  ?

• H01L 21/311 - Gravure des couches isolantes
• H01L 21/033 - Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe ou comportant des couches inorganiques
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif

Abrégé

A package structure includes a first bonding film on a first package component and a first alignment mark in the first bonding film. The first alignment mark includes a plurality of first patterns spaced apart from each other. The package structure includes a second bonding film on a second package component and bonded to the first bonding film, and a second alignment mark in the second bonding film. The second alignment mark includes a plurality of second patterns spaced apart from each other, and the first patterns overlap the second patterns. In this case, an interference pattern can be formed by the optical signal passing through the varying spacing between the gratings of top wafer and bottom wafer due to pitch difference between first pitch and second pitch. By reading the optical signal, the resolution of overlay (misalignment) measurement is improved.

Classes IPC  ?

• H01L 23/544 - Marques appliquées sur le dispositif semi-conducteur, p. ex. marques de repérage, schémas de test
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe

Abrégé

A method of forming a three dimensional integrated circuit (3DIC) structure includes forming a first inter-layer via which connects at a location of a first device layer, wherein the first inter-layer via has a footprint that is at least one factor of ten smaller than a footprint of a first circuit region. The method further includes forming a first conductive segment in a second device layer, different from the first device layer, wherein the first conductive segment electrically connects to the first inter-layer via.

Classes IPC  ?

• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• G06F 30/392 - Conception de plans ou d’agencements, p. ex. partitionnement ou positionnement
• G06F 30/394 - Routage
• G06F 30/3947 - Routage global
• G06F 30/398 - Vérification ou optimisation de la conception, p. ex. par vérification des règles de conception [DRC], vérification de correspondance entre géométrie et schéma [LVS] ou par les méthodes à éléments finis [MEF]
• G06F 119/12 - Analyse temporelle ou optimisation temporelle
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

Abrégé

A method includes epitaxially growing a Ge1-xSnx channel layer over a substrate. The Ge1-xSnx channel layer is in a metastable state. A Ge1-ySny barrier layer is epitaxially grown over the Ge1-xSnx channel layer to form a two-dimensional hole gas in the Ge1-xSnx channel layer. The Ge1-xSnx channel layer and the Ge1-ySny barrier layer are etched to form a first opening and a second opening in the Ge1-xSnx channel layer and the Ge1-ySny barrier layer. A first source/drain electrode and a second source/drain electrode are deposited in the first opening and the second opening, respectively. A gate electrode is formed over the Ge1-ySny barrier layer.

Classes IPC  ?

• H10N 50/01 - Fabrication ou traitement
• H10N 50/20 - Dispositifs à courant commandé à polarisation de spin

Abrégé

Semiconductor structures and methods are provided. An exemplary method includes depositing forming a first metal-insulator-metal (MIM) capacitor over a substrate and forming a second MIM capacitor over the first MIM capacitor. The forming of the first MIM capacitor includes forming a first conductor plate over a substrate, the first conductor plate comprising a first metal element, conformally depositing a first dielectric layer on the first conductor plate, the first dielectric layer comprising the first metal element, forming a first high-K dielectric layer on the first dielectric layer, conformally depositing a second dielectric layer on the first high-K dielectric layer, the second dielectric layer comprising a second metal element, and forming a second conductor plate over the second dielectric layer, the second conductor plate comprises the second metal element.

Classes IPC  ?

• H01G 15/00 - Combinaisons structurelles de condensateurs ou d’autres dispositifs, couverts par au moins deux groupes principaux différents de la présente sous-classe, les uns avec les autres
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/285 - Dépôt de matériaux conducteurs ou isolants pour les électrodes à partir d'un gaz ou d'une vapeur, p. ex. condensation
• H01L 21/3213 - Gravure physique ou chimique des couches, p. ex. pour produire une couche avec une configuration donnée à partir d'une couche étendue déposée au préalable

Abrégé

A method includes forming a fin structure over a bottom dielectric isolator and a substrate. The fin structure includes a bottom channel layer, a sacrificial layer over the bottom channel layer, and a top channel layer over the sacrificial layer. A dummy gate is formed across the fin structure. Portions of the fin structure not covered by the gate structure are removed to expose a top surface of the bottom dielectric isolator. First source/drain epitaxial structures are epitaxially grown over the bottom dielectric isolator and are connected to the bottom channel layer. Second source/drain epitaxial structures are epitaxially grown over the first source/drain epitaxial structures and are connected to the top channel layer. The dummy gate and the sacrificial layer are replaced with a gate structure.

Classes IPC  ?

• H01L 27/12 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant autre qu'un corps semi-conducteur, p.ex. un corps isolant

Abrégé

The present disclosure provides a semiconductor device and a method of forming the same. A method according one embodiment of the present disclosure include forming an epitaxial stack of channel layers and sacrificial layers on a semiconductor substrate, patterning the epitaxial stack to form a first fin-shape structure in a first region and a second fin-shape structure in a second region, etching the first fin-shape structure to form a first source/drain recess, etching the second fin-shape structure to form a second source/drain recess, forming first inner spacers in the first region, forming second inner spacers in the second region, laterally recessing the second inner spacers, forming a first source/drain feature in the first source/drain recess, and forming a second source/drain feature in the second source/drain recess. After the laterally recessing of the second inner spacers, the second inner spacers have a thickness less than the first inner spacers.

Classes IPC  ?

• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

A method of forming a semiconductor device includes forming a semiconductor strip extending above a semiconductor substrate, forming shallow trench isolation (STI) regions on opposite sides of the semiconductor strip, recessing a portion of the semiconductor strip, etching the STI regions to form a recess in the STI regions, forming a first thermal conductive layer in the recess, forming a source/drain epitaxy structure on the first thermal conductive layer, and forming a gate stack across the semiconductor strip and extending over the STI regions.

Classes IPC  ?

• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/47 - Couches organiques, p. ex. couche photosensible

Abrégé

A magnetic tunnel junction (MTJ) structure and a memory cell are provided. The MTJ includes a barrier layer, a free layer and a metal oxide cap layer. The free layer is disposed on the barrier layer. The metal oxide cap layer is disposed on the free layer. The metal oxide cap layer has a first surface and a second surface opposite to the first surface. The first surface of the metal oxide cap layer is in contact with the free layer. In a direction of a thickness of the metal oxide cap layer, both of an oxygen concentration at the first surface of the metal oxide cap layer and an oxygen concentration at the second surface of the metal oxide cap layer are higher than an oxygen concentration in a middle portion of the metal oxide cap layer.

Classes IPC  ?

• H10N 50/85 - Matériaux de la région active
• G11C 11/16 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliersÉléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments magnétiques utilisant des éléments dans lesquels l'effet d'emmagasinage est basé sur l'effet de spin
• H10B 61/00 - Dispositifs de mémoire magnétique, p. ex. dispositifs RAM magnéto-résistifs [MRAM]
• H10N 50/10 - Dispositifs magnéto-résistifs

Abrégé

An electrostatic discharge (ESD) protection apparatus and method for fabricating the same are disclosed herein. In some embodiments, the ESD protection apparatus, comprises: an internal circuit patterned in a device wafer and electrically coupled between a first node and a second node, an array of electrostatic discharge (ESD) circuits patterned in a carrier wafer, where the ESD circuits are electrically coupled between a first node and a second node and configured to protect the internal circuit from transient ESD events, and where the device wafer is bonded to the carrier wafer.

Classes IPC  ?

• H01L 27/02 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface
• H02H 9/04 - Circuits de protection de sécurité pour limiter l'excès de courant ou de tension sans déconnexion sensibles à un excès de tension

Abrégé

A photodetector may include an absorption region that is formed to have an increasing depth (or thickness) in a direction that is approximately parallel to the direction of incident light that is to be projected onto the absorption region. The increasing depth of the absorption region in the direction that is approximately parallel with the direction of incident light enables the incident light to be more uniformly distributed along the length of the absorption region in the direction that is approximately parallel with the direction of incident light. This reduces the likelihood that a particular area of the absorption region reaches optical saturation, which may enable the photodetector to operate a sustained high photodetector sensitivity and/or a sustained high light detection performance, among other examples.

Classes IPC  ?

• H01L 31/0352 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails caractérisés par leurs corps semi-conducteurs caractérisés par leur forme ou par les formes, les dimensions relatives ou la disposition des régions semi-conductrices
• H01L 31/0232 - Dispositifs à semi-conducteurs sensibles aux rayons infrarouges, à la lumière, au rayonnement électromagnétique d'ondes plus courtes, ou au rayonnement corpusculaire, et spécialement adaptés, soit comme convertisseurs de l'énergie dudit rayonnement e; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Leurs détails - Détails Éléments ou dispositions optiques associés au dispositif

Abrégé

A memory cell includes a memory circuit and a computing-in memory (CIM) circuit. The memory cell is configured to store a first value of a first signal of a first storage node. The CIM circuit is coupled to the memory cell, and configured to generate an output signal in response to the first signal and a second signal. The output signal corresponding to a CIM product operation of the first signal and the second signal. The CIM circuit includes an output node configured to output the output signal, a first transistor coupled to the output node and the memory cell, and being configured to receive at least the second signal, and an initialization circuit coupled to the first transistor by the output node, and being configured to initialize the CIM circuit in response to a third signal.

Classes IPC  ?

• G11C 11/4099 - Traitement de cellules facticesGénérateurs de tension de référence
• G11C 11/4072 - Circuits pour l'initialisation, pour la mise sous ou hors tension, pour l'effacement de la mémoire ou pour le préréglage
• G11C 11/4074 - Circuits d'alimentation ou de génération de tension, p. ex. générateurs de tension de polarisation, générateurs de tension de substrat, alimentation de secours, circuits de commande d'alimentation
• G11C 11/408 - Circuits d'adressage
• G11C 11/4094 - Circuits de commande ou de gestion de lignes de bits

Abrégé

A method for manufacturing a semiconductor structure is provided. The method includes the operations as follows. A first opening is formed at a surface of a semiconductor substrate to expose a portion of an isolation region embedded in the semiconductor substrate. A buffer layer is formed over the surface of the semiconductor substrate and lining the first opening. A second opening is formed at a bottom of the first opening. A barrier layer is formed over the surface of the semiconductor substrate. A conductive pad is formed in the first and the second openings. The barrier layer includes an upper portion in contact with the buffer layer in the first opening and a lower portion lining the second opening. The lower portion of the barrier layer is free from surrounded by the buffer layer. A method for manufacturing a BSI image sensor is also provided.

Classes IPC  ?

• H01L 27/146 - Structures de capteurs d'images

Abrégé

An IC structure includes a plurality of first channel regions and a plurality of second channel regions over a substrate, a plurality of first gate structures traversing the plurality of first channel regions, and a plurality of second gate structures traversing the plurality of second channel regions. The first gate structures have a first gate pitch. The second gate structures have a second gate pitch different than the first gate pitch. The IC structure further includes first gate contact over a first one of the second gate structures. The first gate contact overlaps a location where the first one of the second gate structures traverses across a first one of the second channel regions. The first gate contact further overlaps a location where the first one of the second gate structures traverses across a second one of the second channel regions.

Classes IPC  ?

• H01L 23/367 - Refroidissement facilité par la forme du dispositif
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 27/12 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant autre qu'un corps semi-conducteur, p.ex. un corps isolant
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

Various embodiments of the present application are directed to a narrow band filter with high transmission and an image sensor comprising the narrow band filter. In some embodiments, the filter comprises a first distributed Bragg reflector (DBR), a second DBR, a defect layer between the first and second DBRs, and a plurality of columnar structures. The columnar structures extend through the defect layer and have a refractive index different than a refractive index of the defect layer. The first and second DBRs define a low transmission band, and the defect layer defines a high transmission band dividing the low transmission band. The columnar structures shift the high transmission band towards lower or higher wavelengths depending upon a refractive index of the columnar structures and a fill factor of the columnar structures.

Classes IPC  ?

• H01L 27/146 - Structures de capteurs d'images
• H01L 31/0216 - Revêtements

Abrégé

A integrated circuit includes a first, a second, a third, and a fourth gate, a first input pin and a first conductor. The first and third gate are on a first level. The second and fourth gate are on a second level. The second gate is coupled to the first gate. The fourth gate is coupled to the third gate. The first input pin extends in a second direction, is on a first metal layer above a front-side of a substrate, is coupled to the first gate, and configured to receive a first input signal. The first input pin is electrically coupled to the third gate by the first, second or fourth gate. The first conductor extends in the first direction, is on a second metal layer below a back-side of the substrate, and is coupled to the second and fourth gate.

Classes IPC  ?

• H01L 27/12 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant autre qu'un corps semi-conducteur, p.ex. un corps isolant
• H03K 17/687 - Commutation ou ouverture de porte électronique, c.-à-d. par d'autres moyens que la fermeture et l'ouverture de contacts caractérisée par l'utilisation de composants spécifiés par l'utilisation, comme éléments actifs, de dispositifs à semi-conducteurs les dispositifs étant des transistors à effet de champ

Abrégé

Semiconductor devices and methods for forming the semiconductor devices using a cap layer are provided. The semiconductor devices include a plurality of semiconductor layers vertically separated from one another, a gate structure that comprises a lower portion and an upper portion, wherein the lower portion wraps around each of the plurality of semiconductor layers, and a gate spacer that extends along a sidewall of the upper portion of the gate structure. In some examples, a gap dimension measured between the gate spacer and an adjacent one of the plurality of semiconductor layers is sufficiently small such that the gate structure does not contact the source/drain structures. In some examples, the gate spacer and an adjacent one of the one or more semiconductor layers of the fin structure are separated by a cap layer.

Classes IPC  ?

• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

A device includes a package component including an interconnect structure on a first side of a substrate; metal pads on the interconnect structure; a semiconductor die connected to a second side of the substrate; a dielectric material surrounding the package component; a passivation layer extending over the package component and over the dielectric material; a first buffer layer over the passivation layer, wherein the first buffer layer extends over the package component and over the dielectric material, wherein a width of the first buffer layer is greater than a width of the package component and is less than a width of the passivation layer; and conductive connectors penetrating the passivation layer and the first buffer layer to physically contact the metal pads.

Classes IPC  ?

• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide

Abrégé

A photonic device includes a silicon layer, wherein the silicon layer includes a waveguide portion. The photonic device further includes a cladding layer over the waveguide portion, wherein the cladding layer partially exposes a surface of the waveguide portion. The photonic device further includes a low refractive index layer in direct contact with the cladding layer, wherein the low refractive index layer comprises silicon oxide, silicon carbide, silicon oxynitride, silicon carbon oxynitride, aluminum oxide or hafnium oxide. The photonic device further includes an interconnect structure over the low refractive index layer.

Classes IPC  ?

• G02B 6/13 - Circuits optiques intégrés caractérisés par le procédé de fabrication
• G02B 6/12 - Guides de lumièreDétails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p. ex. des moyens de couplage du type guide d'ondes optiques du genre à circuit intégré
• G02B 6/136 - Circuits optiques intégrés caractérisés par le procédé de fabrication par gravure
• G02B 6/30 - Moyens de couplage optique pour usage entre fibre et dispositif à couche mince
• G02B 6/34 - Moyens de couplage optique utilisant des prismes ou des réseaux

Abrégé

Various embodiments of the present disclosure are directed towards an integrated chip having an interconnect structure overlying a substrate. The interconnect structure includes a conductive wire disposed in a dielectric structure. The conductive wire comprises a body structure. A passivation structure overlies the interconnect structure. A bond pad overlies the passivation structure. The bond pad comprises an upper pad structure on the passivation structure and a plurality of lower bond structures extending through the passivation structure to the conductive wire. The lower bond structures respectively comprise a vertical bond structure and a diffusion barrier layer disposed along a lower surface and opposing sidewalls of the vertical bond structure. The upper pad structure comprises a first conductive layer vertically stacked with a second conductive layer

Classes IPC  ?

• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe

Abrégé

A method for filling a gap includes: filling a dielectric layer in the gap so that a seam is formed in the dielectric layer, the dielectric layer including two surface portions at two opposite sides of the seam, respectively; introducing a surface modification agent into the seam such that each of the two surface portions has first functional groups and second functional groups; forming a stress layer on the dielectric layer to cover the seam, the stress layer including a material different from that of the dielectric layer; and applying an energy field to permit the two surface portions to bond with each other through reaction between the first functional groups and the second functional groups.

Classes IPC  ?

• H01L 21/762 - Régions diélectriques
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives

Abrégé

Provided are an integrated circuit (IC) and a method of forming the same. The IC includes a substrate; a conductive layer, disposed on the substrate; a barrier layer, disposed on the conductive layer; an etching stop layer, covering a sidewall of the barrier layer and extending on a first portion of a top surface of the barrier layer; and at least one capacitor structure, disposed on a second portion of the top surface of the barrier layer.

Classes IPC  ?

• H01G 4/30 - Condensateurs à empilement
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées

Abrégé

A method includes forming a solder layer on a surface of one or more chips. A lid is positioned over the solder layer on each of the one or more chips. Heat and pressure are applied to melt the solder layer and attach each lid to a corresponding solder layer. The solder layer has a thermal conductivity of ≥50 W/mK.

Classes IPC  ?

• H01L 23/373 - Refroidissement facilité par l'emploi de matériaux particuliers pour le dispositif
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/367 - Refroidissement facilité par la forme du dispositif

Abrégé

A semiconductor device includes a bipolar junction transistor (BJT) structure including emitters in a first well having a first conductive type, collectors in respective second wells, the second wells having a second conductive type different from the first conductive type and being spaced apart from each other with the first well therebetween, and bases in the first well and between the emitters and the collectors. The BJT structure includes active regions having different widths that form the emitters, the collectors, and the bases.

Classes IPC  ?

• H01L 27/082 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants bipolaires
• G01K 7/01 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments semi-conducteurs à jonctions PN
• H01L 21/8228 - Dispositifs complémentaires, p.ex. transistors complémentaires
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/735 - Transistors latéraux

Abrégé

Systems and methods for context aware circuit design are described herein. A method includes: identifying at least one cell to be designed into a circuit; identifying at least one context parameter having an impact to layout dependent effect of the circuit; generating, for each cell and for each context parameter, a plurality of abutment environments associated with the cell; estimating, for each cell and each context parameter, a sensitivity of at least one electrical property of the cell to the context parameter by generating a plurality of electrical property values of the cell under the plurality of abutment environments; and determining whether each context parameter is a key context parameter for a static analysis of the circuit, based on the sensitivity of the at least one electrical property of each cell and based on at least one predetermined threshold.

Classes IPC  ?

• G06F 30/392 - Conception de plans ou d’agencements, p. ex. partitionnement ou positionnement
• G06F 30/367 - Vérification de la conception, p. ex. par simulation, programme de simulation avec emphase de circuit intégré [SPICE], méthodes directes ou de relaxation
• G06F 113/18 - Positionnement de puces
• G06F 119/06 - Analyse de puissance ou optimisation de puissance

Abrégé

A method of forming a semiconductor device includes: forming a via in a first dielectric layer disposed over a substrate; forming a second dielectric layer over the first dielectric layer; forming an opening in the second dielectric layer, where the opening exposes an upper surface of the via; selectively forming a capping layer over the upper surface of the via, where the capping layer has a curved upper surface that extends above a first upper surface of the first dielectric layer distal from the substrate; after forming the capping layer, forming a barrier layer in the opening over the capping layer and along sidewalls of the second dielectric layer exposed by the opening; and filling the opening by forming an electrically conductive material over the barrier layer.

Classes IPC  ?

• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 21/8234 - Technologie MIS
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A method includes: epitaxially growing a first multi-layer stack over a first substrate; epitaxially growing a second multi-layer stack over a second substrate; and bonding the first multi-layer stack to the second multi-layer stack. The first substrate and the second substrate have different crystalline orientations. The method further includes patterning the first multi-layer stack and the second multi-layer stack to form a fin, the fin comprising a plurality of lower nanostructures alternatingly stacked with first dummy nanostructures and a plurality of upper nanostructures alternatingly stacked with second dummy nanostructure; replacing the first dummy nanostructures with a first gate stack, the first gate stack surrounding each of the plurality of lower nanostructures; and replacing the second dummy nanostructures with a second gate stack, the second gate stack surrounding each of the plurality of upper nanostructures.

Classes IPC  ?

• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 29/04 - Corps semi-conducteurs caractérisés par leur structure cristalline, p.ex. polycristalline, cubique ou à orientation particulière des plans cristallins
• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

A semiconductor device includes a substrate. Semiconductor channel layers are over the substrate. A gate structure wraps around each of the semiconductor channel layers. Source/drain epitaxial structures are on opposite sides of the gate structure. An inner spacer is vertically between adjacent two of the semiconductor channel layers. A dielectric protective layer is on a sidewall of the inner spacer.

Classes IPC  ?

• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

Embodiments of the present disclosure provide methods for forming merged source/drain features from two or more fin structures. The merged source/drain features according to the present disclosure have a merged portion with an increased height percentage over the overall height of the source/drain feature. The increase height percentage provides an increased landing range for source/drain contact features, therefore, reducing the connection resistance between the source/drain feature and the source/drain contact features. In some embodiments, the emerged source/drain features include one or more voids formed within the merged portion.

Classes IPC  ?

• H01L 21/8234 - Technologie MIS
• H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée

Abrégé

Semiconductor packages and methods of fabricating semiconductor packages include an interposer, at least one semiconductor integrated circuit (IC) die mounted on a first surface of the interposer, a package substrate bonded to a second surface of the interposer, and a molding portion contacting the second surface of the interposer and laterally surrounding the package substrate. The package substrate may be laterally-confined with respect to the interposer such that at least one horizontal dimension of the package substrate may be less than the corresponding horizontal dimension of the interposer. In various embodiments, reliability of the bonding connections between the interposer and the package substrate may be improved thereby providing increased yields and improved package performance.

Classes IPC  ?

• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 25/10 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs ayant des conteneurs séparés

Abrégé

A method of forming a semiconductor structure includes: forming an interconnect structure over a substrate; forming a pad over the interconnect structure, wherein the pad is electrically connected to the interconnect structure; forming a bonding dielectric layer over the interconnect structure; and forming a bonding metal layer in the bonding dielectric layer to electrically connect to the interconnect structure, wherein the bonding metal layer includes a via plug and a metal feature formed over the via plug, a height of the metal feature is greater than or equal to a height of the via plug.

Classes IPC  ?

• H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées

Abrégé

Optical devices are presented herein. In an embodiment, the optical devices comprise a first active layer of first optical components, a first metallization layer over the first active layer, a first capacitor located within the first metallization layer, a first bond layer over the first metallization layer, and a first semiconductor device bonded to the first bond layer.

Classes IPC  ?

• G02B 6/12 - Guides de lumièreDétails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p. ex. des moyens de couplage du type guide d'ondes optiques du genre à circuit intégré
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
• H01L 25/16 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant de types couverts par plusieurs des sous-classes , , , , ou , p. ex. circuit hybrides

Abrégé

A method for forming a semiconductor structure includes following operations. A first metallization feature is formed, and a first cap layer is formed over the first metallization feature. A first insulating layer is formed over the first cap layer and the first metallization feature. A first dielectric structure is formed over the first insulating layer. A portion of the first dielectric structure and a portion of the first insulating layer are removed to expose the first cap layer. A second cap layer is formed over the first cap layer and the first metallization feature. A second insulating layer and a patterned second dielectric structure are formed over the substrate. The patterned second dielectric structure includes a trench and a via opening coupled to a bottom of the trench. A second metallization feature is formed in the trench, and a via structure is formed in the via opening.

Classes IPC  ?

• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées

Abrégé

A method includes positioning a substrate in an optical path of a multiwavelength light source; generating a first detection result by exposing a first region of the substrate to a first light having a first wavelength band selected by the light source; and generating a second detection result by exposing a second region of the substrate to a second light having a second wavelength band selected by the multiwavelength light source. A system includes a multiwavelength light source including a light source and a wavelength selector in an optical path of light generated by the light source. The system further includes a spectrometer operable to measure a spectrum of a first light selected by the wavelength selector; a mask stage operable to position a mask in the optical path; and a controller operable to adjust a parameter of the multiwavelength light source responsive to the spectrum of the first light.

Classes IPC  ?

• G01N 21/31 - CouleurPropriétés spectrales, c.-à-d. comparaison de l'effet du matériau sur la lumière pour plusieurs longueurs d'ondes ou plusieurs bandes de longueurs d'ondes différentes en recherchant l'effet relatif du matériau pour les longueurs d'ondes caractéristiques d'éléments ou de molécules spécifiques, p. ex. spectrométrie d'absorption atomique
• G01N 21/95 - Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser

Abrégé

A structure includes core substrates attached to a first side of a redistribution structure, wherein the redistribution structure includes first conductive features and first dielectric layers, wherein each core substrate includes conductive pillars, wherein the conductive pillars of the core substrates physically and electrically contact first conductive features; an encapsulant extending over the first side of the redistribution structure, wherein the encapsulant extends along sidewalls of each core substrate; and an integrated device package connected to a second side of the redistribution structure.

Classes IPC  ?

• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants

Abrégé

A 3D memory array has data storage structures provided at least in part by one or more vertical films that do not extend between vertically adjacent memory cells. The 3D memory array includes conductive strips and dielectric strips, alternately stacked over a substrate. The conductive strips may be laterally indented from the dielectric strips to form recesses. A data storage film may be disposed within these recesses. Any portion of the data storage film deposited outside the recesses may have been effectively removed, whereby the data storage film is essentially discontinuous from tier to tier within the 3D memory array. The data storage film within each tier may have upper and lower boundaries that are the same as those of a corresponding conductive strip. The data storage film may also be made discontinuous between horizontally adjacent memory cells.

Classes IPC  ?

• H10B 51/20 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
• H10B 51/10 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la configuration vue du dessus
• H10B 51/30 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la région noyau de mémoire

Abrégé

A method for forming a semiconductor device structure is provided. The method includes forming a stack structure over a substrate, and the stack structure includes a plurality of first semiconductor layers and a plurality of second semiconductor layers alternately stacked. The method includes forming a dummy gate electrode over the first semiconductor layers and the second semiconductor layers, and forming a gate spacer layer adjacent to the dummy gate electrode. The method includes removing the second semiconductor layers to form a recess between two adjacent first semiconductor layers, and forming a dummy dielectric layer in the recess after the dummy gate electrode is formed. The dummy dielectric layer is between two adjacent first semiconductor layers. The method includes replacing the dummy gate electrode and the dummy dielectric layer with a gate structure.

Classes IPC  ?

• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 21/8234 - Technologie MIS
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A nano-FET and a method of forming is provided. In some embodiments, a nano-FET includes an epitaxial source/drain region contacting ends of a first nanostructure and a second nanostructure. The epitaxial source/drain region may include a first semiconductor material layer of a first semiconductor material, such that the first semiconductor material layer includes a first segment contacting the first nanostructure and a second segment contacting the second nanostructure, wherein the first segment is separated from the second segment. A second semiconductor material layer is formed over the first segment and the second segment. The second semiconductor material layer may include a second semiconductor material having a higher concentration of dopants of a first conductivity type than the first semiconductor material layer. The second semiconductor material layer may have a lower concentration percentage of silicon than the first semiconductor material layer.

Classes IPC  ?

• H01L 29/786 - Transistors à couche mince
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

An input/output circuit comprises a bypass circuit, a first latch, a second latch, a first transistor, and a second transistor. The bypass circuit is configured to directly receive a data signal and indirectly receive a write enable signal. The first latch is coupled between a first data line and a second data line. The second latch is operatively coupled to the first latch and configured to generate a data output signal based on a voltage level presented on the second data line. The first transistor is coupled to the first latch and gated by a sense enable signal. The second transistor is coupled to the first latch and gated by a clock signal. The first transistor and the second transistor are alternately activated in each of a plurality of operation modes of the input/output circuit.

Classes IPC  ?

• G11C 29/46 - Logique de déclenchement de test
• G11C 29/12 - Dispositions intégrées pour les tests, p. ex. auto-test intégré [BIST]
• G11C 29/54 - Dispositions pour concevoir les circuits de test, p. ex. outils de conception pour le test [DFT]

Abrégé

A method includes forming a gate stack, growing a source/drain region on a side of the gate stack through epitaxy, depositing a contact etch stop layer (CESL) over the source/drain region, depositing an inter-layer dielectric over the CESL, etching the inter-layer dielectric and the CESL to form a contact opening, and etching the source/drain region so that the contact opening extends into the source/drain region. The method further includes depositing a metal layer extending into the contact opening. Horizontal portions, vertical portions, and corner portions of the metal layer have a substantially uniform thickness. An annealing process is performed to react the metal layer with the source/drain region to form a source/drain silicide region. The contact opening is filled to form a source/drain contact plug.

Classes IPC  ?

• H01L 21/285 - Dépôt de matériaux conducteurs ou isolants pour les électrodes à partir d'un gaz ou d'une vapeur, p. ex. condensation
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/3065 - Gravure par plasmaGravure au moyen d'ions réactifs
• H01L 21/311 - Gravure des couches isolantes
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 21/8234 - Technologie MIS
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/45 - Electrodes à contact ohmique
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

The present disclosure provides a receiver circuit, which includes: a first comparator circuit, a second comparator circuit, and an inverter circuit. The inverter circuit has a first input terminal and a second input terminal. A first output terminal of the first comparator circuit is electrically connected to the first input terminal of the inverter circuit, and a second output terminal of the second comparator circuit is electrically connected to the second input terminal of the inverter circuit.

Classes IPC  ?

• H04L 25/02 - Systèmes à bande de base Détails
• H03K 5/134 - Dispositions ayant une sortie unique et transformant les signaux d'entrée en impulsions délivrées à des intervalles de temps désirés utilisant une chaîne de dispositifs actifs de retard avec des transistors à effet de champ
• H03K 5/24 - Circuits présentant plusieurs entrées et une sortie pour comparer des impulsions ou des trains d'impulsions entre eux en ce qui concerne certaines caractéristiques du signal d'entrée, p. ex. la pente, l'intégrale la caractéristique étant l'amplitude

Abrégé

An optical beam splitter includes a multi-stage nested network of waveguide bifurcation branches, which includes: first-stage waveguide bifurcation branches each including a pair of first-stage waveguide segments, and second-stage waveguide bifurcation branches each including a pair of second-stage waveguide segments. Each pair of first-stage waveguide segments includes a first common end and a pair of first split ends and a pair of first interconnection portions. Each first common end points toward a first widthwise direction. Each pair of second-stage waveguide segments includes a second common end and a pair of second split ends and a pair of second interconnection portions. Each second common end and each second split end of the optical beam splitter point toward a second widthwise direction which is an opposite direction of the first widthwise direction.

Classes IPC  ?

• G02B 6/125 - Courbures, branchements ou intersections
• G02B 6/13 - Circuits optiques intégrés caractérisés par le procédé de fabrication

Abrégé

A pellicle comprising a pellicle membrane with improved stability to hydrogen plasma is provided. The pellicle membrane includes a network of a plurality of carbon nanotubes. At least one carbon nanotube of the plurality of carbon nanotubes is surrounded by a multilayer protective coating that includes a stress control layer and a hydrogen permeation barrier layer over the stress control layer. The stress control layer and the hydrogen permeation barrier layer independently include an Me-containing nitride or an Me-containing oxynitride with Me selected from the group consisting of Si, Ti, Y, Hf, Zr, Zn, Mo, Cr and combinations thereof. The Me-containing nitride or the Me-containing oxynitride in the stress control layer has a first Me concentration, and the Me-containing nitride or the Me-containing oxynitride in the hydrogen permeation barrier layer has a second Me concentration less than the first Me concentration.

Classes IPC  ?

• G03F 1/62 - Pellicules, p. ex. assemblage de pellicules ayant une membrane sur un cadre de supportLeur préparation
• H01L 21/027 - Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe ou

Abrégé

A method includes forming a gate stack, and etching the gate stack to form a trench penetrating through the gate stack. A dielectric isolation region underlying the gate stack is exposed to the trench, and a first portion and a second portion of the gate stack are separated by the trench. The method includes performing a first deposition process to form a first dielectric layer extending into the trench and lining sidewalls of the first portion and the second portion of the gate stack, and performing a second deposition process to form a second dielectric layer on the first dielectric layer. The second dielectric layer fills the trench. The first dielectric layer has a first dielectric constant, and the second dielectric layer has a second dielectric constant greater than the first dielectric constant.

Classes IPC  ?

• H01L 21/762 - Régions diélectriques
• H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

An integrated circuit includes a first fin, a second fin, and a hybrid fin located between the first fin and the second fin. The hybrid fin is shaped to include a base and a horn extending from the base on a side proximal to the second fin. An n-type epitaxial structure is supported by the first fin, and a p-type epitaxial structure is supported by the second fin. A gap fill or etch stop material is located between the hybrid fin and the second fin of the p-type epitaxial structure. The structure creates additional space to increase the size of the n-type epitaxial structure, improving device performance, and also reduces or eliminates leakage paths that can occur when the location of a metal contact is undesirably shifted.

Classes IPC  ?

• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 21/8234 - Technologie MIS
• H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A semiconductor device structure and methods of forming the same are described. The structure includes a first gate structure disposed over a substrate in an active device region, an insulating material disposed over the substrate in a passive device region, a resistor structure disposed over the insulating material in the passive device region, a first conductive contact electrically connected to the resistor structure, a second conductive contact disposed over the resistor structure, and a dielectric layer in contact with the second conductive contact and the resistor structure.

Classes IPC  ?

• H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A method includes forming a multi-layer stack over a semiconductor substrate, the multi-layer stack comprising a plurality of sacrificial layers that alternate with a plurality of channel layers, forming a dummy gate stack over a top surface and sidewalls of the multi-layer stack, forming first spacers on sidewalls of the dummy gate stack, growing an epitaxial source/drain region that extends through the plurality of sacrificial layers and the plurality of channel layers, forming a metal-semiconductor alloy region on first portions of the epitaxial source/drain region, forming a coating layer on the metal-semiconductor alloy region, wherein during the forming of the metal-semiconductor alloy region and the coating layer, a residual layer is formed on sidewalls of the first spacers, and performing a wet clean process to selectively etch the residual layer from the sidewalls of the first spacers.

Classes IPC  ?

• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/45 - Electrodes à contact ohmique

Abrégé

A package structure includes a first semiconductor package and a second semiconductor package over the first semiconductor package. The first semiconductor package includes a dielectric structure, a semiconductor device on the dielectric structure, under bump metallization (UBM) structures in the dielectric structure. The USB structures each include a first region and a second region surrounded by the first region. The first region has more metal layers than the second region. The bumps are respectively on the second regions of the UBM structures.

Classes IPC  ?

• H01L 25/11 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs ayant des conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans la sous-classe
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 21/66 - Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
• H01L 23/427 - Refroidissement par changement d'état, p. ex. caloducs
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 25/10 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs ayant des conteneurs séparés

Abrégé

A package structure is provided. The package structure includes a first package component mounted on a substrate, a lid structure disposed on the substrate and around the first package component, and a thermal interface material vertically sandwiched between the plurality of integrated circuit dies of the first package component and the lid structure. The first package component includes a plurality of integrated circuit dies and an underfill formed between the integrated circuit dies. The lid structure covers the integrated circuit dies and exposes the underfill. A first portion and a second portion of the thermal interface material are laterally separated from each other, and a space between the first portion and the second portion is exposed from the lid structure.

Classes IPC  ?

• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide

Abrégé

A package structure includes a carrier substrate and a die. The carrier substrate includes through carrier vias (TCV). The die is disposed over the carrier substrate. The die includes a semiconductor substrate and conductive posts disposed over the semiconductor substrate. The semiconductor substrate is located between the conductive posts and the carrier substrate.

Classes IPC  ?

• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
• H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition

Abrégé

An integrated circuit (IC) structure includes first and second semiconductor channel patterns extending over a substrate. From a plan view, the second semiconductor channel pattern has a longitudinal axis aligned with a longitudinal axis of the first semiconductor channel pattern, the first semiconductor channel pattern has a first longitudinal side and a second longitudinal side separated from the first longitudinal side by a first distance, and the second channel pattern has a third longitudinal side and a fourth longitudinal side separated from the third longitudinal side by a second distance less than the first distance.

Classes IPC  ?

• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 21/8234 - Technologie MIS
• H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H10B 10/00 - Mémoires statiques à accès aléatoire [SRAM]

Abrégé

A thin film transistor includes an insulating matrix layer including an opening therein, a hydrogen-blocking dielectric barrier layer continuously extending over a bottom surface and sidewalls of the opening and over a top surface of the insulating matrix layer, a gate electrode located within the opening, a stack of a gate dielectric and a semiconducting metal oxide plate overlying the gate electrode and horizontally-extending portions of the hydrogen-blocking dielectric barrier layer that overlie the insulating matrix layer, and a source electrode and a drain electrode contacting a respective portion of a top surface of the semiconducting metal oxide plate.

Classes IPC  ?

• H01L 29/786 - Transistors à couche mince
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

A method includes forming a metal layer over a dielectric layer; forming hard masks over the metal layer; etching the metal layer using the hard masks as etch mask to form metal features; selectively forming dielectric liners on opposite sidewalls of each of the metal features, while leaving surfaces of the hard masks and the dielectric layer exposed by the dielectric liners; and forming an inter-metal dielectric layer laterally surrounding the metal features.

Classes IPC  ?

• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

Abrégé

A package structure includes at least one semiconductor die, a plurality of hollow cylinders, an insulating encapsulant, a redistribution layer and through holes. The plurality of hollow cylinders is surrounding the at least one semiconductor die. The insulating encapsulant has a top surface and a bottom surface opposite to the top surface, wherein the insulating encapsulant encapsulates the at least one semiconductor die and the plurality of hollow cylinders. The redistribution layer is disposed on the top surface of the insulant encapsulant and over the at least one semiconductor die. The through holes are penetrating through the plurality of hollow cylinders.

Classes IPC  ?

• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
• H01L 23/40 - Supports ou moyens de fixation pour les dispositifs de refroidissement ou de chauffage amovibles
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants

Abrégé

A fin field effect transistor device structure includes a fin structure formed over a substrate. The structure also includes a liner layer and an isolation structure surrounding the fin structure. The structure also includes a gate dielectric layer formed over the fin structure and the isolation structure. The structure also includes a gate structure formed over the gate dielectric layer. The structure also includes source/drain epitaxial structures formed on opposite sides of the gate structure. The fin structure includes a protruding portion laterally extending over the liner layer.

Classes IPC  ?

• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

In an embodiment, a method includes forming a device layer over a first substrate; forming a first interconnect structure over a front-side of the device layer; attaching a second substrate to the first interconnect structure; forming a second interconnect structure over a back-side of the device layer, the second interconnect structure comprising back-side memory elements, wherein the back-side memory elements and a first plurality of active devices of the device layer provide a first memory array; and forming conductive connectors over the second interconnect structure.

Classes IPC  ?

• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/532 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées caractérisées par les matériaux

Abrégé

EUV masks and methods of fabrication thereof are described herein. An exemplary method includes receiving an EUV mask having a multilayer structure, a capping layer disposed over the multilayer structure, a patterned absorber layer disposed over the capping layer, and a patterned hard mask disposed over the patterned absorber layer. The method further includes removing the patterned hard mask by performing a first etching process to partially remove the patterned hard mask and performing a second etching process to remove a remainder of the patterned hard mask. The first etching process uses a first etchant, and the second etching process uses a second etchant. The second etchant is different than the first etchant. In some embodiments, the first etchant is a halogen-based plasma (e.g., a Cl2 plasma), and the second etchant is a halogen-and-oxygen-based plasma (e.g., a Cl2+O2 plasma).

Classes IPC  ?

• G03F 1/24 - Masques en réflexionLeur préparation

Abrégé

A memory circuit may comprise a memory array comprising a plurality of memory cells, an input/output (I/O) circuit, and a power management circuit. The I/O circuit can be operatively coupled to the memory array and configured to read or write each of the memory cells. The power management circuit can be operatively coupled to the memory array and the I/O circuit. The power management circuit can be configured to provide a first gate control signal and a second gate control signal based on a received first supply voltage and a received second supply voltage. The first supply voltage can be substantially higher than two times the second supply voltage.

Classes IPC  ?

• G11C 17/18 - Circuits auxiliaires, p. ex. pour l'écriture dans la mémoire
• G11C 11/4074 - Circuits d'alimentation ou de génération de tension, p. ex. générateurs de tension de polarisation, générateurs de tension de substrat, alimentation de secours, circuits de commande d'alimentation
• G11C 11/408 - Circuits d'adressage
• G11C 11/4094 - Circuits de commande ou de gestion de lignes de bits
• G11C 17/16 - Mémoires mortes programmables une seule foisMémoires semi-permanentes, p. ex. cartes d'information pouvant être replacées à la main dans lesquelles le contenu est déterminé en établissant, en rompant ou en modifiant sélectivement les liaisons de connexion par une modification définitive de l'état des éléments de couplage, p. ex. mémoires PROM utilisant des liaisons électriquement fusibles

Abrégé

A method of forming a semiconductor package includes the following operations. A first integrated circuit structure is provided, and the first integrated circuit structure includes a first substrate and a silicon layer over the first substrate. A plasma treatment is performed to transform a top portion of the silicon layer to a first bonding layer on the remaining silicon layer of the first integrated circuit structure. A second integrated circuit structure is provided, and the second integrated circuit structure includes a second substrate and a second bonding layer over the second substrate. The second integrated circuit structure is bonded to the first integrated circuit structure through the second bonding layer of the second integrated circuit structure and the first bonding layer of the first integrated circuit structure.

Classes IPC  ?

• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 27/06 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration non répétitive

Abrégé

A semiconductor package includes a first semiconductor die and a second semiconductor die bonded over the first semiconductor die. The second semiconductor die includes a first backside interconnect structure having a first power rail structure. An integrated voltage regulator die is bonded over the second semiconductor die such that the integrated voltage regulator die is electrically connected to the first power rail structure. A through via is on the first semiconductor die and is electrically coupled to the first semiconductor die. The through via is disposed outside of and adjacent to the second semiconductor die. The through via also electrically couples the first semiconductor die to the second semiconductor die through the integrated voltage regulator die.

Classes IPC  ?

• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

Abrégé

In an embodiment, a device includes: a lower integrated circuit die; an upper integrated circuit die bonded to the lower integrated circuit die with a dielectric-to-dielectric bonding region and with a metal-to-metal bonding region; a first buffer layer around the upper integrated circuit die, the first buffer layer including a buffer material having a first thermal conductivity, the buffer material having a columnar crystalline structure, the columnar crystalline structure including crystalline columns having a substantially uniform orientation in a direction that extends away from the lower integrated circuit die; and a gap-fill dielectric over the first buffer layer and around the upper integrated circuit die, the gap-fill dielectric having a second thermal conductivity, the first thermal conductivity greater than the second thermal conductivity.

Classes IPC  ?

• H01L 23/42 - Choix ou disposition de matériaux de remplissage ou de pièces auxiliaires dans le conteneur pour faciliter le chauffage ou le refroidissement
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/29 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par le matériau
• H01L 23/36 - Emploi de matériaux spécifiés ou mise en forme, en vue de faciliter le refroidissement ou le chauffage, p. ex. dissipateurs de chaleur
• H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe

Abrégé

Semiconductor devices and method of manufacture are provided. In embodiments a conductive connector is utilized to provide an electrical connection between a substrate and an overlying shield. The conductive connector is placed on the substrate and encapsulated with an encapsulant. Once encapsulated, an opening is formed through the encapsulant to expose a portion of the conductive connector. The shield is deposited through the encapsulant to make an electrical connection to the conductive connector.

Classes IPC  ?

• H01L 23/552 - Protection contre les radiations, p. ex. la lumière
• H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 23/00 - Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants

Abrégé

An interconnection structure (for a multi-chip interposer) includes: a first via stack at a first one amongst locations, the locations correspondingly being defined relative to first and second perpendicular directions, the via stack including vias stacked over each other in a third direction perpendicular to each of the first and second directions; a transition segment in a transition layer and overlapping and coupled to an uppermost one of the vias in the via stack at the first location, the transition segment being conductive and extending in at least the first direction or the second direction to overlap a second one of locations offset from the first location; and a first contact bump at the second location and over and coupled to the via stack.

Classes IPC  ?

• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 21/48 - Fabrication ou traitement de parties, p. ex. de conteneurs, avant l'assemblage des dispositifs, en utilisant des procédés non couverts par l'un uniquement des groupes ou
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants

Abrégé

A method includes forming a first gate structure across a first active region on a substrate within a memory region, wherein the first gate structure is of a first transistor being of a first conductivity type; forming a second gate structure across a second active region on the substrate within a peripheral region, wherein the second gate structure is of a second transistor being of a second conductivity type, the second conductivity type is opposite to the first conductivity type; forming a first gate contact over the first gate structure, the first gate contact overlapping with the first active region; forming a second gate contact over the second gate structure, the second gate contact non-overlapping with the second active region.

Classes IPC  ?

• G11C 17/16 - Mémoires mortes programmables une seule foisMémoires semi-permanentes, p. ex. cartes d'information pouvant être replacées à la main dans lesquelles le contenu est déterminé en établissant, en rompant ou en modifiant sélectivement les liaisons de connexion par une modification définitive de l'état des éléments de couplage, p. ex. mémoires PROM utilisant des liaisons électriquement fusibles
• G11C 17/18 - Circuits auxiliaires, p. ex. pour l'écriture dans la mémoire
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince
• H10B 20/25 - Dispositifs ROM programmable une seule fois, p. ex. utilisant des jonctions électriquement fusibles

Abrégé

A ferroelectric random access memory (FeRAM) cell may include an oxide insertion layer between the electron barrier layer and the metal glue layer of the source/drain regions of the FeRAM cell. The oxide insertion layer may improve the thermal stability of the electron barrier layer and minimize or prevent dissociation and/or out-diffusion of the electron barrier layer at high processing temperatures. Thus, the oxide insertion layer may enable the metal glue layer to be formed over the electron barrier layer with low surface roughness, which may enable increased adhesion between the metal glue layer and the source/drain electrodes of the source/drain regions. In this way, the oxide insertion layer may enable low electrical resistance to be achieved for the FeRAM cell and/or may reduce the likelihood of failures in the FeRAM cell, among other examples.

Classes IPC  ?

• H10B 51/30 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la région noyau de mémoire
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A semiconductor package includes a circuit substrate, a die, a frame structure, and a heat sink lid. The die is disposed on the circuit substrate and electrically connected with the circuit substrate. The die includes two first dies disposed side by side and separate from each other with a gap between two facing sidewalls of the two first dies. The frame structure is disposed on the circuit substrate and surrounding the die. The heat sink lid is disposed on the die and the frame structure. The head sink lid has a slit that penetrates through the heat sink lid in a thickness direction and exposes the gap between the two facing sidewalls of the two first dies.

Classes IPC  ?

• H01L 23/367 - Refroidissement facilité par la forme du dispositif
• H01L 21/52 - Montage des corps semi-conducteurs dans les conteneurs
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
• H01L 23/498 - Connexions électriques sur des substrats isolants
• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe

Abrégé

A semiconductor memory device includes pairs of metal lines and memory arrays. Each of the memory arrays includes first and second sets of thin film transistors (TFTs), a first switch transistor, and a second switch transistor. The TFTs in the first and second sets are electrically connected to each other in parallel. The first switch transistor is electrically connected in series to one of the TFTs in the first set and one of the metal lines in a corresponding one of the pairs of the metal lines. The second switch transistor is electrically connected in series to one of the TFTs in the second set and the other one of the metal lines in the corresponding one of the pairs of the metal lines.

Classes IPC  ?

• H10B 51/20 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par les agencements tridimensionnels, p. ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
• H10B 51/10 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la configuration vue du dessus
• H10B 51/30 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la région noyau de mémoire

Abrégé

A device includes gate spacers, a gate dielectric layer, and one or more gate metals. The gate spacers are over a substrate. The gate dielectric layer is between the gate spacers. The gate dielectric layer includes a horizontal portion extending parallel to a top surface of the substrate, and vertical portions extending upwards from the horizontal portion. A first one of the vertical portions has a thickness less than a thickness of the horizontal portion.

Classes IPC  ?

• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• C23C 16/04 - Revêtement de parties déterminées de la surface, p. ex. au moyen de masques
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 21/762 - Régions diélectriques
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

In some embodiments, the present disclosure relates to an integrated device, including a substrate comprising a channel region; a gate structure disposed on the substrate over the channel region; a first doped region of a first doping type on a first side of the gate structure; a second doped region of the first doping type on a second side of the gate structure; a shallow trench isolation (STI) structure disposed on an opposite side of the first doped region from the gate structure and having a bottom surface at a first depth beneath a top surface of the substrate; a shallow-shallow trench isolation (SSTI) structure extending from the second doped region to the gate structure, the SSTI structure having a bottom surface at a second depth beneath the top surface of the substrate, where the second depth is less than the first depth.

Classes IPC  ?

• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A semiconductor die and the method of forming the same are provided. The semiconductor die includes a first interconnect structure, a second interconnect structure including a conductive feature, and a device layer between the first interconnect structure and the second interconnect structure. The device layer includes a semiconductor fin, a first gate structure on the semiconductor fin, a source/drain region adjacent the first gate structure, and a shared contact extending through the semiconductor fin to be electrically connected to the source/drain region and the first gate structure. The conductive feature contacts the shared contact.

Classes IPC  ?

• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 21/8238 - Transistors à effet de champ complémentaires, p.ex. CMOS
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
• H01L 27/092 - Transistors à effet de champ métal-isolant-semi-conducteur complémentaires
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

Semiconductor package and method of manufacturing are presented herein. In an embodiment, a device is provided that includes a first semiconductor component embedded in a first core substrate, a first redistribution layer on a first side of the first core substrate, a second redistribution layer on a second side of the first core substrate opposite the first side, a first resin film over the second redistribution layer, a second semiconductor component embedded in a second core substrate, a third redistribution layer on a third side of the second core substrate, wherein the third redistribution layer is bonded to the second redistribution layer by the first resin film, a fourth redistribution layer on a fourth side of the second core substrate opposite the third side, and a through hole via extending through the first redistribution layer, the first core substrate, the second redistribution layer, the third redistribution layer, the second core substrate, and the fourth redistribution layer.

Classes IPC  ?

• H01L 23/538 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre la structure d'interconnexion entre une pluralité de puces semi-conductrices se trouvant au-dessus ou à l'intérieur de substrats isolants
• H01L 21/56 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe

Abrégé

An SRAM cell includes a first active region, a first gate structure, a second gate structure, and a first source/drain contact region. The first gate structure is over the first active region and forms a pull-up transistor with the first active region. The second gate structure is over the first active region and forms a write-assist transistor with the first active region. The write-assist transistor and the pull-up transistor are of a same conductivity type. The first source/drain contact region is over a source/drain of the write-assist transistor and a source/drain of the pull-up transistor.

Classes IPC  ?

• G11C 11/419 - Circuits de lecture-écriture [R-W]
• H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p. ex. fils de connexion ou bornes
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
• H10B 10/00 - Mémoires statiques à accès aléatoire [SRAM]

Abrégé

A circuit includes a first capacitive device coupled between first and second nodes, a second capacitive device coupled between third and fourth nodes, a first switching device coupled between the first node and a voltage node, a second switching device coupled between the second node and a reference voltage node, a third switching device coupled between the third node and the voltage node, a fourth switching device coupled between the fourth node and the reference voltage node, fifth through eighth switching devices coupled between the respective first through fourth nodes and an output node, and first and second variable capacitance devices including first terminals coupled to either the respective first and third nodes or the respective second and fourth nodes.

Classes IPC  ?

• G05F 1/575 - Régulation de la tension ou de l'intensité là où la variable effectivement régulée par le dispositif de réglage final est du type continu utilisant des dispositifs à semi-conducteurs en série avec la charge comme dispositifs de réglage final caractérisé par le circuit de rétroaction
• G05F 1/565 - Régulation de la tension ou de l'intensité là où la variable effectivement régulée par le dispositif de réglage final est du type continu utilisant des dispositifs à semi-conducteurs en série avec la charge comme dispositifs de réglage final sensible à une condition du système ou de sa charge en plus des moyens sensibles aux écarts de la sortie du système, p. ex. courant, tension, facteur de puissance
• H03K 17/082 - Modifications pour protéger le circuit de commutation contre la surintensité ou la surtension par réaction du circuit de sortie vers le circuit de commande

Abrégé

A semiconductor device structure is provided. The semiconductor device structure includes a source/drain (S/D) feature disposed over a substrate and between two adjacent semiconductor layers, an inner spacer disposed between and in contact with one semiconductor layer and the substrate, and a dielectric layer structure disposed between the S/D feature and the substrate. The dielectric layer structure includes a first dielectric layer in contact with the inner spacer and the substrate, and a second dielectric layer nested within the first dielectric layer, wherein a bottom surface and sidewall surfaces of the second dielectric layer are in contact with the first dielectric layer.

Classes IPC  ?

• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

A semiconductor device and a method of fabricating the semiconductor device are disclosed. The semiconductor device includes a substrate, first and second nanostructured channel regions disposed on the substrate, a gate structure surrounding the first and second nanostructured channel regions, an inner gate spacer disposed along a sidewall of the gate structure and between the first and second nanostructured channel regions, and a source/drain (S/D) region. The S/D region includes an epitaxial liner disposed along sidewalls of the first and second nanostructured channel regions and the inner gate spacer and a germanium-based epitaxial region disposed on the epitaxial liner. The semiconductor further includes an isolation structure disposed between the germanium-based epitaxial region and the substrate.

Classes IPC  ?

• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 27/088 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant uniquement des composants semi-conducteurs d'un seul type comprenant uniquement des composants à effet de champ les composants étant des transistors à effet de champ à porte isolée
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/775 - Transistors à effet de champ avec un canal à gaz de porteurs de charge à une dimension, p.ex. FET à fil quantique
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

Embodiments with present disclosure provides a gate-all-around FET device including a patterned or lowered bottom dielectric layer. The bottom dielectric layer prevents the subsequently formed epitaxial source/drain region from volume loss and induces compressive strain in the channel region to prevent strain loss and channel resistance degradation.

Classes IPC  ?

• H01L 29/786 - Transistors à couche mince
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A wafer retaining device is provided. The wafer retaining device includes a platen configured to support a semiconductor wafer, and a retainer assembly. The retainer assembly includes a mounting member coupled to the platen, a lever, and a biasing member including a first end coupled to the lever and a second end coupled to the mounting member. The biasing member is configured to bias the lever to a closed position relative to the platen. The lever inhibits movement of the semiconductor wafer when the lever is in the closed position.

Classes IPC  ?

• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

A semiconductor device and method of manufacturing the same are provided. The semiconductor device includes a first fin and a gate electrode. The first fin extends along a first direction. The gate electrode has a sidewall extending along a second direction different from the first direction. The sidewall of the gate electrode defines an indentation adjacent to the first fin in a top view.

Classes IPC  ?

• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée
• H01L 29/417 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative transportant le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

A memory device includes multiple first memory cells each having a first terminal coupled to a first node and a second terminal coupled to a corresponding one in multiple first bit lines; multiple second memory cells each having a first terminal coupled to a second node and a second terminal coupled to a corresponding one in multiple second bit lines; and a driver circuit coupled between the first node and the second node, and configured to generate, in response to a first voltage at the first node, a second voltage at the second node when a memory operation is performed to one of the first memory cells. The first voltage and the second voltage have different polarity.

Classes IPC  ?

• G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliersÉléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques

Abrégé

A composite package includes a first semiconductor die which includes a semiconductor substrate; dielectric material layers overlying the semiconductor substrate; an edge ring seal structure laterally enclosing the dielectric material layers without any lateral opening therethrough; at least one passivation dielectric layer overlying the dielectric material layers; and a capping metal ring contacting a top surface segment of the edge ring seal structure and laterally surrounding a lower portion of the at least one passivation dielectric layer. Each corner region of the at least one passivation dielectric layer is free of any metallic material other than a respective single slanted bar segment of the capping metal ring. Alternatively or additionally, a spacer metal ring having a different height than the capping metal ring may be formed within the at least one passivation dielectric layer.

Classes IPC  ?

• H01L 23/58 - Dispositions électriques structurelles non prévues ailleurs pour dispositifs semi-conducteurs
• H01L 23/31 - Encapsulations, p. ex. couches d’encapsulation, revêtements caractérisées par leur disposition
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans une seule des sous-classes , , , , ou , p. ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe