Abrégé

A memory structure including three-dimensional NOR memory strings and method of operation is disclosed. In some embodiments, the memory device implements partial polarization to provide a reference signal for read operation. The reference signal realizes a third logical state distinguishable from the first and second logical stages in the ferroelectric memory transistor, such as associated with the program and erase states. In another embodiment, the memory device provides a reference signal for read operation by averaging a first signal associated with a program state and a second signal associated with an erased state of the ferroelectric memory transistor. In some embodiments, the memory device implements one or more partial polarization states to provide a multi-level memory cell with more than one logical bit stored in each memory cell.

Classes IPC  ?

• G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
• G11C 11/408 - Circuits d'adressage
• G11C 16/08 - Circuits d'adressage; Décodeurs; Circuits de commande de lignes de mots
• G11C 5/02 - Disposition d'éléments d'emmagasinage, p.ex. sous la forme d'une matrice
• H01L 23/522 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions externes formées d'une structure multicouche de couches conductrices et isolantes inséparables du corps semi-conducteur sur lequel elles ont été déposées
• H10B 51/20 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par les agencements tridimensionnels, p ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
• H10B 51/30 - Dispositifs de RAM ferro-électrique [FeRAM] comprenant des transistors ferro-électriques de mémoire caractérisés par la région noyau de mémoire
• G11C 16/26 - Circuits de détection ou de lecture; Circuits de sortie de données
• G11C 11/419 - Circuits de lecture-écriture [R-W]

Abrégé

A memory circuit includes an array of thin-film ferroelectric memory transistors formed by an array of NOR memory strings intersecting with local word line structures with global word lines arranged orthogonal to the array of NOR memory strings and aligned with a set of local word line structures provided across multiple stacks of NOR memory strings. The memory circuit includes a word line select transistor associated with each local word line structure to isolate each local word line structure from the associated global word line. The word line select transistor, when activated, selectively couples a selected local word line structure to the associated global word line. Remaining local word line structures associated with the same global word line remain disconnected and therefore not selected. In this manner, parasitic capacitance on the global word line is reduced and unintended disturb to other unselected memory transistors is also reduced.

Classes IPC  ?

• G11C 16/26 - Circuits de détection ou de lecture; Circuits de sortie de données
• G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
• G11C 16/34 - Détermination de l'état de programmation, p.ex. de la tension de seuil, de la surprogrammation ou de la sousprogrammation, de la rétention
• G11C 11/56 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments d'emmagasinage comportant plus de deux états stables représentés par des échelons, p.ex. de tension, de courant, de phase, de fréquence
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes

Abrégé

A memory system includes a memory device including an array of storage transistors organized in multiple memory banks, each memory bank including multiple memory pages; and a control circuit configured to interact with the memory device to perform read and write operations. The control circuit includes a read queue configured to store active read requests, a write queue configured to store active write requests, and a write staging buffer configured to store pending write requests received by the control circuit and to transfer the pending write requests to the write queue to maximize the number of active write requests that are addressed to different memory banks of the memory device. In other embodiments, a memory system includes a control circuit configured to interact with a memory device to perform read and write operations implements virtual memory bank addressing.

Classes IPC  ?

• G06F 3/06 - Entrée numérique à partir de, ou sortie numérique vers des supports d'enregistrement
• G06F 12/02 - Adressage ou affectation; Réadressage
• G11C 11/56 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments d'emmagasinage comportant plus de deux états stables représentés par des échelons, p.ex. de tension, de courant, de phase, de fréquence
• G06F 12/00 - Accès à, adressage ou affectation dans des systèmes ou des architectures de mémoires
• G06F 3/00 - Dispositions d'entrée pour le transfert de données destinées à être traitées sous une forme maniable par le calculateur; Dispositions de sortie pour le transfert de données de l'unité de traitement à l'unité de sortie, p.ex. dispositions d'interface

Abrégé

A memory structure including three-dimensional NOR memory strings and method of fabrication is disclosed. In some embodiments, a memory structure includes randomly accessible ferroelectric storage transistors organized as horizontal NOR memory strings. The NOR memory strings are formed over a semiconductor substrate in multiple scalable memory stacks of thin-film storage transistors. The three-dimensional memory stacks are manufactured in a process that includes forming operational trenches for vertical local word lines and forming auxiliary trenches to facilitate back-alley metal replacement and channel separation by a backside selective etch process. In some embodiments, the ferroelectric storage transistors are junctionless field-effect transistors (FeFETs) having a ferroelectric polarization layer as the gate dielectric layer formed adjacent a semiconductor oxide layer as the channel region.

Classes IPC  ?

• H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS
• G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
• G11C 11/56 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments d'emmagasinage comportant plus de deux états stables représentés par des échelons, p.ex. de tension, de courant, de phase, de fréquence
• H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes

Abrégé

A memory system including a memory device of storage transistors organized in multiple memory banks where the memory device interacts with a controller device to perform read and write operations. In some embodiments, the controller device is configured to issue to the memory device a write command and a write termination command, where the write command causing the memory device to initiate a write operation in the memory device and the write termination command causing the memory device to terminate the write operation. In one embodiment, the controller device issues a write abort command as the write termination command to terminate a write operation in progress at a certain memory bank of the memory device in order to issue a read command to read data from the same memory bank. The terminated write operation can resume after the completion of the read operation.

Classes IPC  ?

• G06F 11/07 - Réaction à l'apparition d'un défaut, p.ex. tolérance de certains défauts
• G06F 11/14 - Détection ou correction d'erreur dans les données par redondance dans les opérations, p.ex. en utilisant différentes séquences d'opérations aboutissant au même résultat
• G06F 11/25 - Tests de fonctionnement logique, p.ex. au moyen d'analyseurs logiques
• G06F 11/263 - Génération de signaux d'entrée de test, p.ex. vecteurs, formes ou séquences de test
• G11C 16/16 - Circuits pour effacer électriquement, p.ex. circuits de commutation de la tension d'effacement pour effacer des blocs, p.ex. des réseaux, des mots, des groupes
• G11C 29/42 - Dispositifs de vérification de réponse utilisant des codes correcteurs d'erreurs [ECC] ou un contrôle de parité
• G11C 16/08 - Circuits d'adressage; Décodeurs; Circuits de commande de lignes de mots
• G11C 16/10 - Circuits de programmation ou d'entrée de données
• G11C 16/12 - Circuits de commutation de la tension de programmation
• G11C 16/14 - Circuits pour effacer électriquement, p.ex. circuits de commutation de la tension d'effacement

Abrégé

In some embodiments, a memory device implements a tile-based architecture including an arrangement of independently and concurrently operable arrays or tiles of memory transistors where each tile includes memory transistors that are arranged in a three-dimensional array and a localized modular control circuit operating the memory transistors in the tile. The tile-based architecture of the memory device enables concurrent memory access to multiple tiles, which enables independent and concurrent memory operations to be carried out across multiple tiles. The tile-based concurrent access to the memory device has the benefits of increasing the memory bandwidth and lowering the tail latency of the memory device by ensuring high availability of storage transistors. In other embodiments, a memory module includes multiple semiconductor memory dies coupled to a memory controller where the semiconductor memory dies are partitioned into independently accessible memory channels with each memory channel being formed across the multiple semiconductor memory dies.

Classes IPC  ?

• G11C 8/12 - Circuits de sélection de groupe, p.ex. pour la sélection d'un bloc de mémoire, la sélection d'une puce, la sélection d'un réseau de cellules
• G11C 29/26 - Accès à des réseaux multiples
• G11C 11/408 - Circuits d'adressage

Abrégé

A memory structure includes storage transistors organized as horizontal NOR memory strings where the storage transistors are thin-film ferroelectric field-effect transistors (FeFETs) having a ferroelectric gate dielectric layer formed adjacent a semiconductor channel. In some embodiments, the semiconductor channel is formed by an oxide semiconductor material and the ferroelectric storage transistors are junctionless transistors with no p/n junction in the channel. In some embodiments, the ferroelectric storage transistors in each NOR memory string share a first conductive layer as a common source line and a second conductive layer as a common bit line, the first and second conductive layers being in electrical contact with the semiconductor channel. The ferroelectric storage transistors in a multiplicity of NOR memory strings are arranged to form semi-autonomous three-dimensional memory arrays (tiles) with each tile individually addressed and controlled by circuitry in the semiconductor substrate underneath each tile in cooperation with a memory controller.

Classes IPC  ?

• G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
• H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 27/11585 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS]

Abrégé

Thin-film Ferroelectric field-effect transistor (FeFET) may be organized as 3-dimensional NOR memory string arrays. Each 3-dimensional NOR memory string array includes a row of active stack each including a predetermined number of active strips each provided one on top of another and each being spaced apart from another by an isolation layer. Each active strip may include a shared source layer and a shared drain layer shared by the FeFETs provided along the active strip. Data storage in the active strip is provided by ferroelectric elements that can individually electrically set into one of two polarization states. FeFETs on separate active strips may be configured for read, programming or erase operations in parallel.

Classes IPC  ?

• H01L 27/11597 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs les électrodes de grille comprenant une couche utilisée pour ses propriétés de mémoire ferro-électrique, p.ex. semi-conducteur métal-ferro-électrique [MFS] ou semi-conducteur d’isolation métal-ferro-électrique-métal [MFMIS] caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur
• H01L 29/41 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative
• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A semiconductor memory device implements a write disturb reduction method to reduce write disturb on unselected memory cells by alternating the order of the write logical "1" step and write logical "0" step in the write operations of selected memory cells associated with the same group of bit lines. In one embodiment, a method in an array of memory cells includes performing write operation on the memory cells in one of the memory pages to store write data into the memory cells where the write operation includes a first write step of writing a data of a first logical state and a second write step of writing data of a second logical state; and performing the write operation for each row of memory cells by alternately performing the first write step followed by the second write step and performing the second write step followed by the first write step.

Classes IPC  ?

• G11C 16/10 - Circuits de programmation ou d'entrée de données
• G11C 16/12 - Circuits de commutation de la tension de programmation
• G11C 16/14 - Circuits pour effacer électriquement, p.ex. circuits de commutation de la tension d'effacement
• G11C 16/16 - Circuits pour effacer électriquement, p.ex. circuits de commutation de la tension d'effacement pour effacer des blocs, p.ex. des réseaux, des mots, des groupes

Abrégé

According to one embodiment of the present invention, a storage transistor has a tunnel dielectric layer and a charge-trapping layer between a channel region and a gate electrode, wherein the charge-tapping layer has a conduction band offset relative to a ntype silicon conduction band that is less than the lowering of the tunneling barrier in the 10 tunnel dielectric layer when a programming voltage is applied, such that electrons direct tunnel into the charge-trapping layer. The conduction band offset of the charge-trapping layer is selected to have a value between -1.0 eV and 2.3 eV.

Classes IPC  ?

• G11C 11/22 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des éléments ferro-électriques
• G11C 11/40 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors
• H01L 29/40 - Electrodes
• H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
• H01L 29/78 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée

Abrégé

A memory module including a memory array of storage transistors and a control circuit where the control circuit includes a memory interface for providing high bandwidth access to the memory array on serial data lanes. In some embodiments, the control circuit of a memory module includes multiple transceivers for connecting to serial data lanes. In one embodiment, the memory interface of a memory module configures some transceivers for host connection or for upstream connection to an upstream memory module and configures other transceivers for downstream connection to a downstream memory module. In other embodiments, a multi-module memory device is formed using multiple memory modules connected in a cascade configuration or in a star configuration to provide high bandwidth memory access to all memory locations of the multiple memory modules using the given number of serial data lanes of the host connection.

Classes IPC  ?

• G11C 7/10 - Dispositions d'interface d'entrée/sortie [E/S, I/O] de données, p.ex. circuits de commande E/S de données, mémoires tampon de données E/S
• H03K 19/20 - Circuits logiques, c. à d. ayant au moins deux entrées agissant sur une sortie; Circuits d'inversion caractérisés par la fonction logique, p.ex. circuits ET, OU, NI, NON

Abrégé

A semiconductor memory device is implemented as strings of storage transistors, where the storage transistors in each string have drain terminals connected to a bit line and gate terminals connected to respective word lines. In some embodiments, the semiconductor memory device includes a reference bit line structure to provide a reference bit line signal for read operation. The reference bit line structure configures word line connections to provide a reference bit line to be used with a storage transistor being selected for read access. The reference bit line structure provides a reference bit line having the same electrical characteristics as an active bit line and is configured so that no storage transistors are selected when a word line is activated to access a selected storage transistor associated with the active bit line.

Classes IPC  ?

• G11C 11/40 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors
• G11C 11/409 - Circuits de lecture-écriture [R-W]
• G11C 11/4097 - Organisation de lignes de bits, p.ex. configuration de lignes de bits, lignes de bits repliées
• G11C 11/416 - Circuits de lecture-écriture [R-W]
• G11C 11/419 - Circuits de lecture-écriture [R-W]
• G11C 7/12 - Circuits de commande de lignes de bits, p.ex. circuits d'attaque, de puissance, de tirage vers le haut, d'abaissement, circuits de précharge, circuits d'égalisation, pour lignes de bits
• G11C 7/22 - Circuits de synchronisation ou d'horloge pour la lecture-écriture [R-W]; Générateurs ou gestion de signaux de commande pour la lecture-écriture [R-W]

Abrégé

A VNOR memory string includes: (a) first and second pillars embedded in multiple composite layers, each composite layer comprising an insulator layer and a conductor layer, the first and second pillars each comprising a first semiconductor material of a first conductivity; (b) a second semiconductor layer of a second conductivity type opposite the first conductivity type on the outside of third pillar also embedded in the composite layers, the third pillar contacting both the first and second pillars; and (c) a storage layer provided between the second semiconductor layer and each of the conductor layer in the composite layers.

Classes IPC  ?

• H01L 27/115 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter

Abrégé

A conductor-filled via formed between an interconnection conductor layer and a buried contact above a planar surface of a semiconductor substrate, includes: (a) a first portion that extends from the interconnection conductor layer through a first isolation layer to a step in a staircase structure formed above the buried contacts, wherein (i) the step of the staircase structure is aligned to the buried contact along a first direction substantially normal to the planar surface of the semiconductor substrate, (ii) at the top of the step, the step comprises a bit line layer, a source line layer and a second isolation layer between the bit line layer and the source line layer, and (iii) the first portion electrically contacting the layer at the top of the step; and (b) a second portion extending from a portion of the step below the layer at the top of the step to the buried contact, wherein a spacer insulator lines sidewalls of the conductor-filled via.

Classes IPC  ?

• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives

Abrégé

A method is for ensuring data integrity in memory pages includes: dividing the memory pages into a predetermined number of refresh groups; and for each write operation to be performed on a selected memory page: (a) selecting one of the refresh groups; (b) reading data from the memory pages of the selected refresh group; and (d) concurrently (i) performing the write operation on the selected memory page, and (ii) writing back the data read into the memory pages of the selected refresh group.

Classes IPC  ?

• G11C 16/16 - Circuits pour effacer électriquement, p.ex. circuits de commutation de la tension d'effacement pour effacer des blocs, p.ex. des réseaux, des mots, des groupes

Abrégé

A memory system includes: a memory array including numerous quasi-volatile memory units each configured to store a first portion of a code word encoded using an error-detecting and error-correcting code: a refresh circuit for reading and writing back the first portion of the ECC-encoded code word of a selected one of the QV memory unit; a global parity evaluation circuit configured to determine a global parity of the ECC-encoded code word of the selected QV memory unit; and when the global parity of the ECC-encoded code word of the selected QV memory unit is determined at the global parity evaluation circuit to be a predetermined parity, the memory controller (i) performs error correction on the selected ECC-encoded code word and (ii) causes the first portion of the corrected ECC-encoded code word to be written back to the selected QV memory unit.

Classes IPC  ?

• G11C 16/34 - Détermination de l'état de programmation, p.ex. de la tension de seuil, de la surprogrammation ou de la sousprogrammation, de la rétention
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS

Abrégé

A thin-film storage transistor formed in a memory array above a planar surface of a semiconductor substrate, includes (a) first and second planar dielectric layers, each being substantially parallel the planar surface of the semiconductor substrate; (b) a first semiconductor layer of a first conductivity having an opening therein; (c) second and third semiconductor layers of a second conductivity type opposite the first conductivity type, located on two opposite sides of the first semiconductor layer; (d) a charge-storage layer provided in the opening adjacent and in contact with the first semiconductor layer; and (e) a first conductor provided in the opening separated from the first semiconductor layer by the charge storage layer.

Classes IPC  ?

• H01L 27/115 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs
• H01L 21/336 - Transistors à effet de champ à grille isolée
• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 21/31 - Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes pour former des couches isolantes en surface, p.ex. pour masquer ou en utilisant des techniques photolithographiques; Post-traitement de ces couches; Emploi de matériaux spécifiés pour ces couches
• H01L 21/311 - Gravure des couches isolantes

Abrégé

A process for manufacturing a 3-D NOR memory array provides thin-film storage transistors of each NOR memory string in either shafts or portions of a trench between adjacent shafts.

Classes IPC  ?

• H01L 21/311 - Gravure des couches isolantes
• H01L 21/3213 - Gravure physique ou chimique des couches, p.ex. pour produire une couche avec une configuration donnée à partir d'une couche étendue déposée au préalable
• G11C 11/56 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments d'emmagasinage comportant plus de deux états stables représentés par des échelons, p.ex. de tension, de courant, de phase, de fréquence
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS
• G11C 16/10 - Circuits de programmation ou d'entrée de données
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

A process for building a 3-Dimensional NOR memory array avoids the challenge of etching a conductor material that is aimed at providing local word lines at a fine pitch. The process defines the local word lines between isolation shafts that may be carried out at a lower aspect ratio than would be required for etching the conductor material.

Classes IPC  ?

• H01L 21/311 - Gravure des couches isolantes
• H01L 21/3213 - Gravure physique ou chimique des couches, p.ex. pour produire une couche avec une configuration donnée à partir d'une couche étendue déposée au préalable
• G11C 11/56 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments d'emmagasinage comportant plus de deux états stables représentés par des échelons, p.ex. de tension, de courant, de phase, de fréquence
• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• G11C 16/10 - Circuits de programmation ou d'entrée de données
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

22), or zinc oxide (ZnO). The thin-film memory transistor may be implemented, for example, in a 3-dimensional array of NOR memory strings formed above a planar surface of a semiconductor substrate.

Classes IPC  ?

• G11C 11/40 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors
• G11C 11/00 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants
• G11C 11/34 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs
• H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS

Abrégé

A shared memory provides multi-channel access from multiple computing or host devices. A priority circuit prioritizes the multiple memory requests that are submitted as bids from the multiple host channels, such that those memory access requests that do not give rise to a conflict may proceed in parallel. The shared memory may be multi-ported and a routing circuit routes the prioritized memory access request to the appropriate memory ports where the allowed memory access requests may be carried out.

Classes IPC  ?

• G06F 15/76 - Architectures de calculateurs universels à programmes enregistrés
• G06F 9/00 - Dispositions pour la commande par programme, p.ex. unités de commande

Abrégé

A memory device includes a first semiconductor wafer portion including two or more adjacent quasi-volatile memory circuits formed on a common semiconductor substrate where each quasi-volatile memory circuit being isolated from an adjacent quasi-volatile memory circuit by scribe lines; and a second semiconductor wafer portion including at least one memory controller circuit formed on a semiconductor substrate. The memory controller circuit includes logic circuits and interface circuits. The memory controller circuit is interconnected to the two or more adjacent quasi-volatile memory circuits of the first semiconductor wafer portion through interconnect structures and the memory controller circuit operates the two or more quasi-volatile memory circuits as one or more quasi-volatile memories.

Classes IPC  ?

• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe
• G06F 12/0802 - Adressage d’un niveau de mémoire dans lequel l’accès aux données ou aux blocs de données désirés nécessite des moyens d’adressage associatif, p.ex. mémoires cache
• G06F 13/28 - Gestion de demandes d'interconnexion ou de transfert pour l'accès au bus d'entrée/sortie utilisant le transfert par rafale, p.ex. acces direct à la mémoire, vol de cycle
• G11C 5/02 - Disposition d'éléments d'emmagasinage, p.ex. sous la forme d'une matrice
• G11C 11/401 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors formant des cellules nécessitant un rafraîchissement ou une régénération de la charge, c. à d. cellules dynamiques
• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide

Abrégé

A first circuit formed on a first semiconductor substrate is wafer-bonded to a second circuit formed on a second memory circuit, wherein the first circuit includes quasi-volatile or non-volatile memory circuits and wherein the second memory circuit includes fast memory circuits that have lower read latencies than the quasi-volatile or non-volatile memory circuits, as well as logic circuits. The volatile and non-volatile memory circuits may include static random-access memory (SRAM) circuits, dynamic random-access memory (DRAM) circuits, embedded DRAM (eDRAM) circuits, magnetic random-access memory (MRAM) circuits, embedded MRAM (eMRAM), or any suitable combination of these circuits.

Classes IPC  ?

• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• H01L 25/065 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide les dispositifs étant tous d'un type prévu dans le même sous-groupe des groupes , ou dans une seule sous-classe de , , p.ex. ensembles de diodes redresseuses les dispositifs n'ayant pas de conteneurs séparés les dispositifs étant d'un type prévu dans le groupe

Abrégé

A high-capacity system memory may be built from both quasi-volatile (QV) memory circuits, logic circuits, and static random-access memory (SRAM) circuits. Using the SRAM circuits as buffers or cache for the QV memory circuits, the system memory may achieve access latency performance of the SRAM circuits and may be used as code memory. The system memory is also capable of direct memory access (DMA) operations and includes an arithmetic logic unit for performing computational memory tasks. The system memory may include one or more embedded processor. In addition, the system memory may be configured for multi-channel memory accesses by multiple host processors over multiple host ports. The system memory may be provided in the dual-in-line memory module (DIMM) format.

Classes IPC  ?

• G06F 12/08 - Adressage ou affectation; Réadressage dans des systèmes de mémoires hiérarchiques, p.ex. des systèmes de mémoire virtuelle

Abrégé

A storage transistor has a tunnel dielectric layer and a charge-trapping layer between a channel region and a gate electrode, wherein the charge-tapping layer has a conduction band offset that is less than the lowering of the tunneling barrier in the tunnel dielectric layer when a programming voltage is applied, such that electrons direct tunnel into the charge-trapping layer. The conduction band of the charge-trapping layer is has a value between - 1.0 eV and 2.3 eV. The storage transistor may further include a barrier layer between the tunnel dielectric layer and the charge-trapping layer, the barrier layer having a conduction band offset less than the conduction band offset of the charge-trapping layer.

Classes IPC  ?

• G11C 11/56 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments d'emmagasinage comportant plus de deux états stables représentés par des échelons, p.ex. de tension, de courant, de phase, de fréquence
• G11C 16/34 - Détermination de l'état de programmation, p.ex. de la tension de seuil, de la surprogrammation ou de la sousprogrammation, de la rétention
• H01L 27/115 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs
• H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/786 - Transistors à couche mince

Abrégé

A process includes (a) providing a semiconductor substrate having a planar surface; (b) forming a plurality of thin-film layers above the planar surface of the semiconductor substrate, one on top of another, including among the thin-film layers first and second isolation layer wherein a significantly greater concentration of a first dopant specie is provided in the first isolation layer than in the second isolation laye (c) etching along a direction substantially orthogonal to the planar surface through the thin-films to create a trench having sidewalls that expose the thin-film layers; (d) depositing conformally a semiconductor material on the sidewalls of the trench; (e) annealing the first isolation layer at a predetermined temperature and a predetermined duration such that the first isolation layer act as a source of the first dopant specie which dopes a portion of the semiconductor material adjacent the first isolation layer; and (f) selectively etching the semiconductor material.

Classes IPC  ?

• H01L 21/76 - Réalisation de régions isolantes entre les composants
• H01L 27/115 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs

Abrégé

In the highly efficient fabrication processes for HNOR arrays provided herein, the channel regions of the storage transistors in the HNOR arrays are protected by a protective layer after deposition until the subsequent deposition of a charge-trapping material before forming local word lines. Both the silicon for the channel regions and the protective material may be deposited in amorphous form and are subsequently crystallized in an anneal step. The protective material may be silicon boron, silicon carbon or silicon germanium. The protective material induces greater grain boundaries in the crystallized silicon in the channel regions, thereby providing greater charge carrier mobility, greater conductivity and greater current densities.

Classes IPC  ?

• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

A process forms thin-film storage transistors (e.g., HNOR devices) with improved channel regions by conformally depositing a thin channel layer in a cavity bordering a source region and a drain region, such that a portion of the channel material abuts by junction contact the source region and another portion of the channel layer abut by junction contact the drain region. The cavity is also bordered by a storage layer. In one form of the process, the channel region is formed before the storage layer is formed. In another form of the storage layer is formed before the channel region is formed.

Classes IPC  ?

• G11C 11/40 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors
• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS
• H01L 27/11582 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs avec isolateurs de grille à piégeage de charge, p.ex. MNOS ou NROM caractérisées par des agencements tridimensionnels, p.ex. avec des cellules à des niveaux différents de hauteur la région de source et la région de drain étant à différents niveaux, p.ex. avec des canaux inclinés les canaux comprenant des parties verticales, p.ex. canaux en forme de U

Abrégé

A quasi-volatile memory (QV memory) stack includes at least one semiconductor die, having formed thereon QV memory circuits, bonded to a second semiconductor on which a memory controller for the QV memory ("QV memory controller") is formed. The circuits in the bonded semiconductor dies are electrically connected using numerous copper interconnect conductors and conductive through-silicon vias (TSVs). The QV memory controller may include one or more interfaces to additional devices ("back-channel devices") to enable the QV memory controller to also serve as a controller for each back-channel device and to provide additional services. The QV memory controller performs data transfers between a back-channel device and the QV memory without intervention by the host CPU.

Classes IPC  ?

• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS
• G11C 11/40 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors
• G11C 11/56 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments d'emmagasinage comportant plus de deux états stables représentés par des échelons, p.ex. de tension, de courant, de phase, de fréquence
• G11C 16/34 - Détermination de l'état de programmation, p.ex. de la tension de seuil, de la surprogrammation ou de la sousprogrammation, de la rétention
• H01L 27/115 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs

Abrégé

A memory circuit includes: (i) a semiconductor substrate having a planar surface, the semiconductor substrate having formed therein circuitry for memory operations; (ii) a memory array formed above the planar surface, the memory array having one or more electrodes to memory circuits in the memory array, the conductors each extending along a direction substantially parallel to the planar surface; and (iii) one or more transistors each formed above, alongside or below a corresponding one of the electrodes but above the planar surface of the semiconductor substrate, each transistor (a) having first and second drain/source region and a gate region each formed out of a semiconductor material, wherein the first drain/source region, the second drain/source region or the gate region has formed thereon a metal silicide layer; and (b) selectively connecting the corresponding electrode to the circuitry for memory operations.

Classes IPC  ?

• H01L 27/115 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs

Abrégé

An electronic device with embedded access to a high-bandwidth, high-capacity fast-access memory includes (a) a memory circuit fabricated on a first semiconductor die, wherein the memory circuit includes numerous modular memory units, each modular memory unit having (i) a three-dimensional array of storage transistors, and (ii) a group of conductors exposed to a surface of the first semiconductor die, the group of conductors being configured for communicating control, address and data signals associated the memory unit; and (b) a logic circuit fabricated on a second semiconductor die, wherein the logic circuit also includes conductors each exposed at a surface of the second semiconductor die, wherein the first and second semiconductor dies are wafer-bonded, such that the conductors exposed at the surface of the first semiconductor die are each electrically connected to a corresponding one of the conductors exposed to the surface of the second semiconductor die. The three-dimensional array of storage transistors may be formed by NOR memory strings.

Classes IPC  ?

• H01L 25/00 - Ensembles consistant en une pluralité de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
• G11C 5/00 - MÉMOIRES STATIQUES - Détails de mémoires couverts par le groupe
• G11C 11/00 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants
• G11C 11/40 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs utilisant des transistors

Abrégé

Various methods overcome the limitations and achieve superior scaling by (i) replacing a single highly challenging high aspect ratio etch step with two or more etch steps of less challenging aspect ratios and which involve wider and more mechanically stable active strips, (ii) using dielectric pillars for support and to maintain structural stability during a high aspect ratio etch step and subsequent processing steps, or (iii) using multiple masking steps to provide two or more etch steps of less challenging aspect ratios and which involve wider and more mechanically stable active strips.

Classes IPC  ?

• H01L 27/10 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur comprenant une pluralité de composants individuels dans une configuration répétitive
• H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 27/02 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface
• H01L 27/04 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur

Abrégé

A method for forming 3 -dimensional vertical NOR- type memory string arrays uses damascene local bit lines is provided. The method of the present invention also avoids ribboning by etching local word lines in two steps. By etching the local word lines in two steps, the aspect ratio in the patterning and etching of stack of local word lines ("word line stacks") is reduced, which improves the structural stability of the word line stacks.

Classes IPC  ?

• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/70 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun, ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci; Fabrication de dispositifs à circuit intégré ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci
• H01L 21/762 - Régions diélectriques
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 21/77 - Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun

Abrégé

A memory array and single-crystal circuitry are provided by wafer bonding (e.g., adhesive wafer bonding or anodic wafer bonding) in the same integrated circuit and interconnected by conductors of an interconnect layer. Additional circuitry or memory arrays may be provided by additional wafer bonds and electrically connected by interconnect layers at the wafer bonding interface. The memory array may include storage or memory transistors having single-crystal epitaxial silicon channel material.

Classes IPC  ?

• H01L 27/04 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur
• H01L 23/48 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes
• H01L 23/52 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre
• H01L 23/535 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre comprenant des interconnexions internes, p.ex. structures d'interconnexions enterrées

Abrégé

Various methods and various staircase structures formed out of the active strips of a memory structure (e.g., a memory array having a three-dimensional arrangement of NOR memory strings) above a semiconductor substrate allows efficient electrical connections to semiconductor layers within the active strips.

Classes IPC  ?

• H01L 23/52 - Dispositions pour conduire le courant électrique à l'intérieur du dispositif pendant son fonctionnement, d'un composant à un autre

Abrégé

A process for manufacturing a 3-dimensional memory structure includes: (a) providing one or more active layers over a planar surface of a semiconductor substrate, each active layer including (i) first and second semiconductor layers of a first conductivity; (ii) a dielectric layer separating the first and second semiconductor layer; and (ii) one or more sacrificial layers, at least one of sacrificial layers being adjacent the first semiconductor layer; (b) etching the active layers to create a plurality of active stacks and a first set of trenches each separating and exposing sidewalls of adjacent active stacks; (c) filling the first set of trenches by a silicon oxide; (d) patterning and etching the silicon oxide to create silicon oxide columns each abutting adjacent active stacks and to expose portions of one or more sidewalls of the active stacks; and (e) removing the sacrificial layers from exposed portions of the sidewalls by isotropic etching through the exposed portions of the sidewalls of the active stacks to create corresponding cavities in the active layers.

Classes IPC  ?

• H01L 27/115 - Mémoires mortes programmables électriquement; Procédés de fabrication à étapes multiples de ces dispositifs

Abrégé

A memory structure, includes active columns of polysilicon formed above a semiconductor substrate, each active column includes one or more vertical NOR strings, with each NOR string having thin-film storage transistors sharing a local source line and a local bit line, the local bit line is connected by one segment of a segmented global bit line to a sense amplifier provided in the semiconductor substrate.

Classes IPC  ?

• H01L 27/02 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface
• H01L 27/04 - Dispositifs consistant en une pluralité de composants semi-conducteurs ou d'autres composants à l'état solide formés dans ou sur un substrat commun comprenant des éléments de circuit passif intégrés avec au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface le substrat étant un corps semi-conducteur
• H01L 23/50 - Dispositions pour conduire le courant électrique vers le ou hors du corps à l'état solide pendant son fonctionnement, p.ex. fils de connexion ou bornes pour des dispositifs à circuit intégré
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion

Abrégé

A method to ease the fabrication of high aspect ratio three dimensional memory structures for memory cells with feature sizes of 20 nm or less, or with a high number of memory layers. The present invention also provides an improved isolation between adjacent memory cells along the same or opposite sides of an active strip. The improved isolation is provided by introducing a strong dielectric barrier film between adjacent memory cells along the same side of an active strip, and by staggering memory cells of opposite sides of the active strip.

Classes IPC  ?

• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices

Abrégé

Algorithms for fast data retrieval, low power consumption in a 3D or planar non-volatile array of memory cells, connected between an accessible drain string and a floating, not directly accessible, source string, in a NOR-logic type of architecture, are presented.

Classes IPC  ?

• G11C 7/12 - Circuits de commande de lignes de bits, p.ex. circuits d'attaque, de puissance, de tirage vers le haut, d'abaissement, circuits de précharge, circuits d'égalisation, pour lignes de bits
• G11C 16/24 - Circuits de commande de lignes de bits

Abrégé

A memory structure includes a semiconductor substrate, a first stack of active strips and a second stack of active strips formed over the semiconductor substrate, a storage layer, and a plurality of conductors each extending lengthwise along a third direction that is substantially perpendicular to a planar surface, thereby forming in each active strip at least one NOR string, each NOR string including a plurality of storage transistors.The present invention also provides for a strut structure which facilitates etching steps on high aspect ratio structures, which enhances mechanical stability in a high aspect ratio memory stack.

Classes IPC  ?

• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS

Abrégé

Multi-gate NOR flash thin-film transistor (TFT) string arrays are organized as three dimensional stacks of active strips. Each active strip includes a shared source sublayer and a shared drain sublayer that is connected to substrate circuits. Data storage in the active strip is provided by charge-storage elements between the active strip and a multiplicity of control gates provided by adjacent local word-lines. The parasitic capacitance of each active strip is used to eliminate hard-wire ground connection to the shared source making it a semi-floating, or virtual source. Pre-charge voltages temporarily supplied from the substrate through a single port per active strip provide the appropriate voltages on the source and drain required during read, program, program-inhibit and erase operations. TFTs on multiple active strips can be pre-charged separately and then read, programmed or erased together in a massively parallel operation.

Classes IPC  ?

• H01L 21/02 - Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
• H01L 21/28 - Fabrication des électrodes sur les corps semi-conducteurs par emploi de procédés ou d'appareils non couverts par les groupes
• H01L 21/768 - Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
• H01L 21/3213 - Gravure physique ou chimique des couches, p.ex. pour produire une couche avec une configuration donnée à partir d'une couche étendue déposée au préalable
• H01L 23/528 - Configuration de la structure d'interconnexion
• H01L 29/06 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices
• H01L 29/08 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode transportant le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/10 - Corps semi-conducteurs caractérisés par les formes, les dimensions relatives, ou les dispositions des régions semi-conductrices avec des régions semi-conductrices connectées à une électrode ne transportant pas le courant à redresser, amplifier ou commuter, cette électrode faisant partie d'un dispositif à semi-conducteur qui comporte trois électrodes ou plus
• H01L 29/423 - Electrodes caractérisées par leur forme, leurs dimensions relatives ou leur disposition relative ne transportant pas le courant à redresser, à amplifier ou à commuter
• H01L 29/51 - Matériaux isolants associés à ces électrodes
• H01L 29/66 - Types de dispositifs semi-conducteurs

Abrégé

A memory structure, includes a plurality of thin film transistors associated with each of a plurality of active columns, which are organized into one or more vertical NOR strings comprising (a) active columns of polysilicon formed above a semiconductor substrate, each active column extending vertically from the substrate, wherein the active columns are arranged in a two-dimensional array extending in second and third directions parallel to the planar surface of the semiconductor substrate; (b) charge-trapping material provided over one or more surfaces of each active column; and (c) conductors each extending lengthwise along the third direction. The active columns, the charge-trapping material and the conductors together form the plurality of thin film transistors, with each thin film transistor formed by one of the conductors, a portion of the lightly doped region of an active column, the charge-trapping material between the portion of the lightly doped region and the conductor, and the first and second heavily doped regions.

Classes IPC  ?

• G11C 7/18 - Organisation de lignes de bits; Disposition de lignes de bits
• H01L 21/8242 - Structures de mémoires dynamiques à accès aléatoire (DRAM)
• G11C 11/409 - Circuits de lecture-écriture [R-W]

Abrégé

Multi-gate NOR flash thin-film transistor (TFT) string arrays ("multi-gate NOR string arrays") are organized as stacks of horizontal active strips running parallel to the surface of a silicon substrate, with the TFTs in each stack being controlled by vertical local word-lines provided along one or both sidewalls of the stack of active strips. Each active strip includes at least a channel layer formed between two shared source or drain layers. Data storage in the TFTs of an active strip is provided by charge-storage elements provided between the active strip and the control gates provided by the adjacent local word-lines. Each active strip may provide TFTs that belong to one or two NOR strings, depending on whether one or both sides of the active strip are used.

Classes IPC  ?

• G11C 16/04 - Mémoires mortes programmables effaçables programmables électriquement utilisant des transistors à seuil variable, p.ex. FAMOS
• G11C 11/34 - Mémoires numériques caractérisées par l'utilisation d'éléments d'emmagasinage électriques ou magnétiques particuliers; Eléments d'emmagasinage correspondants utilisant des éléments électriques utilisant des dispositifs à semi-conducteurs
• G11C 16/06 - Circuits auxiliaires, p.ex. pour l'écriture dans la mémoire
• H01L 29/792 - Transistors à effet de champ l'effet de champ étant produit par une porte isolée à isolant de grille à emmagasinage de charges, p.ex. transistor de mémoire MNOS