Abrégé

An electrostatic chuck includes a pedestal plate, which has a heater plate, at least one heating layer embedded within the heater plate, a wafer plate, a bond layer disposed between the heater plate and the wafer plate, the bond layer configured to secure the heater plate to the wafer plate and to function as at least one electrode, a shaft secured to a lower surface of the heater plate, and a coating disposed around at least a portion of the periphery of the pedestal plate and at least a portion of the shaft. A resistance proximate an upper portion of the wafer plate is operationally different than a resistance proximate the at least one heating layer so as to affect at least one of chucking time, de-chucking time, and chucking force.

Classes IPC  ?

• H10P 72/72 -
• H10P 72/00 -
• H10P 72/76 -

Abrégé

A method includes measuring a temperature of a resistive element of a heater, determining an adjusted temperature of the heater based on the temperature and an operational resistance-temperature (R-T) curve that is based on a Curie temperature of the resistive element, and controlling a power output of the heater based on the adjusted temperature of the heater.

Classes IPC  ?

• G01K 7/18 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs l'élément étant une résistance linéaire, p. ex. un thermomètre à résistance de platine
• G01K 7/16 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs
• G01K 19/00 - Test ou étalonnage des calorimètres

Abrégé

An electric heater system includes an inlet, an outlet, a plurality of heat exchanger assemblies, and one or more connectors. Each heat exchanger assembly includes a vessel, at least one heating element disposed within the vessel, and a fluid guide member. The connectors secure the vessels of the plurality of heat exchanger assemblies to each other. The connectors are also in fluid communication with the vessels. Fluid entering the inlet flows through the heat exchanger assemblies and through one or more connectors where it exits the outlet. The heat exchanger assemblies are of different combinations to generate a predetermined pressure drop between the inlet and the outlet.

Classes IPC  ?

• F24H 9/00 - APPAREILS DE CHAUFFAGE DE FLUIDES, p. ex. DE L'AIR OU DE L'EAU, COMPORTANT DES MOYENS DE PRODUCTION DE CHALEUR, p. ex. DES POMPES À CHALEUR, EN GÉNÉRAL Parties constitutives
• F24H 3/04 - Appareils de chauffage d'air à circulation forcée l'air étant en contact direct avec l'agent chauffant, p. ex. élément chauffant électrique
• F28D 7/16 - Appareils échangeurs de chaleur comportant des ensembles de canalisations tubulaires fixes pour les deux sources de potentiel calorifique, ces sources étant en contact chacune avec un côté de la paroi d'une canalisation les canalisations étant espacées parallèlement

Abrégé

A fluid sensor system detects one or more performance characteristics of a heating system that heats a fluid. The sensor system includes a probe having a finite length a portion of which is to be immersed in the fluid. The probe includes a resistive heating element and a fluid temperature sensor for measuring one or more performance characteristics, wherein the fluid temperature sensor is configured to measure a fluid temperature, and the resistive heating element is operable as a heater to create a temperature differential between the fluid and air to detect the fluid, and as a sensor to measure a fluid level.

Classes IPC  ?

• G01F 23/24 - Indication ou mesure du niveau des liquides ou des matériaux solides fluents, p. ex. indication en fonction du volume ou indication au moyen d'un signal d'alarme en mesurant des variables physiques autres que les dimensions linéaires, la pression ou le poids, selon le niveau à mesurer, p. ex. par la différence de transfert de chaleur de vapeur ou d'eau en mesurant les variations de résistance de résistances électriques produites par contact avec des fluides conducteurs
• G01K 7/20 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs l'élément étant une résistance linéaire, p. ex. un thermomètre à résistance de platine dans un circuit spécialement adapté, p. ex. un circuit en pont

Abrégé

A method of detecting a leak-induced abnormal condition in a fluid line system comprising a heater may include monitoring a temperature characteristic of the fluid line system and an electrical characteristic of the heater, and determining the leak-induced abnormal condition is present within the fluid line system in response to the temperature characteristic indicating a temperature of the heater is greater than a threshold temperature and a value of the electrical characteristic of the heater is less than a threshold value.

Classes IPC  ?

• G01M 3/00 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide
• G01M 3/18 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des moyens de détection électrique pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des moyens de détection électrique pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des moyens de détection électrique pour soupapes
• G01M 3/28 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour raccords ou joints d'étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour soupapes

Abrégé

A heater assembly includes a pair of heating sections, each heating section including a conductive portion, and a coupling assembly. The coupling assembly includes a coupling enclosure having a housing and an end cap, the end cap secured to a distal end portion of the housing and defining an aperture extending therethrough. A coupling member is disposed inside the housing, and the conductive portions of the pair of heating sections are connected by the coupling member. A closure assembly is disposed within the housing and located between the coupling member and the end cap, the closure assembly defining at least one channel that is in fluid communication with the aperture of the end cap and configured to guide a fluid flowing therein toward an area where the end cap is secured to the housing.

Classes IPC  ?

• H05B 3/48 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes non flexibles le conducteur chauffant enrobé dans un matériau isolant
• H05B 3/04 - Joints étanches à l'eau ou à l'air pour appareils de chauffage
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports

Abrégé

A system includes a rectifier configured to rectify a line power having a line energy, a buck converter configured to generate a desired voltage output based on the rectified line power, and a bypass capacitor disposed between the rectifier and the buck converter, wherein the bypass capacitor is configured to bypass a switching energy of the buck converter to attenuate a plurality of pulses of the rectified line power that are not attenuated by the buck converter, and wherein the plurality of pulses correspond to harmonics of the rectified line power.

Classes IPC  ?

• G01R 19/22 - Dispositions pour procéder aux mesures de courant ou de tension ou pour en indiquer l'existence ou le signe utilisant la conversion d'un courant alternatif en courant continu
• F24D 11/02 - Systèmes de chauffage central utilisant la chaleur accumulée dans des matériaux accumulateurs utilisant des pompes de chaleur
• G01R 19/165 - Indication de ce qu'un courant ou une tension est, soit supérieur ou inférieur à une valeur prédéterminée, soit à l'intérieur ou à l'extérieur d'une plage de valeurs prédéterminée
• G01R 19/257 - Dispositions pour procéder aux mesures de courant ou de tension ou pour en indiquer l'existence ou le signe utilisant une méthode de mesure numérique utilisant des convertisseurs analogiques/numériques du type effectuant la comparaison de différentes valeurs de référence avec la valeur de la tension ou du courant, p. ex. utilisant une méthode par approximations successives
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H10P 72/00 -

Abrégé

A power control system may include a housing having a plurality of panel walls, a central interconnect system within the housing, a plurality of inputs arranged along the housing, and a plurality of power control modules, where each power control module includes: a power control device configured to receive power and data communication from the plurality of inputs, a sensing device coupled to the power control device to sense one or more operating conditions; and a connector configured to extend through one panel wall of the plurality of panel walls when coupled to the central interconnect system and configured to couple to one or more connections of a heater controller, wherein the connector is accessible from an exterior of the housing; and a controller configured to control power output by the connector based on the one or more sensed operating conditions of the plurality of power control modules.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05K 7/20 - Modifications en vue de faciliter la réfrigération, l'aération ou le chauffage

Abrégé

A control system for controlling a heater includes a controller configured to select a state model control, as an operation state of the heater, from among a plurality of state model controls, wherein each of the plurality of state model controls comprises one or more operation settings for controlling the heater for the respective state model control, the one or more operation settings comprises a transition condition that causes a transition from the operational state to one other state model control. The controller is configured to control a power supplied to the heater based on the operation state of the heater and a measured electrical characteristic of the heater, wherein the measured electrical characteristic includes at least one of an electric current and a voltage.

Classes IPC  ?

• G01R 19/22 - Dispositions pour procéder aux mesures de courant ou de tension ou pour en indiquer l'existence ou le signe utilisant la conversion d'un courant alternatif en courant continu
• F24D 11/02 - Systèmes de chauffage central utilisant la chaleur accumulée dans des matériaux accumulateurs utilisant des pompes de chaleur
• G01R 19/165 - Indication de ce qu'un courant ou une tension est, soit supérieur ou inférieur à une valeur prédéterminée, soit à l'intérieur ou à l'extérieur d'une plage de valeurs prédéterminée
• G01R 19/257 - Dispositions pour procéder aux mesures de courant ou de tension ou pour en indiquer l'existence ou le signe utilisant une méthode de mesure numérique utilisant des convertisseurs analogiques/numériques du type effectuant la comparaison de différentes valeurs de référence avec la valeur de la tension ou du courant, p. ex. utilisant une méthode par approximations successives
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H10P 72/00 -

Abrégé

In various forms, methods and systems are provided for measuring a thermal performance of a thermal component. A method includes: providing a plurality of sensors coupled between one or more intermediate wires; providing at least two lead wires coupled to the plurality of sensors; receiving, by a control module, sensor data from the at least two lead wires; determining, by the control module, a resistance associated with each of the plurality of sensors based on the sensor data from the at least two lead wires; determining, by the control module, a temperature at each of the plurality of sensors based on the respective resistance; and generating, by the control module, temperature data of the thermal component based on the temperature at each of the plurality of sensors.

Classes IPC  ?

• G01K 1/02 - Moyens d’indication ou d’enregistrement spécialement adaptés aux thermomètres
• G01K 7/16 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs
• G01M 99/00 - Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
• G06N 20/00 - Apprentissage automatique

Abrégé

A termination assembly for a heater assembly includes a plurality of resistive heaters arranged in discrete power phases, each resistive heater comprising a resistive heating element surrounded by dielectric material and a sheath. The termination assembly includes a plurality of electrically nonconductive members. Each electrically nonconductive member includes a plurality of apertures configured to receive power pins of the plurality of resistive heaters. The termination assembly includes a plurality of connectors configured to connect the power pins to the electrically nonconductive members. The termination assembly includes an electrical circuit embedded in or disposed on at least one of the plurality of electrically nonconductive members.

Classes IPC  ?

• F24H 1/10 - Chauffe-eau instantanés, c.-à-d. dans lesquels il n'y a production de chaleur que lorsque l'eau s'écoule, p. ex. avec contact direct de l'eau avec l'agent chauffant
• F24H 3/04 - Appareils de chauffage d'air à circulation forcée l'air étant en contact direct avec l'agent chauffant, p. ex. élément chauffant électrique
• F24H 9/1818 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• F24H 9/1863 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• F24H 15/407 - Commande des appareils de chauffage de fluides caractérisée par le type des unités de commande utilisant une commutation électrique, p. ex. triac
• H01R 13/44 - Moyens pour empêcher l'accès aux contacts actifs
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
• H05B 3/42 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes non flexibles

Abrégé

A heater core assembly includes a flexible core and at least one resistive heating element. The flexible core includes of a plurality of continuous fused fiber filaments. The plurality of continuous fused fiber filaments are twisted together along a length of the flexible core. The at least one resistive heating element is wound around the flexible core along the length and extends into the plurality of continuous fused fiber filaments such that at least a portion of the plurality of continuous fused fiber filaments are plastically deformed.

Classes IPC  ?

• H05B 3/56 - Câbles chauffants
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique

Abrégé

A heater assembly includes an insulative core, at least one resistive heating element wound around the insulative core along a length of the insulative core, an inner layer of dielectric medium surrounding the at least one resistive heating element and the insulative core, and insulation members arranged longitudinally along the heater assembly and surrounding the inner layer of dielectric medium. The inner insulation members defining a respective inner gap between adjacent inner insulation members. At least one coupling is disposed within at least one of the respective inner gaps between the adjacent inner insulation members, and corresponding outer insulation members are arranged longitudinally along the heater assembly and surround the inner insulation members. The corresponding outer insulation members define a respective outer gap between adjacent outer insulation members, and a portion of the at least one coupling extends within the respective outer gap between the adjacent outer insulation members.

Classes IPC  ?

• H05B 6/46 - Chauffage diélectrique
• H01B 3/08 - Isolateurs ou corps isolants caractérisés par le matériau isolantEmploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés isolantes ou diélectriques composés principalement de substances inorganiques quartzIsolateurs ou corps isolants caractérisés par le matériau isolantEmploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés isolantes ou diélectriques composés principalement de substances inorganiques verreIsolateurs ou corps isolants caractérisés par le matériau isolantEmploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés isolantes ou diélectriques composés principalement de substances inorganiques laine de verreIsolateurs ou corps isolants caractérisés par le matériau isolantEmploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés isolantes ou diélectriques composés principalement de substances inorganiques laine de laitierIsolateurs ou corps isolants caractérisés par le matériau isolantEmploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés isolantes ou diélectriques composés principalement de substances inorganiques émaux vitreux
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
• H05B 3/42 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes non flexibles
• H05B 3/14 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur caractérisés par la composition ou la nature du matériau conducteur le matériau étant non métallique

Produits et services

Power controllers for the electrical systems of commercial and industrial heaters.

Abrégé

A cloth heater is formed by a three-dimensional (3D) knitting machine. The cloth heater includes an outer layer, an inner layer, and a carrier layer disposed between the inner layer and the outer layer. The carrier layer includes a carrier substrate and a resistive heating element sewn to the carrier substrate in a pattern by the 3D knitting machine. An insulation layer is disposed between the outer layer and the carrier layer, and the outer layer and the inner carrier layer are formed by the 3D knitting machine.

Classes IPC  ?

• H05B 3/34 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes flexibles, p. ex. grillages ou tissus chauffants
• H05B 3/02 - Chauffage par résistance ohmique Détails
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage

Abrégé

A monolithic heated 3D body includes a thin-walled substrate defining a complex curved exterior surface, and a layered heater applied to the complex curved exterior surface of the thin-walled substrate. The layered heater includes at least one resistive heating layer, a set of termination pads in electrical contact with the at least one resistive heating layer, and a dielectric layer disposed over the at least one resistive heating layer.

Classes IPC  ?

• H05B 3/18 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur le conducteur étant enrobé dans un matériau isolant

Abrégé

A system is provided, which includes a heating apparatus, a plurality of sensing elements, and a control system. The heating apparatus includes a plurality of heaters that define a plurality of heating zones. Each sensing element is provided at a predetermined heating zone from among the plurality of heating zones and is configured to detect data indicative of an operating characteristic of the predetermined heating zone. The control system includes a buildup detection module configured to determine whether a potential material buildup exists within at least one of the plurality of heating zones based on the data from the plurality of sensing elements.

Classes IPC  ?

• F28F 27/00 - Commandes ou dispositifs de sécurité spécialement adaptés pour les appareils d'échange ou de transfert de chaleur
• F28F 19/00 - Prévention de la formation de dépôts ou de la corrosion, p. ex. en utilisant des filtres
• F28G 15/00 - NETTOYAGE DES SURFACES INTERNES OU EXTERNES DES CONDUITS DES ÉCHANGEURS DE CHALEUR OU DE TRANSFERT DE CHALEUR, p. ex. TUBES D'EAU DE CHAUDIÈRES Parties constitutives

Abrégé

A method for monitoring a surface characteristic of a heater provided in a fluid flow conduit of a fluid flow system includes obtaining sensor data from one or more sensors of the fluid flow system, and generating simulation data based on one or more inputs, a mathematical model of the fluid flow system, and the sensor data. The method further includes training a machine learning model based on the sensor data and determining whether the machine learning model satisfies one or more model conditions based on the simulation data. The method also includes predicting, in response to the machine learning model satisfying the one or more model conditions, the surface characteristic of the heater at a plurality of locations of the heater based on the machine learning model, wherein the plurality of locations includes an undetectable location of the heater.

Classes IPC  ?

• G05B 23/02 - Test ou contrôle électrique
• G06N 20/00 - Apprentissage automatique
• G06F 30/28 - Optimisation, vérification ou simulation de l’objet conçu utilisant la dynamique des fluides, p. ex. les équations de Navier-Stokes ou la dynamique des fluides numérique [DFN]
• G06F 30/27 - Optimisation, vérification ou simulation de l’objet conçu utilisant l’apprentissage automatique, p. ex. l’intelligence artificielle, les réseaux neuronaux, les machines à support de vecteur [MSV] ou l’apprentissage d’un modèle

Abrégé

A method of monitoring a surface condition of a component in a thermal system includes heating the component to a steady-state, introducing a thermal disturbance to the component, determining a thermal response of at least one of the component, another system component, or the thermal system response in response to the thermal disturbance, and predicting the surface condition of the component based on a comparison between the thermal response and a reference response.

Classes IPC  ?

• G01N 25/48 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens thermiques en recherchant la production de quantités de chaleur, c.-à-d. la calorimétrie, p. ex. en mesurant la chaleur spécifique, en mesurant la conductivité thermique sur une solution, sorption ou réaction chimique n'impliquant pas une oxydation par combustion ou catalyse

Abrégé

A mounting structure includes a connector with a central bore accommodating a sensor assembly, an adaptor fitting for system component connection, and a radio frequency (RF) shielding member affixed to the connector. The RF shielding member surrounds the sensor assembly, making contact with its outer surface at multiple discrete locations. This configuration effectively shields the sensor assembly from RF interference, providing more accurate and reliable sensor operation within an environment.

Classes IPC  ?

• G01K 1/08 - Dispositifs de protection, p. ex. étuis
• G01K 1/14 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers
• G01K 7/02 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments thermo-électriques, p. ex. des thermocouples
• G01K 7/16 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs

Abrégé

A sensor assembly for use with an insulation jacket includes a resilient mounting bracket, a sensor, and a set of sensor wires. The resilient mounting bracket has an upper leg, a lower leg, and a sidewall joining the upper leg to the lower leg, and a receiving space is defined between the upper leg and the lower leg to receive the insulation jacket. The sensor is mounted to an interior surface of the lower leg, and the sensor wires are coupled to the sensor. In routing, the sensor wires extend along the upper leg, along the sidewall, and along the lower leg.

Classes IPC  ?

• G01D 11/30 - Supports spécialement adaptés à un instrumentSupports spécialement adaptés à un ensemble d'instruments
• G01K 1/14 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers
• G01K 13/02 - Thermomètres spécialement adaptés à des fins spécifiques pour mesurer la température de fluides en mouvement ou de matériaux granulaires capables de s'écouler

Abrégé

An electrostatic chuck (ESC) for use in semiconductor processing includes a main body comprising an upper mounting surface, the upper mounting surface defining a surface profile and a guide plate coupled to the upper mounting surface of the main body. The guide plate includes a lower mounting surface. The lower mounting surface defines a surface profile that follows the surface profile of the upper mounting surface of the main body. The ESC further includes a heater embedded within the main body and a radio frequency (RF) electrode embedded within the guide plate. The main body is coupled to the guide plate via a connection consisting of a mechanical interlock.

Classes IPC  ?

• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension

Abrégé

Methods and systems for controlling a heater, for example within a semiconductor etch operation, include generating first control signals to the heater based on setpoint temperature data; storing, in a data storage device, sample data associated with the first control signals generated over a time period; computing, by a processor, at least one signal adjustment value based on the sample data; applying, by the processor, the at least one signal adjustment value to subsequent control signals to provide adjusted control signals; and generating the adjusted control signals to the heater.

Classes IPC  ?

• G05D 23/30 - Commandes automatiques avec un dispositif de chauffage auxiliaire affectant l'élément sensible, p. ex. pour prévoir les variations de température
• G05B 11/42 - Commandes automatiques électriques avec les dispositions nécessaires pour obtenir des caractéristiques particulières, p. ex. proportionnelles, intégrales, différentielles pour obtenir une caractéristique à la fois proportionnelle et dépendante du temps, p. ex. P.I., P.I.D.
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

In various forms, methods and systems are provided for evaluating the performance of a heater component. A method includes: controlling power to the heater component; receiving sensor data measured, by a sensor, of a heater component while the power is controlled to the heater; generating first thermal image data of the heater component based on the sensor data; determining a power distribution of the heater component based on a first model of the heater component and the first thermal image data; computing second thermal image data of the heater component based on a second model of at least one of the heater component and an assembly comprising the heater component, and the power distribution; and evaluating a performance of the heater component based on the second thermal image data.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

A component for use in controlled atmosphere chambers, such as a shaft of a pedestal in a semiconductor processing chamber, includes an outer wall and a thermally structured infill pattern of radial walls extending from the outer wall radially inward. A hollow internal bore is formed within and along a length of the component. The component may be formed using an additive manufacturing process such that complex geometries can be created to reduce thermal losses during operation.

Classes IPC  ?

• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

A bonded assembly includes a first component, a second component, and a bond layer joining the first component to the second component. The bond layer includes a bonding composition that has a silicone elastomer and expandable graphite (EG) powder uniformly dispersed throughout the silicone elastomer. The EG powder is in an amount of about 1.0 to about 5.0 wt.% of the bonding composition and has an average particle size of about 400 μm.

Classes IPC  ?

• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• C09J 183/04 - Polysiloxanes
• C09J 11/04 - Additifs non macromoléculaires inorganiques
• C08K 3/04 - Carbone

Classes IPC  ?

• F24H 1/10 - Chauffe-eau instantanés, c.-à-d. dans lesquels il n'y a production de chaleur que lorsque l'eau s'écoule, p. ex. avec contact direct de l'eau avec l'agent chauffant
• F24H 9/1818 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• F28F 1/42 - Éléments tubulaires ou leurs ensembles avec moyens pour augmenter la surface de transfert de chaleur, p. ex. avec des ailettes, avec des saillies, avec des évidements les moyens étant à la fois à l'extérieur et à l'intérieur de l'élément tubulaire
• F28F 9/013 - Supports auxiliaires pour les éléments pour les tubes ou les assemblages de tubes
• F28F 9/24 - Dispositions pour favoriser un écoulement turbulent des sources de potentiel calorifique, p. ex. par des plaques
• F28F 13/12 - Dispositions pour modifier le transfert de chaleur, p. ex. accroissement, diminution en affectant le mode d'écoulement des sources de potentiel calorifique en créant une turbulence, p. ex. par brassage, par augmentation de la force de circulation

Classes IPC  ?

• F24H 1/10 - Chauffe-eau instantanés, c.-à-d. dans lesquels il n'y a production de chaleur que lorsque l'eau s'écoule, p. ex. avec contact direct de l'eau avec l'agent chauffant
• F24H 3/04 - Appareils de chauffage d'air à circulation forcée l'air étant en contact direct avec l'agent chauffant, p. ex. élément chauffant électrique
• F24H 9/00 - APPAREILS DE CHAUFFAGE DE FLUIDES, p. ex. DE L'AIR OU DE L'EAU, COMPORTANT DES MOYENS DE PRODUCTION DE CHALEUR, p. ex. DES POMPES À CHALEUR, EN GÉNÉRAL Parties constitutives
• F28F 9/24 - Dispositions pour favoriser un écoulement turbulent des sources de potentiel calorifique, p. ex. par des plaques
• F28F 13/06 - Dispositions pour modifier le transfert de chaleur, p. ex. accroissement, diminution en affectant le mode d'écoulement des sources de potentiel calorifique
• F28F 13/12 - Dispositions pour modifier le transfert de chaleur, p. ex. accroissement, diminution en affectant le mode d'écoulement des sources de potentiel calorifique en créant une turbulence, p. ex. par brassage, par augmentation de la force de circulation

Abrégé

A power converter system includes a full-bridge isolating converter comprising a transformer, and a power controller configured to: operate the full-bridge isolating converter to generate an isolated output voltage, determine whether the transformer is operating in a flux walk state based on an electric current flowing through a primary winding of the transformer being greater than or equal to a flux current threshold, and generate instructions to adjust an input voltage applied to a plurality of heating elements of the heater in response to the transformer operating in the flux walk state.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• G01R 19/165 - Indication de ce qu'un courant ou une tension est, soit supérieur ou inférieur à une valeur prédéterminée, soit à l'intérieur ou à l'extérieur d'une plage de valeurs prédéterminée
• H02M 1/00 - Détails d'appareils pour transformation
• H02M 1/44 - Circuits ou dispositions pour corriger les interférences électromagnétiques dans les convertisseurs ou les onduleurs
• H02M 3/335 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant continu en une puissance de sortie en courant continu avec transformation intermédiaire en courant alternatif par convertisseurs statiques utilisant des tubes à décharge avec électrode de commande ou des dispositifs à semi-conducteurs avec électrodes de commande pour produire le courant alternatif intermédiaire utilisant des dispositifs du type triode ou transistor exigeant l'application continue d'un signal de commande utilisant uniquement des dispositifs à semi-conducteurs
• H02M 7/219 - Transformation d'une puissance d'entrée en courant alternatif en une puissance de sortie en courant continu sans possibilité de réversibilité par convertisseurs statiques utilisant des tubes à décharge avec électrode de commande ou des dispositifs à semi-conducteurs avec électrode de commande utilisant des dispositifs du type triode ou transistor exigeant l'application continue d'un signal de commande utilisant uniquement des dispositifs à semi-conducteurs dans une configuration en pont
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique

Abrégé

Systems and methods are provided for controlling power to a load. In one form a system includes: a digital communication bus; a main controller communicatively coupled to the digital communication bus; and a plurality of thyristor-based drivers configured to control power to a respective load, each thyristor-based driver communicatively coupled to the digital communication bus, wherein each of the thyristor-based drivers is configured to communicate digital messages at least one of to and from the main controller via the digital communications bus, wherein the digital messages include sampling data or firing order data.

Classes IPC  ?

• H04L 12/40 - Réseaux à ligne bus
• H02P 7/18 - Dispositions pour réguler ou commander la vitesse ou le couple de moteurs électriques à courant continu pour réguler ou commander individuellement un moteur dynamo-électrique à courant continu en faisant varier le champ ou le courant d'induit par commande maîtresse avec puissance auxiliaire
• H02P 7/03 - Dispositions pour réguler ou commander la vitesse ou le couple de moteurs électriques à courant continu pour commander le sens de rotation des moteurs à courant continu
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H03M 1/12 - Convertisseurs analogiques/numériques

Abrégé

A control system includes a controller that is configured to determine a differential current of a heater based on a difference between a power conductor current of the heater and a neutral conductor current of the heater, determine whether the differential current of the heater is greater than a threshold differential current, and selectively perform a corrective action in response to the differential current being greater than the threshold differential current.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique

Abrégé

Methods, processes, and systems for monitoring a resistive element and determining temperature are provided. A method includes: dividing the resistive element into n-number of segments and a sensor segment; measuring, by a sensing unit, total resistance data of the resistive element; measuring, by the sensing unit, temperature data of the sensor segment; computing, by a processor, resistance data of the sensor segment based on the temperature data to generate sensor segment resistance data; computing, by the processor, temperature distribution data for each of the n-number of segments based on the total resistance data, the sensor segment resistance data, and the temperature data; and generating, by the processor, output data based on the temperature distribution data for each of the n-number of segments.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 3/12 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur caractérisés par la composition ou la nature du matériau conducteur
• G01K 1/02 - Moyens d’indication ou d’enregistrement spécialement adaptés aux thermomètres

Abrégé

A temperature detector probe that includes a housing, a pair of electrical connectors, a support cap, and a sensor. The housing defines a bore longitudinally extending through the housing, and the pair of electrical connectors extend through the bore. The support cap is disposed at a first end portion of the housing. The sensor is provided on the support cap and is electrically coupled to the pair of electrical connectors. The support cap is positioned between the pair of electrical connectors and the support cap.

Classes IPC  ?

• G01K 7/02 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments thermo-électriques, p. ex. des thermocouples
• G01K 1/08 - Dispositifs de protection, p. ex. étuis
• G01K 1/14 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers
• G01K 1/143 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers pour la mesure de la température de surfaces
• G01K 1/16 - Dispositions particulières pour conduire la chaleur de l'objet à l'élément sensible

Abrégé

A method of controlling a temperature of a heater including a plurality of resistive heating elements that define a plurality of zones includes applying power to at least one resistive heating element of the plurality of resistive heating elements at a variable ramp rate to decrease the temperature of the heater to a temperature setpoint where the variable ramp rate is set to a desired ramp rate. The method further includes monitoring the temperature of the heater to detect at least one runaway condition and based on the detection of more than one of the at least one runaway condition, assigning a weighted value to a reduction amount associated with each of the at least one runaway condition. The method further includes adjusting the variable ramp rate from the desired ramp rate to a permitted ramp rate by the reduction amount.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• G01K 1/02 - Moyens d’indication ou d’enregistrement spécialement adaptés aux thermomètres
• G01K 3/00 - Thermomètres donnant une indication autre que la valeur instantanée de la température
• G01K 3/14 - Thermomètres donnant une indication autre que la valeur instantanée de la température fournissant des différences de valeursThermomètres donnant une indication autre que la valeur instantanée de la température fournissant des valeurs différenciées par rapport à l'espace
• G01R 19/165 - Indication de ce qu'un courant ou une tension est, soit supérieur ou inférieur à une valeur prédéterminée, soit à l'intérieur ou à l'extérieur d'une plage de valeurs prédéterminée
• G05D 23/19 - Commande de la température caractérisée par l'utilisation de moyens électriques
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H05B 3/22 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes non flexibles

Abrégé

A system for monitoring a surface condition of a component includes a controller including one or more processors configured to execute instructions stored in a nontransitory computer-readable medium. The instructions include controlling a heater to provide thermal energy to the component, determining a thermal response of the component based on the thermal energy, determining a thermal characteristic of the component based on a reference thermal response and the thermal response, and predicting the surface condition of the component based on the thermal characteristic and a predictive analytic model, where the predictive analytic model correlates the thermal characteristic of the component to an estimated surface condition of the component.

Classes IPC  ?

• C23C 16/44 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement
• G01N 25/20 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens thermiques en recherchant la production de quantités de chaleur, c.-à-d. la calorimétrie, p. ex. en mesurant la chaleur spécifique, en mesurant la conductivité thermique
• G06Q 10/04 - Prévision ou optimisation spécialement adaptées à des fins administratives ou de gestion, p. ex. programmation linéaire ou "problème d’optimisation des stocks"
• G06Q 50/04 - Fabrication

Abrégé

A method for enhancing resistance measurements of a load includes determining a resistance difference based on an average resistance value associated with the load and a nominal resistance value associated with the load, and measuring a resistance of the load based on an offset correction value of a controller and one or more electrical characteristics of the load, where the offset correction value is based on the resistance difference, and the offset correction value includes a voltage offset correction value, a current offset correction value, or a combination thereof.

Classes IPC  ?

• G01R 35/00 - Test ou étalonnage des appareils couverts par les autres groupes de la présente sous-classe
• G01R 27/08 - Mesure de la résistance par mesure à la fois de la tension et de l'intensité

Abrégé

A method of detecting accumulation of material deposits within a fluid flow conduit includes providing, by a controller, an excitation signal to a heating element of the fluid flow conduit. The method includes obtaining, by the controller, thermodynamic data of the fluid flow conduit in response to providing the excitation signal, where the thermodynamic data includes heat flux data, diffusivity data, time data, temperature differential data, or a combination thereof. The method includes determining, by the controller, an amount of material deposits based on the thermodynamic data.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• G01N 15/06 - Recherche de la concentration des suspensions de particules
• G01N 25/18 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens thermiques en recherchant la conductivité thermique

Abrégé

A heat exchanger including resistive heaters, standoff conduits, and electrical conductors. Each resistive heater includes a heating element conduit and a resistive heating element. The heating element conduit includes fluid flowing therethrough. The resistive heating element is disposed within the heating element conduit. Each standoff conduit is disposed at an end of the heat exchanger opposite the resistive heater and is configured to provide thermal isolation and convective cooling from extreme process temperatures and be coupled to an electrical enclosure through means of an electrically isolating compression fitting feature, thereby accomplishing pressure boundary requirements and enabling easy field replacement of the element by end users. Each of the standoff conduits has an axial end that is fluidly sealed. Each electrical conductor extends through a respective standoff conduit and has a first end electrically coupled to a power supply and a second end electrically coupled to a respective resistive heater.

Classes IPC  ?

• F24H 1/10 - Chauffe-eau instantanés, c.-à-d. dans lesquels il n'y a production de chaleur que lorsque l'eau s'écoule, p. ex. avec contact direct de l'eau avec l'agent chauffant
• F24H 9/02 - EnveloppesCouvercles de protectionPanneaux décoratifs
• F24H 9/1818 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• F24H 9/20 - Disposition ou montage des dispositifs de commande ou de sécurité
• H05B 3/04 - Joints étanches à l'eau ou à l'air pour appareils de chauffage
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
• H05B 3/14 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur caractérisés par la composition ou la nature du matériau conducteur le matériau étant non métallique
• H05B 3/50 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes non flexibles le conducteur chauffant enrobé dans un matériau isolant le conducteur chauffant disposé dans des tubes métalliques, la surface rayonnante ayant des nervures conductrices de la chaleur

Abrégé

A heat exchanger including resistive heaters, standoff conduits, and electrical conductors. Each resistive heater includes a heating element conduit and a resistive heating element. The heating element conduit includes fluid flowing therethrough. The resistive heating element is disposed within the heating element conduit. Each standoff conduit is disposed at an end of the heat exchanger opposite the resistive heater and is configured to provide thermal isolation and convective cooling from extreme process temperatures and be coupled to an electrical enclosure through means of an electrically isolating compression fitting feature, thereby accomplishing pressure boundary requirements and enabling easy field replacement of the element by end users. Each of the standoff conduits has an axial end that is fluidly sealed. Each electrical conductor extends through a respective standoff conduit and has a first end electrically coupled to a power supply and a second end electrically coupled to a respective resistive heater.

Classes IPC  ?

• F24H 9/1818 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• F24H 9/20 - Disposition ou montage des dispositifs de commande ou de sécurité
• F24H 1/10 - Chauffe-eau instantanés, c.-à-d. dans lesquels il n'y a production de chaleur que lorsque l'eau s'écoule, p. ex. avec contact direct de l'eau avec l'agent chauffant
• F24H 9/02 - EnveloppesCouvercles de protectionPanneaux décoratifs
• H05B 3/04 - Joints étanches à l'eau ou à l'air pour appareils de chauffage
• H05B 3/50 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes non flexibles le conducteur chauffant enrobé dans un matériau isolant le conducteur chauffant disposé dans des tubes métalliques, la surface rayonnante ayant des nervures conductrices de la chaleur
• H05B 3/14 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur caractérisés par la composition ou la nature du matériau conducteur le matériau étant non métallique
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports

Abrégé

A converted gas-fired furnace includes at least one lower radiant heating zone, an upper convective heating zone, electric ceramic fiber heaters, and duct heaters. The lower radiant heating zone includes a plurality of lower tubes configured to carry a fluid to be heated. The upper convective heating zone includes a plurality of upper tubes configured to carry the fluid to be heated. The electric ceramic fiber heaters are disposed within the lower radiant heating zone and are configured to heat the fluid in the lower tubes. The duct heaters are configured to heat the fluid in the upper tubes.

Classes IPC  ?

• F27D 99/00 - Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
• C10G 9/24 - Craquage thermique non catalytique, en l'absence d'hydrogène, des huiles d'hydrocarbures par chauffage électrique

Abrégé

A converted gas-fired furnace includes at least one lower radiant heating zone, an upper convective heating zone, electric ceramic fiber heaters, and duct heaters. The lower radiant heating zone includes a plurality of lower tubes configured to carry a fluid to be heated. The upper convective heating zone includes a plurality of upper tubes configured to carry the fluid to be heated. The electric ceramic fiber heaters are disposed within the lower radiant heating zone and are configured to heat the fluid in the lower tubes. The duct heaters are configured to heat the fluid in the upper tubes.

Classes IPC  ?

• C10G 9/24 - Craquage thermique non catalytique, en l'absence d'hydrogène, des huiles d'hydrocarbures par chauffage électrique
• F27D 99/00 - Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe

Abrégé

An electrical termination assembly includes a ceramic insert defining a plurality of bores and a plurality of liners disposed within each of the plurality of bores. Each liner has a blind bore and a distal end face, the distal end face being exposed through the respective bore of the ceramic insert. A plurality of termination pins are secured within each of the blind bores of the plurality of liners, and the plurality of liners are made of a ceramic material having a coefficient of thermal expansion (CTE) between a CTE of the ceramic insert and a CTE of the termination pins.

Classes IPC  ?

• H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse

Abrégé

In one form, an electrical termination assembly includes a first ceramic member, a second ceramic member secured to the first ceramic member, and at least one electrical component embedded between the first ceramic member and the second ceramic member. An electrical termination extends through a bore and into a recess of the first and second ceramic members and is in electrical contact with the electrical component. The electrical termination includes a rod disposed within the bore and a flange disposed within the recess. At least one interface member is disposed between the flange and the recess. The electrical termination and the interface member each define different materials having tailored coefficients of thermal expansion such that when the rod is in tension the first ceramic member and the second ceramic member are in compression.

Classes IPC  ?

• H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension

Abrégé

An electrical termination assembly includes a first disk having a central recess, a second disk spaced apart from the first disk, the second disk having a central opening, a plurality of connector pins in electrical contact with and extending between the first disk and the second disk, and a termination pin extending through the central opening of the second disk and into the central recess of the first disk. The termination pin is electrically connected to the first disk and the second disk.

Classes IPC  ?

• H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces

Produits et services

Power controllers for the electrical systems of commercial and industrial heaters

Abrégé

A beryllium aluminate ceramic material includes greater than 0 wt.% and up to 10 wt.% of at least one of an alkaline earth metal material, rare earth metal material, or combinations thereof, with a beryllium aluminum oxide remainder, and trace impurities. The ceramic material may include at least one of a beryllium oxide, aluminum oxide, aluminum nitride material, or combinations thereof. The ceramic material may include beryllium aluminate grains with a solid solution of at least one of the alkaline earth metal material, rare earth metal material, a boron material, a carbon material, a titanium material, a nitride material, a zirconium material, or combinations thereof.

Classes IPC  ?

• C04B 35/44 - Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur compositionCompositions céramiquesTraitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques à base d'oxydes à base d'aluminates

Abrégé

A tailored thermal body includes a substrate and a plurality of material regions extending throughout the substrate, the plurality of material regions having a variable thermal conductivity. At least one heating element is secured to the substrate. The substrate and the plurality of material regions are formed using at least one additive manufacturing process, and materials of the substrate and the plurality of material regions are chemically fused together.

Classes IPC  ?

• H05B 3/18 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur le conducteur étant enrobé dans un matériau isolant
• B33Y 80/00 - Produits obtenus par fabrication additive
• G01K 7/02 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments thermo-électriques, p. ex. des thermocouples
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports

Abrégé

A fluid flow sensor assembly for detecting material deposits in a fluid flow conduit includes a body and an array of pairs of temperature sensors disposed within the body, where each pair of temperature sensors is spaced a distance apart along a primary flow direction of the fluid flow conduit.

Classes IPC  ?

• G01F 1/88 - Débitmètres massiques indirects, p. ex. mesurant le débit volumétrique et la densité, la température ou la pression avec mesure de la différence de pression pour déterminer le débit volumétrique
• G01K 13/02 - Thermomètres spécialement adaptés à des fins spécifiques pour mesurer la température de fluides en mouvement ou de matériaux granulaires capables de s'écouler
• G01K 13/024 - Thermomètres spécialement adaptés à des fins spécifiques pour mesurer la température de fluides en mouvement ou de matériaux granulaires capables de s'écouler de gaz en mouvement
• G01N 17/00 - Recherche de la résistance des matériaux aux intempéries, à la corrosion ou à la lumière
• G01N 25/00 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens thermiques
• G01N 25/18 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens thermiques en recherchant la conductivité thermique
• G01N 25/72 - Recherche de la présence de criques

Abrégé

An interchangeable coupler for a heater system connects a plurality of resistive heating elements of the heater system to at least one busbar of the heater system. The interchangeable coupler includes a main body including an upper end portion, a lower end portion and an internal cavity extending from the upper end portion toward the lower end portion. The internal cavity defines a lower bore, and the lower end portion includes a plurality of flexible gripping members to deflect outward when a connection pin of a respective resistive heating element of the plurality of resistive heating elements is inserted into the lower bore. The main body includes at least one contact arm to be inserted through at least one slot of at least one aperture of the at least one busbar and rotated to abut a side of the at least one busbar.

Classes IPC  ?

• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports

Abrégé

A method for controlling temperature of a heater including a resistive heating element. The method includes applying power to the resistive heating element of the heater at a variable ramp rate to increase temperature of the heater to a desired temperature setpoint. The variable ramp rate is set to a desired ramp rate. The variable ramp rate varies based on a temperature change of the resistive heating element with respect to time, and a control system dynamically adjusts the variable ramp rate to define different rates of ramping the applied power. The method further includes monitoring an electric current flowing through the resistive heating element of the heater, and reducing the variable ramp rate from the desired ramp rate to a permitted ramp rate in response to the electric current being greater than a lower limit of an electric current limit band.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• G01K 1/02 - Moyens d’indication ou d’enregistrement spécialement adaptés aux thermomètres
• G01K 3/00 - Thermomètres donnant une indication autre que la valeur instantanée de la température
• G01K 3/14 - Thermomètres donnant une indication autre que la valeur instantanée de la température fournissant des différences de valeursThermomètres donnant une indication autre que la valeur instantanée de la température fournissant des valeurs différenciées par rapport à l'espace
• G01R 19/165 - Indication de ce qu'un courant ou une tension est, soit supérieur ou inférieur à une valeur prédéterminée, soit à l'intérieur ou à l'extérieur d'une plage de valeurs prédéterminée
• G05D 23/19 - Commande de la température caractérisée par l'utilisation de moyens électriques
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H05B 3/22 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes non flexibles

Abrégé

A method for enhancing resistance measurements of a load includes obtaining a plurality of sample resistance values of the load, determining an average resistance value based on the plurality of sample resistance values, determining a resistance difference based on the average resistance value and a nominal resistance value associated with the load, updating an offset correction value of a controller in response to the resistance difference being greater than a resistance tolerance, and measuring a resistance of the load based on the offset correction value and one or more electrical characteristics of the load.

Classes IPC  ?

• G01R 35/00 - Test ou étalonnage des appareils couverts par les autres groupes de la présente sous-classe
• G01R 27/08 - Mesure de la résistance par mesure à la fois de la tension et de l'intensité

Abrégé

A temperature sensing system to detect a temperature of a surface includes a sensor assembly and first and second lead wires. The sensor assembly includes a probe head and a temperature sensor disposed within the probe head. The first and second lead wires suspend the probe head such that the probe head abuts the surface. The first and second lead wires comprising different materials. The first and second lead wires are configured to provide multiple degrees of freedom of movement to the probe head and temperature measurements.

Classes IPC  ?

• G01K 1/143 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers pour la mesure de la température de surfaces
• G01K 7/02 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments thermo-électriques, p. ex. des thermocouples

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports

Abrégé

A hybrid shaft assembly for use in controlled atmosphere chambers, such as by way of example heated pedestals for semiconductor manufacturing, includes a substrate, a hub having an upper portion and a lower portion, the upper portion being secured to the substrate with an upper joining layer, and a shaft secured to the lower portion of the hub with a lower joining layer. The shaft comprises a material having a thermal conductivity lower than a material of the hub and a material of the substrate.

Classes IPC  ?

• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces

Abrégé

A heater assembly includes a pair of heating sections, each heating section including a conductive portion, and a coupling assembly. The coupling assembly includes a coupling enclosure having a housing and an end cap, the end cap secured to a distal end portion of the housing and defining an aperture extending therethrough. A coupling member is disposed inside the housing, and the conductive portions of the pair of heating sections are connected by the coupling member. A closure assembly is disposed within the housing and located between the coupling member and the end cap, the closure assembly defining at least one channel that is in fluid communication with the aperture of the end cap and configured to guide a fluid flowing therein toward an area where the end cap is secured to the housing.

Classes IPC  ?

• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage

Abrégé

A heater system for semiconductor processing includes a base, a plurality of gas processing components, and a heater. The plurality of gas processing components are secured to the base. The heater is disposed along a length of the base and between the base and the plurality of gas processing components. The heater is configured to provide heat to the plurality of gas processing components.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• G01K 7/04 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments thermo-électriques, p. ex. des thermocouples l'objet à mesurer ne formant pas l'un des matériaux thermo-électriques
• H05B 3/34 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes flexibles, p. ex. grillages ou tissus chauffants

Abrégé

A heater system includes an integrated heater device. The integrated heater device includes at least one multiportion resistive element having a first portion defined by a first conductive material and a second portion defined by a second conductive material having a lower temperature coefficient of resistance (TCR) than that of the first conductive material. The second portion is coupled to the first portion so as to extend along an axis, and the at least one multiportion resistive element is operable as a heater to generate heat and as a sensor.

Classes IPC  ?

• F24H 9/20 - Disposition ou montage des dispositifs de commande ou de sécurité
• A47J 37/12 - Friteuses, p. ex. pour la friture du poisson ou des frites
• F24H 15/104 - InspectionDiagnosticEssai
• F24H 15/20 - Commande des appareils de chauffage de fluides caractérisée par les entrées de commande
• F24H 15/254 - Température de la pièce
• F24H 15/37 - Commande de moyens de production de chaleur dans les appareils de chauffage d’appareils de chauffage électriques
• F24H 15/395 - Informations aux utilisateurs, p. ex. alarmes
• F24H 15/421 - Commande des appareils de chauffage de fluides caractérisée par le type des unités de commande utilisant un traitement électronique, p. ex. par ordinateur utilisant des données préenregistrées
• F24H 15/45 - Commande des appareils de chauffage de fluides caractérisée par le type des unités de commande utilisant un traitement électronique, p. ex. par ordinateur accessible à distance
• G01F 23/22 - Indication ou mesure du niveau des liquides ou des matériaux solides fluents, p. ex. indication en fonction du volume ou indication au moyen d'un signal d'alarme en mesurant des variables physiques autres que les dimensions linéaires, la pression ou le poids, selon le niveau à mesurer, p. ex. par la différence de transfert de chaleur de vapeur ou d'eau
• G01F 23/24 - Indication ou mesure du niveau des liquides ou des matériaux solides fluents, p. ex. indication en fonction du volume ou indication au moyen d'un signal d'alarme en mesurant des variables physiques autres que les dimensions linéaires, la pression ou le poids, selon le niveau à mesurer, p. ex. par la différence de transfert de chaleur de vapeur ou d'eau en mesurant les variations de résistance de résistances électriques produites par contact avec des fluides conducteurs
• G01K 13/00 - Thermomètres spécialement adaptés à des fins spécifiques
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 3/48 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes non flexibles le conducteur chauffant enrobé dans un matériau isolant
• H05B 3/80 - Éléments portatifs de chauffage par immersion

Abrégé

A method for joining ceramic pieces includes placing a layer of titanium on each of a first ceramic piece and a second ceramic piece; placing a layer of nickel on each of the layers of titanium; assembling the first ceramic piece and the second ceramic piece with the layers of nickel and the layers of titanium between the ceramic pieces; pressing the first ceramic piece and the second ceramic piece with the layers of nickel and the layers of titanium together; heating the first ceramic piece, the second ceramic piece, the layers of nickel, and the layers of titanium to a joining temperature in a vacuum; and cooling the first ceramic piece, the second ceramic piece, the layers of nickel, and the layers of titanium to create a hermetic seal between the first ceramic piece and the second ceramic piece.

Classes IPC  ?

• B23K 1/00 - Brasage ou débrasage
• B23K 1/008 - Brasage dans un four
• B23K 1/19 - Brasage ou débrasage tenant compte des propriétés des matériaux à braser
• B23K 35/28 - Emploi de matériaux spécifiés pour le soudage ou le brasage dont le principal constituant fond à moins de 950 C
• B23K 103/00 - Matières à braser, souder ou découper
• B32B 9/00 - Produits stratifiés composés essentiellement d'une substance particulière non couverte par les groupes
• C04B 35/581 - Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur compositionCompositions céramiquesTraitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques à base de non oxydes à base de borures, nitrures ou siliciures à base de nitrure d'aluminium
• C04B 37/00 - Liaison des articles céramiques cuits avec d'autres articles céramiques cuits ou d'autres articles, par chauffage
• C04B 37/02 - Liaison des articles céramiques cuits avec d'autres articles céramiques cuits ou d'autres articles, par chauffage avec des articles métalliques
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces

Abrégé

A method for monitoring a semiconductor processing system including a gas delivery system, a thermal system, and a fluid flow line includes obtaining a plurality of operational data from the gas delivery system, the thermal system, or a combination thereof and determining a performance characteristic of the fluid flow line based on one or more operational data of the plurality of operational data. The method includes identifying one or more locations associated with the one or more operational data in a reference virtual model and generating a dynamic state model of the fluid flow line based on the reference virtual model, the one or more identified locations, and the determined performance characteristic, where the dynamic state model is a digital representation of the fluid flow line.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

A standoff assembly for use in terminating a plurality of resistive heaters disposed within a fluid vessel includes a pressure adapter plate, an electrical enclosure adapter plate, and a plurality of conduits. The electrical enclosure adapter plate is spaced apart from the pressure adapter plate to define a dry volume therebetween. The conduits are secured to the pressure adapter plate and the electrical enclosure adapter plate. Each conduit is aligned concentrically with each of the resistive heating elements.

Classes IPC  ?

• F24H 1/10 - Chauffe-eau instantanés, c.-à-d. dans lesquels il n'y a production de chaleur que lorsque l'eau s'écoule, p. ex. avec contact direct de l'eau avec l'agent chauffant
• H05B 3/82 - Éléments de chauffage par immersion montés d'une manière fixe

Abrégé

A method of controlling a thermal system of an industrial process includes monitoring intermediate data, associating the intermediate data with correlation data, wherein the correlation data includes an internal process control input, an external heater control input, the output control, or a combination thereof. The method further includes generating a model that defines a relationship between the intermediate data and the correlation data, identifying a state of the heater system based on the model, and selectively performing a corrective action based on the identified state of the heater system.

Classes IPC  ?

• G05B 19/4155 - Commande numérique [CN], c.-à-d. machines fonctionnant automatiquement, en particulier machines-outils, p. ex. dans un milieu de fabrication industriel, afin d'effectuer un positionnement, un mouvement ou des actions coordonnées au moyen de données d'un programme sous forme numérique caractérisée par le déroulement du programme, c.-à-d. le déroulement d'un programme de pièce ou le déroulement d'une fonction machine, p. ex. choix d'un programme
• G05B 11/42 - Commandes automatiques électriques avec les dispositions nécessaires pour obtenir des caractéristiques particulières, p. ex. proportionnelles, intégrales, différentielles pour obtenir une caractéristique à la fois proportionnelle et dépendante du temps, p. ex. P.I., P.I.D.
• G05B 17/00 - Systèmes impliquant l'usage de modèles ou de simulateurs desdits systèmes
• G05D 23/19 - Commande de la température caractérisée par l'utilisation de moyens électriques

Produits et services

Heaters, namely, open coil resistance heaters.

Abrégé

A terminal assembly for a heater system includes a plurality of resistive heating elements arranged in multiple power phases includes a plurality of power busbars, a neutral busbar, and a plurality of interchangeable couplers. Each power busbar corresponds to a power phase of the multiple power phases and is configured to connect a power lead from one of the multiple power phases and a first end of a plurality of resistive heating elements. The resistive heating elements are in electrical communication with the power lead. The neutral busbar is offset longitudinally from the power busbars and configured to receive a second end of the resistive heating elements. The interchangeable couplers are configured to connect at least a subset of the resistive heating elements to at least one power busbar or at least one neutral busbar.

Classes IPC  ?

• H05B 3/26 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes non flexibles le conducteur chauffant monté sur une base isolante
• H05B 3/08 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports ayant des connexions électriques adaptées spécialement aux températures élevées

Abrégé

A heater assembly includes a substrate with resistive heating elements positioned along its perimeter for azimuthal temperature control. The heater assembly includes electrical leads connected to the heating elements, with a first portion running along the substrate's perimeter and a second portion extending to the central area. The plurality of resistive heating elements are independently controllable to provide azimuthal temperature control of the heater assembly.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces

Abrégé

A layered assembly for use in a controlled atmosphere chamber includes a plurality of substrates and an electrically functioning layer embedded between two adjacent substrates of the plurality of substrates, the electrically functioning layer being a material configured to secure the two adjacent substrates together using a solid-state bonding process. An electrical termination area is integral with the electrically functioning layer, and a peripheral sealing band is embedded between and extends around a periphery of internal faces of the two adjacent substrates, the peripheral sealing band being a material configured to secure and seal the two adjacent substrates together using the solid-state bonding process. Dielectric regions are present between the two adjacent substrates and between edge boundaries of the electrically functioning layer, the dielectric regions being sealed between the two adjacent substrates by the peripheral sealing band.

Classes IPC  ?

• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• B32B 18/00 - Produits stratifiés composés essentiellement de céramiques, p. ex. de produits réfractaires
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension

Abrégé

A thermal system includes a two-wire heater and a power switch. The power switch is to provide power to the two-wire heater from a power source based on a control signal. The thermal system includes a controller having a sensor circuit configured to measure an electrical characteristic of the two-wire heater. The controller is to calculate a temperature of the thermal system based on a change in the measured electrical characteristic and determine whether the temperature is greater than a temperature setpoint. The controller is to output the control signal based on the determination.

Classes IPC  ?

• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• G05D 23/24 - Commande de la température caractérisée par l'utilisation de moyens électriques avec un élément sensible présentant une variation de ses propriétés électriques ou magnétiques avec les changements de température l'élément sensible ayant une résistance variant avec la température, p. ex. une thermistance
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage

Abrégé

Disclosed is a method for controlling a heater assembly by detecting variations in multiple heating zones based on temperature decay rates or resistance characteristics of each zone. A calibration procedure is executed to mitigate the identified variations in the heating zones, ensuring uniform heating performance across the heater assembly.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/22 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes non flexibles

Abrégé

A monolithic heated 3D body includes a thin-walled substrate defining a complex curved exterior surface, and a layered heater applied to the complex curved exterior surface of the thin-walled substrate. The layered heater includes at least one resistive heating layer, a set of termination pads in electrical contact with the at least one resistive heating layer, and a dielectric layer disposed over the at least one resistive heating layer.

Classes IPC  ?

• H05B 3/26 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes non flexibles le conducteur chauffant monté sur une base isolante
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique

Abrégé

An electrostatic chuck (ESC) for use in semiconductor processing includes a main body comprising an upper mounting surface, the upper mounting surface defining a surface profile and a guide plate coupled to the upper mounting surface of the main body. The guide plate includes a lower mounting surface. The lower mounting surface defines a surface profile that follows the surface profile of the upper mounting surface of the main body. The ESC further includes a heater embedded within the main body and a radio frequency (RF) electrode embedded within the guide plate. The main body is coupled to the guide plate via a connection consisting of a mechanical interlock.

Classes IPC  ?

• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces

Abrégé

A thermal control system for a fluid heating system including a tube defining an inlet and an outlet includes a galvanically isolated power supply to be electrically connected to the tube to provide an electric energy to heat the tube. The thermal control system also includes a power controller to control the galvanically isolated power supply. The power controller is to adjust an electric current to be provided by the galvanically isolated power supply to the tube. The galvanically isolated power supply is to provide at least two low voltage terminals at the tube and at least one high voltage terminal at the tube. The at least one high voltage terminal is disposed between the at least two low voltage terminals. The galvanically isolated power supply is to provide substantially zero voltage at the inlet and substantially zero voltage at the outlet of the tube.

Classes IPC  ?

• H05B 3/40 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes
• H05B 3/02 - Chauffage par résistance ohmique Détails

Classes IPC  ?

• H05B 3/02 - Chauffage par résistance ohmique Détails
• H05B 3/40 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes

Abrégé

A control system for use in a fluid flow application includes a heater and a control device. The heater includes at least one resistive heating element having a relationship between resistance and temperature defining a non-monotonic curve. The heater is to heat fluid flow. The control device is to determine a flow characteristic of the fluid flow and a temperature of the at least one resistive heating element along the non-monotonic curve between resistance and temperature based on a change in resistance of the at least one resistive heating element.

Classes IPC  ?

• F01N 9/00 - Commande électrique des appareils de traitement des gaz d'échappement
• F01N 3/023 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour refroidir ou pour enlever les constituants solides des gaz d'échappement au moyen de filtres utilisant des moyens pour régénérer les filtres, p. ex. par combustion des particules piégées
• F01N 3/027 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour refroidir ou pour enlever les constituants solides des gaz d'échappement au moyen de filtres utilisant des moyens pour régénérer les filtres, p. ex. par combustion des particules piégées en utilisant un chauffage électrique ou magnétique
• F01N 3/20 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs par conversion thermique ou catalytique des composants nocifs des gaz d'échappement caractérisés par les méthodes d'opérationCommande spécialement adaptés à la conversion catalytique
• F01N 11/00 - Dispositifs de surveillance ou de diagnostic pour les appareils de traitement des gaz d'échappement
• F01N 13/00 - Silencieux ou dispositifs d'échappement caractérisés par les aspects de structure
• F02D 41/02 - Dispositions de circuits pour produire des signaux de commande
• F02D 41/14 - Dispositions de circuits pour produire des signaux de commande introduisant des corrections à boucle fermée
• F02D 41/22 - Dispositifs de sécurité ou d'avertissement en cas de conditions anormales
• G01F 1/68 - Mesure du débit volumétrique ou du débit massique d'un fluide ou d'un matériau solide fluent, dans laquelle le fluide passe à travers un compteur par un écoulement continu en utilisant des effets thermiques
• G01F 1/86 - Débitmètres massiques indirects, p. ex. mesurant le débit volumétrique et la densité, la température ou la pression
• G01K 7/16 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs
• G01M 15/05 - Test des moteurs à combustion interne par contrôle combiné d'au moins deux paramètres différents des moteurs
• G05D 23/185 - Commande de la température avec source d'énergie auxiliaire non électrique
• G05D 23/24 - Commande de la température caractérisée par l'utilisation de moyens électriques avec un élément sensible présentant une variation de ses propriétés électriques ou magnétiques avec les changements de température l'élément sensible ayant une résistance variant avec la température, p. ex. une thermistance
• G05D 23/30 - Commandes automatiques avec un dispositif de chauffage auxiliaire affectant l'élément sensible, p. ex. pour prévoir les variations de température
• G07C 5/08 - Enregistrement ou indication de données de marche autres que le temps de circulation, de fonctionnement, d'arrêt ou d'attente, avec ou sans enregistrement des temps de circulation, de fonctionnement, d'arrêt ou d'attente
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 3/14 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur caractérisés par la composition ou la nature du matériau conducteur le matériau étant non métallique
• H05B 3/18 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur le conducteur étant enrobé dans un matériau isolant
• H05B 3/20 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes
• H05B 3/40 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes
• F01N 3/021 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour refroidir ou pour enlever les constituants solides des gaz d'échappement au moyen de filtres
• F01N 3/08 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs
• F01N 3/10 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs par conversion thermique ou catalytique des composants nocifs des gaz d'échappement
• H01C 7/02 - Résistances fixes constituées par une ou plusieurs couches ou revêtementsRésistances fixes constituées de matériaux conducteurs en poudre ou de matériaux semi-conducteurs en poudre avec ou sans matériaux isolants à coefficient de température positif
• H01C 7/04 - Résistances fixes constituées par une ou plusieurs couches ou revêtementsRésistances fixes constituées de matériaux conducteurs en poudre ou de matériaux semi-conducteurs en poudre avec ou sans matériaux isolants à coefficient de température négatif

Abrégé

A method of calibrating temperature of a resistive element includes: generating a standard resistance-temperature (R-T) curve for the resistive element in an isothermal condition, wherein the resistive element comprises a material with a Curie temperature; generating an operational R-T curve for the resistive element during a normal operation of the resistive element; shifting the operational R-T curve toward the standard R-T curve at the Curie temperature to generate an adjusted operational R-T curve; and adjusting a measured temperature of the resistive element based on a resistance of the resistive element and the adjusted operational R-T curve.

Classes IPC  ?

• G01K 7/18 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs l'élément étant une résistance linéaire, p. ex. un thermomètre à résistance de platine
• G01K 7/16 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs
• G01K 19/00 - Test ou étalonnage des calorimètres

Abrégé

A joining method includes placing a brazing element between an interface area of a first ceramic piece and an interface area of a second ceramic piece to create a joining pre-assembly and placing the components of said joining pre-assembly into a process chamber. Oxygen is removed from said process chamber and at least said brazing element of said joining pre-assembly is heated, thereby hermetically joining said first ceramic piece to said second ceramic piece. Said brazing element consists of Cobalt and Carbon.

Classes IPC  ?

• B23K 35/30 - Emploi de matériaux spécifiés pour le soudage ou le brasage dont le principal constituant fond à moins de 1550 C
• B23K 1/008 - Brasage dans un four
• B23K 20/00 - Soudage non électrique par percussion ou par une autre forme de pression, avec ou sans chauffage, p. ex. revêtement ou placage
• B23K 20/14 - Dispositions pour empêcher ou réduire l'accès des gaz, ou utilisation de gaz protecteurs ou du vide pendant le soudage
• B23K 35/02 - Baguettes, électrodes, matériaux ou environnements utilisés pour le brasage, le soudage ou le découpage caractérisés par des propriétés mécaniques, p. ex. par la forme
• B23K 103/00 - Matières à braser, souder ou découper
• B23K 103/08 - Métaux ou alliages non ferreux

Abrégé

Methods and systems for predicting at least one temperature along a fluid flow path of a fluid flow system having a heater disposed in the fluid flow path are provided. In one example, a method includes: obtaining at least one input, wherein the at least one input includes a setpoint, a mass flow rate, an inlet temperature, or a combination thereof; calculating a temperature associated with the heater based on a predefined model and the at least one input; and setting a value of the at least one temperature along the fluid flow path to the temperature of the heater.

Classes IPC  ?

• F01N 9/00 - Commande électrique des appareils de traitement des gaz d'échappement
• F01N 3/023 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour refroidir ou pour enlever les constituants solides des gaz d'échappement au moyen de filtres utilisant des moyens pour régénérer les filtres, p. ex. par combustion des particules piégées
• F01N 3/027 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour refroidir ou pour enlever les constituants solides des gaz d'échappement au moyen de filtres utilisant des moyens pour régénérer les filtres, p. ex. par combustion des particules piégées en utilisant un chauffage électrique ou magnétique
• F01N 3/20 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs par conversion thermique ou catalytique des composants nocifs des gaz d'échappement caractérisés par les méthodes d'opérationCommande spécialement adaptés à la conversion catalytique
• F01N 11/00 - Dispositifs de surveillance ou de diagnostic pour les appareils de traitement des gaz d'échappement
• F01N 13/00 - Silencieux ou dispositifs d'échappement caractérisés par les aspects de structure
• F02D 41/02 - Dispositions de circuits pour produire des signaux de commande
• F02D 41/14 - Dispositions de circuits pour produire des signaux de commande introduisant des corrections à boucle fermée
• F02D 41/22 - Dispositifs de sécurité ou d'avertissement en cas de conditions anormales
• G01F 1/68 - Mesure du débit volumétrique ou du débit massique d'un fluide ou d'un matériau solide fluent, dans laquelle le fluide passe à travers un compteur par un écoulement continu en utilisant des effets thermiques
• G01F 1/86 - Débitmètres massiques indirects, p. ex. mesurant le débit volumétrique et la densité, la température ou la pression
• G01K 7/16 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs
• G01M 15/05 - Test des moteurs à combustion interne par contrôle combiné d'au moins deux paramètres différents des moteurs
• G05D 23/185 - Commande de la température avec source d'énergie auxiliaire non électrique
• G05D 23/24 - Commande de la température caractérisée par l'utilisation de moyens électriques avec un élément sensible présentant une variation de ses propriétés électriques ou magnétiques avec les changements de température l'élément sensible ayant une résistance variant avec la température, p. ex. une thermistance
• G05D 23/30 - Commandes automatiques avec un dispositif de chauffage auxiliaire affectant l'élément sensible, p. ex. pour prévoir les variations de température
• G07C 5/08 - Enregistrement ou indication de données de marche autres que le temps de circulation, de fonctionnement, d'arrêt ou d'attente, avec ou sans enregistrement des temps de circulation, de fonctionnement, d'arrêt ou d'attente
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 3/14 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur caractérisés par la composition ou la nature du matériau conducteur le matériau étant non métallique
• H05B 3/18 - Éléments chauffants caractérisés par la composition ou la nature des matériaux ou par la disposition du conducteur le conducteur étant enrobé dans un matériau isolant
• H05B 3/20 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes
• H05B 3/40 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes
• F01N 3/021 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour refroidir ou pour enlever les constituants solides des gaz d'échappement au moyen de filtres
• F01N 3/08 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs
• F01N 3/10 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs par conversion thermique ou catalytique des composants nocifs des gaz d'échappement
• H01C 7/02 - Résistances fixes constituées par une ou plusieurs couches ou revêtementsRésistances fixes constituées de matériaux conducteurs en poudre ou de matériaux semi-conducteurs en poudre avec ou sans matériaux isolants à coefficient de température positif
• H01C 7/04 - Résistances fixes constituées par une ou plusieurs couches ou revêtementsRésistances fixes constituées de matériaux conducteurs en poudre ou de matériaux semi-conducteurs en poudre avec ou sans matériaux isolants à coefficient de température négatif

Abrégé

A control system includes a controller that is configured to determine a differential current of a heater based on a difference between a power conductor current of the heater and a neutral conductor current of the heater, determine whether the differential current of the heater is greater than a threshold differential current, and selectively perform a corrective action in response to the differential current being greater than the threshold differential current.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• G05D 23/30 - Commandes automatiques avec un dispositif de chauffage auxiliaire affectant l'élément sensible, p. ex. pour prévoir les variations de température
• H05B 3/34 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes flexibles, p. ex. grillages ou tissus chauffants
• H05B 3/40 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes

Abrégé

A method for controlling a heated process of a heater includes: obtaining a target temperature; identifying a first amount of electrical energy based on a prediction that the first amount of electrical energy is sized to cause a temperature of the heated process to reach the target temperature, wherein the first amount of electrical energy is indicative of one or more wattage, the first amount of electrical energy is indicative of a quantity of time that the one or more wattage is applied to the heater, and the prediction is based on an energy profile associated with the heater; and providing the one or more wattage to the heater for a portion of the quantity of time.

Classes IPC  ?

• G05D 23/19 - Commande de la température caractérisée par l'utilisation de moyens électriques
• G05B 19/4155 - Commande numérique [CN], c.-à-d. machines fonctionnant automatiquement, en particulier machines-outils, p. ex. dans un milieu de fabrication industriel, afin d'effectuer un positionnement, un mouvement ou des actions coordonnées au moyen de données d'un programme sous forme numérique caractérisée par le déroulement du programme, c.-à-d. le déroulement d'un programme de pièce ou le déroulement d'une fonction machine, p. ex. choix d'un programme
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage

Abrégé

A method for calibrating a control system configured to control a two-wire heater includes providing power to a load electrically coupled to the control system, generating, an initial measured characteristic and a calibrated measured characteristic of the load by the control system and a controller calibration system, respectively. The method further includes defining a calibrated measurement reference based on a correlation of the initial measured characteristic and the calibrated measured characteristic. With the calibrated measure reference, the control system is further calibrated to define a resistance-temperature calibration reference for determining a working temperature of the two-wire heater based on a measured resistance of the two-wire heater.

Classes IPC  ?

• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/26 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes non flexibles le conducteur chauffant monté sur une base isolante

Abrégé

A method for monitoring polymer build-up within a chemical processing chamber and in response to generating thermal energy during a chemical process includes determining a response characteristic in response to generating the thermal energy, where the response characteristic includes an operational characteristic associated with the heater, a wall characteristic associated with at least one external wall surface of the chemical processing chamber, or a combination thereof. The method includes correlating the response characteristic to an amount of polymer build¬ up within the chemical processing chamber based on a response characteristic- polymer build-up correlation model and an emissivity range of the polymer build-up.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Produits et services

Heaters, namely, open coil resistance heaters for use in high temperature heat exchangers

Abrégé

An exhaust gas heater system for an exhaust system of an internal combustion engine includes a housing and a heating element. The housing includes an outer peripheral wall disposed about a central axis and defining an interior hollow space configured to receive exhaust gas from an exhaust pipe of the exhaust system such that the exhaust gas flows through the interior hollow space. The heating element is positioned within the hollow space and including a first end and a second end. The heating element includes a first section proceeding in a first direction and a second section proceeding in a second direction. The support structure is configured to extend along a path conforming to a path of the first and second sections.

Classes IPC  ?

• F01N 3/20 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour rendre les gaz d'échappement inoffensifs par conversion thermique ou catalytique des composants nocifs des gaz d'échappement caractérisés par les méthodes d'opérationCommande spécialement adaptés à la conversion catalytique
• F01N 3/027 - Silencieux ou dispositifs d'échappement comportant des moyens pour purifier, rendre inoffensifs ou traiter les gaz d'échappement pour refroidir ou pour enlever les constituants solides des gaz d'échappement au moyen de filtres utilisant des moyens pour régénérer les filtres, p. ex. par combustion des particules piégées en utilisant un chauffage électrique ou magnétique
• F23G 7/00 - Procédés ou appareils, p. ex. incinérateurs, spécialement adaptés à la combustion de déchets particuliers ou de combustibles pauvres, p. ex. des produits chimiques
• H05B 3/48 - Éléments chauffants ayant la forme de tiges ou de tubes non flexibles le conducteur chauffant enrobé dans un matériau isolant

Abrégé

A tailored thermal body includes a substrate and a plurality of material regions extending throughout the substrate, the plurality of material regions having a variable thermal conductivity. At least one heating element is secured to the substrate. The substrate and the plurality of material regions are formed using at least one additive manufacturing process, and materials of the substrate and the plurality of material regions are chemically fused together.

Classes IPC  ?

• B29C 64/295 - Éléments de chauffage
• B29C 64/336 - Alimentation de plusieurs matériaux
• B29C 64/209 - TêtesBuses
• B33Y 30/00 - Appareils pour la fabrication additiveLeurs parties constitutives ou accessoires à cet effet
• B33Y 40/00 - Opérations ou équipements auxiliaires, p. ex. pour la manipulation de matériau

Abrégé

A flow-through heater assembly includes a housing and a heater. The housing includes an inlet, an outlet, and a bore extending between the inlet and the outlet. The heater is disposed within the housing and extends between the inlet and the outlet. The heater includes at least one opening proximate the inlet and at least one opening proximate the outlet. The heater defines an anfractuous path from the inlet to the outlet, and the openings in the heater are in fluid communication with the bore of the housing.

Classes IPC  ?

• F24H 9/00 - APPAREILS DE CHAUFFAGE DE FLUIDES, p. ex. DE L'AIR OU DE L'EAU, COMPORTANT DES MOYENS DE PRODUCTION DE CHALEUR, p. ex. DES POMPES À CHALEUR, EN GÉNÉRAL Parties constitutives
• F28F 13/08 - Dispositions pour modifier le transfert de chaleur, p. ex. accroissement, diminution en affectant le mode d'écoulement des sources de potentiel calorifique en faisant varier la section transversale des canaux d'écoulement
• G01K 7/16 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur utilisant des éléments résistifs
• G01K 13/02 - Thermomètres spécialement adaptés à des fins spécifiques pour mesurer la température de fluides en mouvement ou de matériaux granulaires capables de s'écouler
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports

Abrégé

A method of detecting a leak-induced abnormal condition in a semiconductor processing system comprising a subsystem. The method includes determining a performance characteristic and a temperature characteristic of the subsystem. The method includes detecting the leak-induced abnormal condition in the semiconductor processing system by determining that a leak-induced abnormal condition is present in the subsystem based on the performance characteristic and the temperature characteristic of the subsystem. The method also includes performing a corrective action when the leak-induced abnormal condition is detected.

Classes IPC  ?

• G01M 3/18 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des moyens de détection électrique pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des moyens de détection électrique pour raccords ou étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par détection de la présence du fluide à l'emplacement de la fuite en utilisant des moyens de détection électrique pour soupapes
• G01M 3/00 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide
• G01M 3/28 - Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour tuyaux, câbles ou tubesExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour raccords ou joints d'étanchéité de tuyauxExamen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide par mesure du taux de perte ou de gain d'un fluide, p. ex. avec des dispositifs réagissant à la pression, avec des indicateurs de débit pour soupapes

Abrégé

A method for enhancing resistance measurements of a load includes obtaining a plurality of sample resistance values of the load, determining an average resistance value based on the plurality of sample resistance values, determining a resistance difference based on the average resistance value and a nominal resistance value associated with the load, updating an offset correction value of a controller in response to the resistance difference being greater than a resistance tolerance, and measuring a resistance of the load based on the offset correction value and one or more electrical characteristics of the load.

Classes IPC  ?

• G01R 35/00 - Test ou étalonnage des appareils couverts par les autres groupes de la présente sous-classe
• G01R 27/02 - Mesure de résistances, de réactances, d'impédances réelles ou complexes, ou autres caractéristiques bipolaires qui en dérivent, p. ex. constante de temps
• G01R 19/00 - Dispositions pour procéder aux mesures de courant ou de tension ou pour en indiquer l'existence ou le signe
• G01R 19/165 - Indication de ce qu'un courant ou une tension est, soit supérieur ou inférieur à une valeur prédéterminée, soit à l'intérieur ou à l'extérieur d'une plage de valeurs prédéterminée

Abrégé

A temperature sensing system to detect a temperature of a surface includes a sensor assembly and first and second lead wires. The sensor assembly includes a probe head and a temperature sensor disposed within the probe head. The first and second lead wires suspend the probe head such that the probe head abuts the surface. The first and second lead wires comprising different materials. The first and second lead wires are configured to provide multiple degrees of freedom of movement to the probe head and temperature measurements.

Classes IPC  ?

• G01K 1/143 - SupportsDispositifs de fixationDispositions pour le montage de thermomètres en des endroits particuliers pour la mesure de la température de surfaces
• G01K 1/02 - Moyens d’indication ou d’enregistrement spécialement adaptés aux thermomètres
• G01K 1/16 - Dispositions particulières pour conduire la chaleur de l'objet à l'élément sensible
• G01K 7/00 - Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur

Abrégé

A heater system for semiconductor processing includes a base, a plurality of gas processing components, and a heater. The plurality of gas processing components are secured to the base. The heater is disposed along a length of the base and between the base and the plurality of gas processing components. The heater is configured to provide heat to the plurality of gas processing components.

Classes IPC  ?

• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants

Abrégé

A hybrid shaft assembly for use in controlled atmosphere chambers, such as by way of example heated pedestals for semiconductor manufacturing, includes a substrate, a hub having an upper portion and a lower portion, the upper portion being secured to the substrate with an upper joining layer, and a shaft secured to the lower portion of the hub with a lower joining layer. The shaft comprises a material having a thermal conductivity lower than a material of the hub and a material of the substrate.

Classes IPC  ?

• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse

Abrégé

An electrostatic chuck includes a ceramic top plate layer made of a beryllium oxide material, a ceramic bottom plate layer made of a beryllium oxide material, a ceramic middle plate layer disposed between the ceramic top plate layer and the ceramic bottom plate layer, an electrode layer disposed between the ceramic top plate layer and the ceramic middle plate layer, and a heater layer disposed between the ceramic middle plate layer and the ceramic bottom plate layer. The electrode layer joins and hermetically seals the ceramic top plate layer to the ceramic middle plate layer, and the heater layer joins and hermetically seals the ceramic middle plate layer to the ceramic bottom plate layer.

Classes IPC  ?

• B23K 1/00 - Brasage ou débrasage
• B23K 1/19 - Brasage ou débrasage tenant compte des propriétés des matériaux à braser
• B23K 1/20 - Traitement préalable des pièces ou des surfaces destinées à être brasées, p. ex. en vue d'un revêtement galvanique
• B23K 35/00 - Baguettes, électrodes, matériaux ou environnements utilisés pour le brasage, le soudage ou le découpage
• B23K 35/28 - Emploi de matériaux spécifiés pour le soudage ou le brasage dont le principal constituant fond à moins de 950 C
• B32B 3/30 - Produits stratifiés comprenant une couche ayant des discontinuités ou des rugosités externes ou internes, ou une couche de forme non planeProduits stratifiés comprenant une couche ayant des particularités au niveau de sa forme caractérisés par une couche continue dont le périmètre de la section droite a une allure particulièreProduits stratifiés comprenant une couche ayant des discontinuités ou des rugosités externes ou internes, ou une couche de forme non planeProduits stratifiés comprenant une couche ayant des particularités au niveau de sa forme caractérisés par une couche comportant des cavités ou des vides internes caractérisés par une couche comportant des retraits ou des saillies, p. ex. des gorges, des nervures
• B32B 7/14 - Liaison entre couches utilisant des adhésifs interposés ou des matériaux interposés ayant des propriétés adhésives appliqués en disposition espacée, p. ex. en bandes
• B32B 9/00 - Produits stratifiés composés essentiellement d'une substance particulière non couverte par les groupes
• B32B 9/04 - Produits stratifiés composés essentiellement d'une substance particulière non couverte par les groupes comprenant une telle substance comme seul composant ou composant principal d'une couche adjacente à une autre couche d'une substance spécifique
• B32B 15/20 - Produits stratifiés composés essentiellement de métal comportant de l'aluminium ou du cuivre
• B32B 18/00 - Produits stratifiés composés essentiellement de céramiques, p. ex. de produits réfractaires
• C04B 35/645 - Frittage sous pression
• C04B 37/00 - Liaison des articles céramiques cuits avec d'autres articles céramiques cuits ou d'autres articles, par chauffage
• F16B 9/00 - Assemblages de tiges ou de pièces tubulaires à des surfaces plates formant angle
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• H05B 1/00 - Détails des dispositifs de chauffage électrique
• B23K 103/10 - Aluminium ou ses alliages

Abrégé

A terminal assembly for a heater system includes a plurality of resistive heating elements arranged in multiple power phases includes a plurality of power busbars, a neutral busbar, a phase barrier disposed between each of the plurality of power busbars, and a plurality of interchangeable couplers. Each power busbar corresponds to a power phase of the multiple power phases and is configured to connect a power lead from one of the multiple power phases and a first end of a plurality of resistive heating elements. The resistive heating elements are in electrical communication with the power lead. The neutral busbar is offset longitudinally from the power busbars and configured to receive a second end of the resistive heating elements. The interchangeable couplers are configured to connect at least a subset of the resistive heating elements to at least one power busbar or at least one neutral busbar.

Classes IPC  ?

• H05B 3/26 - Éléments chauffants ayant une surface s'étendant essentiellement dans deux dimensions, p. ex. plaques chauffantes non flexibles le conducteur chauffant monté sur une base isolante
• H05B 3/08 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports ayant des connexions électriques adaptées spécialement aux températures élevées

Abrégé

A terminal assembly for a heater system includes a plurality of resistive heating elements arranged in multiple power phases includes a plurality of power busbars, a neutral busbar, a phase barrier disposed between each of the plurality of power busbars, and a plurality of interchangeable couplers. Each power busbar corresponds to a power phase of the multiple power phases and is configured to connect a power lead from one of the multiple power phases and a first end of a plurality of resistive heating elements. The resistive heating elements are in electrical communication with the power lead. The neutral busbar is offset longitudinally from the power busbars and configured to receive a second end of the resistive heating elements. The interchangeable couplers are configured to connect at least a subset of the resistive heating elements to at least one power busbar or at least one neutral busbar.

Classes IPC  ?

• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• F24H 9/1818 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• F24H 9/1863 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• H01R 13/621 - Boulon, vis de serrage ou attache à vis

Abrégé

A terminal assembly for a heater system includes a plurality of resistive heating elements arranged in multiple power phases includes a plurality of power busbars, a neutral busbar, a phase barrier disposed between each of the plurality of power busbars, and a plurality of interchangeable couplers. Each power busbar corresponds to a power phase of the multiple power phases and is configured to connect a power lead from one of the multiple power phases and a first end of a plurality of resistive heating elements. The resistive heating elements are in electrical communication with the power lead. The neutral busbar is offset longitudinally from the power busbars and configured to receive a second end of the resistive heating elements. The interchangeable couplers are configured to connect at least a subset of the resistive heating elements to at least one power busbar or at least one neutral busbar.

Classes IPC  ?

• F24H 9/1818 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• F24H 9/1863 - Disposition ou montage des éléments chauffants électriques
• H01R 13/621 - Boulon, vis de serrage ou attache à vis
• H05B 1/02 - Dispositions de commutation automatique spécialement adaptées aux appareils de chauffage
• H05B 3/00 - Chauffage par résistance ohmique
• H05B 3/06 - Éléments chauffants combinés constructivement avec des éléments d'accouplement ou avec des supports

Abrégé

A joining method includes the steps of placing a brazing element between an interface area of a first ceramic piece and an interface area of a second ceramic piece to create a joining pre-assembly, placing the components of said joining pre-assembly into a process chamber, removing oxygen from said process chamber, and heating at least said brazing element of said joining pre-assembly, thereby hermetically joining said first ceramic piece to said second ceramic piece. The brazing element consists of Nickel and Carbon.

Classes IPC  ?

• B23K 35/30 - Emploi de matériaux spécifiés pour le soudage ou le brasage dont le principal constituant fond à moins de 1550 C
• B23K 1/008 - Brasage dans un four
• B23K 20/00 - Soudage non électrique par percussion ou par une autre forme de pression, avec ou sans chauffage, p. ex. revêtement ou placage
• B23K 35/02 - Baguettes, électrodes, matériaux ou environnements utilisés pour le brasage, le soudage ou le découpage caractérisés par des propriétés mécaniques, p. ex. par la forme
• B23K 20/14 - Dispositions pour empêcher ou réduire l'accès des gaz, ou utilisation de gaz protecteurs ou du vide pendant le soudage
• B23K 103/00 - Matières à braser, souder ou découper
• B23K 103/08 - Métaux ou alliages non ferreux

Abrégé

A method for the joining of ceramic pieces includes applying a layer of titanium on a first ceramic piece and applying a layer of titanium on a second ceramic piece; applying a layer of nickel on each of the layers of titanium on the first ceramic piece and the second ceramic piece; applying a layer of nickel phosphorous to each of the layers of nickel on the first ceramic piece and the second ceramic piece; assembling the first ceramic piece and the second ceramic piece with the layers of titanium, nickel, and nickel phosphorous therebetween; pressing the layer of nickel phosphorous of the first ceramic piece against the layer of nickel phosphorous of the second ceramic piece; heating the first ceramic piece and the second ceramic piece to a joining temperature in a vacuum; and cooling the first ceramic piece and the second ceramic piece. A hermetic seal is formed between the first ceramic piece and the second ceramic piece.

Classes IPC  ?

• C04B 35/581 - Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur compositionCompositions céramiquesTraitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques à base de non oxydes à base de borures, nitrures ou siliciures à base de nitrure d'aluminium
• B23K 1/00 - Brasage ou débrasage
• B23K 1/008 - Brasage dans un four
• B23K 1/19 - Brasage ou débrasage tenant compte des propriétés des matériaux à braser
• B23K 35/28 - Emploi de matériaux spécifiés pour le soudage ou le brasage dont le principal constituant fond à moins de 950 C
• B32B 9/00 - Produits stratifiés composés essentiellement d'une substance particulière non couverte par les groupes
• C04B 37/00 - Liaison des articles céramiques cuits avec d'autres articles céramiques cuits ou d'autres articles, par chauffage
• C04B 37/02 - Liaison des articles céramiques cuits avec d'autres articles céramiques cuits ou d'autres articles, par chauffage avec des articles métalliques
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• B23K 103/00 - Matières à braser, souder ou découper

Abrégé

A layered assembly for use in a controlled atmosphere chamber includes a plurality of substrates and an electrically functioning layer embedded between two adjacent substrates of the plurality of substrates, the electrically functioning layer being a material configured to secure the two adjacent substrates together using a solid- state bonding process. An electrical termination area is integral with the electrically functioning layer, and a peripheral sealing band is embedded between and extends around a periphery of internal faces of the two adjacent substrates, the peripheral sealing band being a material configured to secure and seal the two adjacent substrates together using the solid-state bonding process. Dielectric regions are present between the two adjacent substrates and between edge boundaries of the electrically functioning layer, the dielectric regions being sealed between the two adjacent substrates by the peripheral sealing band.

Classes IPC  ?

• H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p. ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
• H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
• H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitementAppareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
• H01J 37/32 - Tubes à décharge en atmosphère gazeuse

Abrégé

A method for monitoring a surface condition of a component includes providing thermal energy to a component, determining a thermal response of the heater in response to providing the thermal energy, and determining a thermal characteristic of the component based on a reference thermal response and the thermal response. The method includes predicting the surface condition of the component based on the thermal characteristic and a predictive analytic model, where the predictive analytic model correlates the thermal characteristic of the component to an estimated surface condition of the component.

Classes IPC  ?

• G01N 25/20 - Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens thermiques en recherchant la production de quantités de chaleur, c.-à-d. la calorimétrie, p. ex. en mesurant la chaleur spécifique, en mesurant la conductivité thermique
• C23C 16/44 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c.-à-d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur [CVD] caractérisé par le procédé de revêtement
• G06Q 10/04 - Prévision ou optimisation spécialement adaptées à des fins administratives ou de gestion, p. ex. programmation linéaire ou "problème d’optimisation des stocks"
• G06Q 50/04 - Fabrication

Abrégé

A method of providing power, via a plurality of power control systems, includes forming, by at least two power control systems from among the plurality of power control systems, a power network and defining, by each power control system of the power network, a power allocation schedule for a power cycle using a dynamic load scheduling model. The power allocation schedule identifies one or more designated power control systems from among the at least two of the power control systems to provide power to a load during the power cycle. For at least portion of the power cycle, the method includes providing power to the load by the one or more designated power control systems of the power network based on the power allocation schedule.

Classes IPC  ?

• H02J 3/00 - Circuits pour réseaux principaux ou de distribution, à courant alternatif
• H02J 13/00 - Circuits pour pourvoir à l'indication à distance des conditions d'un réseau, p. ex. un enregistrement instantané des conditions d'ouverture ou de fermeture de chaque sectionneur du réseauCircuits pour pourvoir à la commande à distance des moyens de commutation dans un réseau de distribution d'énergie, p. ex. mise en ou hors circuit de consommateurs de courant par l'utilisation de signaux d'impulsion codés transmis par le réseau

Abrégé

A method of generating a digital twin of an environment (10) includes generating one or more mathematical-based variables based on a mathematical model (304) of the environment and sensor data from one or more sensors of the environment, generating one or more machine learning-based variables based on a machine learning-based model of the environment (308) and the sensor data, and stacking the one or more mathematical-based variables and the one or more machine learning-based variables based on a meta-learning model to generate a machine learning input (312) for predicting a performance characteristic of the environment (320).

Classes IPC  ?

• G05B 17/02 - Systèmes impliquant l'usage de modèles ou de simulateurs desdits systèmes électriques
• G06F 30/27 - Optimisation, vérification ou simulation de l’objet conçu utilisant l’apprentissage automatique, p. ex. l’intelligence artificielle, les réseaux neuronaux, les machines à support de vecteur [MSV] ou l’apprentissage d’un modèle

Abrégé

A method of generating a digital twin of an environment includes generating one or more mathematical-based variables based on a mathematical model of the environment and sensor data from one or more sensors of the environment, generating one or more machine learning-based variables based on a machine learning-based model of the environment and the sensor data, and stacking the one or more mathematical-based variables and the one or more machine learning-based variables based on a meta-learning model to generate a machine learning input for predicting a performance characteristic of the environment.

Classes IPC  ?

• G06F 30/27 - Optimisation, vérification ou simulation de l’objet conçu utilisant l’apprentissage automatique, p. ex. l’intelligence artificielle, les réseaux neuronaux, les machines à support de vecteur [MSV] ou l’apprentissage d’un modèle
• G05B 23/02 - Test ou contrôle électrique

Abrégé

A method of generating a digital twin of an environment (10) includes generating one or more mathematical-based variables based on a mathematical model (304) of the environment and sensor data from one or more sensors of the environment, generating one or more machine learning-based variables based on a machine learning-based model of the environment (308) and the sensor data, and stacking the one or more mathematical-based variables and the one or more machine learning-based variables based on a meta-learning model to generate a machine learning input (312) for predicting a performance characteristic of the environment (320).

Classes IPC  ?

• G06F 30/27 - Optimisation, vérification ou simulation de l’objet conçu utilisant l’apprentissage automatique, p. ex. l’intelligence artificielle, les réseaux neuronaux, les machines à support de vecteur [MSV] ou l’apprentissage d’un modèle
• G05B 17/02 - Systèmes impliquant l'usage de modèles ou de simulateurs desdits systèmes électriques