Abrégé

A pendulum gate valve (10) including an expandable gate (12) which pivots when unexpanded to selectively block a vacuum or other pressure-differential passage (20). The valve includes a valve plate (56) sealing one side of the passage and a ring (88) or barrier plate (154) abutting an opposed side of the passage when the gate member is expanded. A compression spring (106) biases apart the valve plate and ring to close the valve by means of respective two-stage hangers attached thereto, extending along the spring, and having distal ends capturing the spring. Pneumatic pressure (116) applied to a pneumatic cavity (114) formed between the middles of the two-stage hangers (66, 102) and accommodating the spring forces apart the valve plate and ring to open the valve in the blocking position. Thereby if pressure fails, the valve fails to a sealed state. The axially movable valve or barrier plate is advantageously water cooled (60) to allow use with a heated processing chamber.

Classes IPC  ?

• F16K 51/02 - Autres détails non particuliers aux types de soupapes ou clapets ou autres appareils d'obturation spécialement conçus pour les installations de vide poussé
• F16K 3/28 - Robinets-vannes ou tiroirs, c.-à-d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture à corps de tiroir élastique
• F16K 31/64 - Moyens de fonctionnementDispositifs de retour à la position de repos sensibles aux variations de température
• F16K 3/30 - Robinets-vannes ou tiroirs, c.-à-d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture Détails